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2020 - 05 - 16
进口真空泵系统安装时,应特别注意安装与检漏工作紧密结合的问题。过程是先安装并泵送机械泵,达到真空度要求后再安装主泵。绝对不允许在系统完全安装后进行泄漏检测。否则,如果出现泄漏现象,将会给安装工作带来不便。同时,在安装过程中,必须特别注意静密封法兰处的橡胶圈和法兰密封面是否有划痕,以防安装后泄漏。  安装前,应对进口真空泵做以下准备工作  (1)安装前应清洗零件,即清除金属零件加工过程中捕获的油、污物、焊剂和其他杂质,防止安装后在进口真空系统内造成气源。该方法通常是用洗衣粉去污,用热水洗涤,然后用热风干燥,最后用有机溶剂干燥。  (2)安装前应检查零件的泄漏情况,并立即拆除有泄漏孔的零件,以防止有泄漏孔的零件装配到系统上,给真空系统的调试带来不便。大多数方法是零件压力泄漏试验。  (3)检查进口真空泵阀门及其他部件的特性是否满足设计要求。  (4)根据电路图检查电路是否完整,开关是否指开路位置,相关测试仪器是否在零位,接地线是否接地,操作是否安全。  以上介绍是进口真空泵代理商的进口真空泵安装前的注意事项。希望它能对你有所帮助!
2020 - 05 - 21
在真空系统中,橡胶是一种应用广泛的真空密封材料,具有良好的弹性、耐磨性和机械强度,广泛应用于低真空和高真空系统。螺杆真空泵制造商介绍了几种常用于真空系统密封的橡胶密封材料。  1.天然橡胶  天然橡胶是一种真空密封材料,常用于粗真空或低真空系统,具有高透气性、耐油性和耐老化性差、不耐高温(一般在100以下使用)的特点。  2.丁基橡胶  与天然橡胶相比,丁基橡胶具有较小的透气性,因此可在10-5Pa的真空范围内用作真空密封材料。然而,如果出现较高的真空,升华现象将很容易发生,导致质量损失。  3.丁腈橡胶  丁腈橡胶是一种性能平衡的合成橡胶。它具有良好的耐油性、耐热性、耐水性和低透气性。可通过添加其他材料进行改性,可用于烘烤温度低于150的各种高真空密封。  4.聚氨酯橡胶  聚氨酯橡胶具有优异的机械强度和撕裂强度、耐油性、耐磨性、耐辐射性、抗冲击性,但不耐高温、耐水、耐酸碱。因此,适用于低速、散热性好的真空应用环境,可用于真空设备、真空阀和真空低速传动部件,获得良好的密封效果。  5.氟橡胶  氟橡胶具有与丁基橡胶相同的透气性,可用作高真空和超高真空系统的真空密封材料(10-5 ~ 10-7帕),耐高温和耐各种介质,对阳光、臭氧和环境大气具有稳定的效果,但价格昂贵。  6.硅橡胶  硅橡胶比上述橡胶密封材料具有更好的耐热性,可在200下长期使用,工作温度范围可达-100 ~ 35...
2020 - 05 - 28
螺杆真空泵分为单螺杆真空泵、双螺杆真空泵、三螺杆真空泵等。下面,从结构、特点、性能参数和应用场合四个方面简要介绍三种螺杆真空泵的区别及其各自的优缺点。  一、单螺杆真空泵  结构:单头外螺纹转子在特殊的双头内螺纹定子(定子柔软)中偏心旋转,可沿泵的中心线来回摆动,并始终与定子保持啮合。  功能:  1.能输送含有固体颗粒的液体;  2.它可以用于几乎任何粘度的流体,特别是高粘度和非牛顿流体。  3.工作温度受定子材料的限制。  性能参数:流量高达150m3/h,压力高达20兆帕应用:用于糖蜜、纸浆、淀粉糊、巧克力糊、油漆、沥青、石蜡、油脂、泥浆、粘土、粘土等。  二、双螺杆真空泵  结构:有两个相同尺寸的螺杆轴,一个是主动轴,另一个是从动轴,通过齿轮传动实现同步旋转。  特点:  1.螺杆与泵体和螺杆之间保持0.05 ~ 0.15毫米的间隙,磨损小,使用寿命长。  2.填料函仅受吸入压力影响,泄漏较少。  3.与三螺杆真空泵相比,它对杂质不敏感。  性能参数:  压力一般为1.4兆帕左右,粘性液体最大为7兆帕,低粘性液体最大为3兆帕,流量一般为6 ~ 600立方米/小时,最大为1600立方米/小时;液体粘度不得大于1500 mm2/s。用途:用于润滑油、润滑脂、原油、沥青、燃料油和其他高粘度油。  三、三螺杆真空泵  结构:由一个主动螺杆和与之啮合的两个从动螺杆组成。  特点:  ...
