一、真空泵附件包括：
1.油雾过滤器(别名：油雾分离器、排气过滤器、排气滤芯)
在驱动力的作用下，真空泵的油雾分离器位于油气混合物的一侧，并穿过真空泵油雾分离器的滤纸和棉花。油被截留，从而实现气体和真空油的分离。过滤后的真空泵油随回油管循环使用，排出的废气无油，达到无污染、清洁的效果。
2.空气过滤器(别名：空气过滤器元件)
真空泵的滑动间隙很小，外来介质含有颗粒和污垢，会损坏滑动面，附着或堵塞泵的滑动面，导致泵不能正常工作。为了防止异物被吸入泵内，有必要使用过滤器阻止异物进入泵内。如果泵中的空气杂质没有被过滤掉，进入，油管可能会堵塞，润滑油可能会混合。因此，有必要选择一种原则上可靠的空气过滤元件。维护保养后：应定期清洗真空泵的空气过滤器，防止过滤器中的杂质被吸入泵内，造成泵卡死。
3.机油滤清器(别名：机油格栅)
油栅也称滤油器，真空泵滤油器是由多种进口真空泵品牌配置的滤油装置，安装在泵回油管道上，主要用于捕集回油箱内系统产生或侵入的污染物。因此，它也是控制系统污染浓度的重要过滤装置。
二、真空泵附件常见故障
1.磨损
磨损是真空泵附件常见的失效模式，一种是润滑条件下零件间接触面的摩擦和磨损，这种情况经常发生在齿轮、气缸、叶片、转子滑动轴承和滚动轴承中。这种磨损是缓慢的，磨损失效主要与润滑和密封条件有关。另一种是由零件相互摩擦或材料摩擦零件表面引起的磨损，特别是在真空泵中。如联轴器、螺旋真空泵的2
X泵，双螺杆皮带轮等。这种磨损速度比前者快得多，这主要与金属材料和材料的性能有关。对于油真空泵来说，润滑中的磨损尤为突出，这主要是由于真空泵油的变质和杂质引起的润滑不畅造成的。
2.疲劳断裂
疲劳是一种失效机制，而开裂是一种失效模式。他们经常以打碎零件告终。这种疲劳破坏过程通常存在于承受交变载荷的齿轮齿中。常见于连接螺栓、地脚螺栓、弹簧等零件，也常见于齿轮传动轴等重要零件。疲劳断裂涉及的因素很多，因此有必要对失效部位进行详细分析，找出原因并采取对策。
3.变形
变形也是真空泵零件常见的失效模式。因为泵在高速运转时会产生一定的高温。如贝壳、盘子等。通常处于加热状态，这是最有可能发生的。渐进塑性变形不能恢复零件的原始几何尺寸和形状，严重时会导致设备故障。如密封圈和油封。
4.腐蚀
腐蚀是真空泵零件失效的又一种模式。常见于工艺较为复杂的PCB，化工等工况下运行的真空泵中。
以上这些配件都属于易损耗材，如出现以上的情况都需要对配件进行更换的。真空泵故障的时候，我们要进行排查处理，确定是其配件失效后，针对以上问题作出相应的解决措施。要想该设备使用寿命长一点，就要对其定期保养维修，减少其故障发生的频率。