干式螺杆真空泵是一种在泵壳内利用一对螺杆高速同步反转的吸气设备。

　　1.特征

　　高可靠性。干式螺杆真空泵零件少，无易损件，运行可靠，使用寿命长。

　　操作和维护方便。

　　良好的动平衡。干式螺杆真空泵无不平衡惯性力，机器高速平稳运行。

　　适应性强。干式螺杆真空泵具有强制气体传输的特点，在较宽的压力范围内可以保持较高的泵送速度，并且排量几乎不受排气压力的影响。

　　多相混合运输。因为干式螺杆真空泵转子的齿表面之间存在小间隙，所以它可以去除腐蚀性、毒性、含尘、可冷凝的蒸汽和其他气体。

　　2.应用

　　干式螺杆真空泵广泛应用于电子、核能、化工、医药、食品工业等领域。在半导体工业中，它用于生产芯片、制造液晶显示器、蚀刻和生产等离子体。

　　用于真空采集;在化学工业中，用于真空蒸馏和溶剂萃取以有效回收溶剂，在脂肪酸生产中用于消除水污染和消除喷射器堵塞;在制药工业中，它用于回收液体药物和药物中间体，为人造器官的生产提供清洁和无菌的条件，并回收气体消毒剂;在食品工业中，它用于香料和香精的浓缩，食品包装等。

　　应用范围非常广泛。

　　具体应用：干燥处理、真空蒸馏、分子蒸馏、溶剂回收、油气回收、工厂一般真空、电子、真空镀膜、航空、核工业等行业可以抽出普通空气、易燃易爆气体、腐蚀性气体，特别是满足环境对获得清洁真空的更高要求。具体应用：真空镀膜、真空蒸馏、真空干燥、单晶提拉、特种气体制造、离子刻蚀，等。

　　干式真空泵用于氨纶、芳纶、纤维、冶金等纺织、冶金等行业的相关工艺，包括真空消泡和VOD真空吹氧脱碳。

　　一个以半导体工业为代表，它要求真空泵返回泵送空间的流量为零，以保护工件免受污染。半导体行业对真空系统的要求大致分为三个层次。

　　在清洁条件下排气，仅干燥空气或含有少量水蒸气的空气。

　　在适当的条件下，泵出反应气体的过程中，但没有固体颗粒。

　　在恶劣条件下排气，去除化学反应物(有毒甚至致癌)和固体颗粒。

　　另一种以石化工业为代表，它需要真空泵来除去可冷凝气体、腐蚀性气体、有毒气体或含有细粉尘的气体。干式螺杆真空泵广泛应用于电子、核能、化工、医药、食品工业等领域。在半导体工业中，它用于生产芯片、制造液晶显示器、蚀刻和生产等离子体。

　　用于真空采集，在化学工业中，用于真空蒸馏和溶剂萃取以有效回收溶剂，在脂肪酸生产中用于消除水污染和消除喷射器堵塞;在制药工业中，它用于回收液体药物和药物中间体，为人造器官的生产提供清洁和无菌的条件，并回收气体消毒剂;在食品工业中，它用于香料和香精的浓缩，食品包装等。