2020 - 06 - 04
旋片真空泵的使用和维护概述:旋片泵是一种可变容积气体传输真空泵,工作压力范围为1.3310-2 ~ 105帕。它可以单独使用或作为其它高真空泵的前级泵来泵出密封容器中的干燥气体,但是它不适合于泵出具有高氧含量、* *性质、对金属的腐蚀性、与泵油的反应以及颗粒灰尘的气体。有两种类型:单级和双级。  该结构包括滤网、进气管、压板、排气阀片、旋转片、弹簧、转子、放油塞、油标、排气口、皮带轮、轴端密封和级间排气通道。它具有结构简单、运行可靠的特点,应用广泛。  一、工作原理和结构特点  1.工作原理:它是一种容积可变的真空泵,依靠插入偏心轮转子中的几个旋转板,可以滑动进出,隔离、压缩和排出泵体内的气体。  2.结构特点:该结构可分为两类:油封式和油浸式。泵体结构有三种类型:整体式、中壁压入式和组合式。转子结构有三种类型:整体式、压缩套筒式和转子盘式。排气阀是旋转叶片泵的主要易损部件之一,它影响泵的泵送性能并产生噪声。有两种形式:一是用橡胶垫作为阀板;另一种是用布酚醛压板或弹簧钢片作为阀板,排气阀必须浸在泵油中。  气镇阀:旋片泵设计用于泵出可冷凝气体,由节流阀和止回阀组成。节流阀控制混合气体的量。当泵室内的气体压力高于混合气体压力时,止回阀防止回流。为了向泵中回油、喷油,改善泵的润滑条件,扩大泵的应用范围,旋转叶片泵还配有许多附件,如油雾捕集器、分子过滤器、尘粒过滤器、化学过滤器、滤油器等...
2020 - 06 - 10
干式螺杆真空泵的实用工业应用?今天我们将介绍制药、石化和空间模拟工业的应用。  一、干式螺杆真空泵在制药行业溶剂回收中的应用  选择用于溶剂结晶过程的原料药通常在结晶后进行过滤、洗涤和真空干燥。猜测中的水分含量通常在20%和200%之间,并且包含在湿材料中的溶剂通常是易燃、易爆、有毒和有害的介质,其在钻孔过程中被真空单元抽走。  传统的湿式真空系统广泛采用罗茨-液环真空泵机组。液环泵的密封液可在运行过程中溶解或吸收部分有机溶剂,并在气液分离器中分离废气和高浓度有机废液。两部分都需要处理,这不仅不能完全回收这部分溶剂,而且增加了企业的运营成本,给健康、安全和环保带来挑战。干式真空冷凝系统可以在排气侧冷凝钻孔过程中的有机溶剂,完成溶剂的回收和废水废液的零排放。由于螺杆泵腔内无其它工艺介质,内外表面均采用涂层防腐方法,节能环保,无废液处理问题,可回收所有溶剂。因此,螺旋真空泵已经成为这一领域的最佳选择。  二、干式螺杆真空泵在石化工业汽油蒸汽回收中的应用  干式螺杆真空泵是汽油蒸气回收设备中的关键设备。提取的气体是简单的发汗汽油蒸气,主要成分是C4、C5、C6等汽油蒸气。  一般来说,泵的工作温度要求控制在80以下。然而,泵的运行不能仅仅依赖于泵体护套的冷却而降低到如此低的温度。其他冷却水不能在大多数地方供应。可以供应的冷却水是汽油。为了降低泵的工作温度,除了将汽油注入泵体的外套之外,最...
2020 - 06 - 15
罗茨真空泵需要定期清洗和维护,这样可以有效延长其使用寿命,降低故障率。然而,很少有人能正确控制这一规律时期。今天小编将会来分享讨论罗茨真空泵的正确维护期限。  1、罗茨真空泵定期检查,日常检查内容包括:  (1)油位检查,过多的油会使温度升高,过少的油会造成润滑不良;  (2)温度检查:用温度计检查泵各部分的温度;  电机负载检查:用功率计、电流表和电压表测量电机负载。  2.每月检查罗茨真空泵:联轴器和垫片是否损坏或松动。  3.每3个月检查一次:齿轮箱中的润滑油是否变质。  4.每6个月检查一次:前盖轴承箱内的润滑油是否变质,活塞环和活塞环的轴套是否磨损,齿轮的轻微磨损是否影响转子的正常运行,是否需要调整等。         在工厂中对于双级罗茨真空泵系统的定期维护是非常有必要的。虽然很多的工厂都有备用的机组但是定期维护可以减少故障出现的概率。
2020 - 06 - 18
罗茨真空泵的适用范围极其广泛。许多用户专门配备了一个或几个备用泵。由于项目长期不运行,其中一些临时放置在购买的真空产品中。在这种情况下,有一个非常重要的问题需要注意,也是保证罗茨真空泵使用寿命的一个标准,即长期闲置的设备应及时排出泵室内的冷却水,以保护泵本身。  如果罗茨真空泵的冷却水长时间留在泵体内,泵体内的部件将会损坏,不仅密封性能会受到影响。如果泵长时间存放在露天或温度较低的地方,泵内的冷却水会冻结和膨胀,这很可能导致泵体膨胀和破裂,从而损坏设备。  因此,在任何情况下,只要是一个长期不运作的罗茨真空泵,就必须这样做。这是泵维护的一个方面。只有这样,设备才能随时使用,用户才能免受损失。只要记住这一点,就不会对泵造成损坏。  那么,罗茨真空泵没有经常清空冷却水的问题是什么呢?  1.低风高流  这种情况多次发生,主要原因是从罗茨真空泵进口的过滤网积灰未及时清理。这个问题可以通过仔细清洗滤网来解决。这就要求我们在生产中定期清洗过滤网,以保证罗茨真空泵的进口顺利,这不仅有利于设备的运行,而且不会影响煅烧。  2.叶轮和叶轮之间的碰撞  齿轮齿移位;消除方法是调整间隙并拧紧。过高的压力操作;消除方法是检查超压原因后消除。齿面磨损会增加齿隙,导致叶轮之间的间隙发生变化。消除方法是调整间隙。  3.泵壳振动  首先,维护工作在使用过程中做得不好。第二个原因是zj罗茨真空泵使用时间太长。拆...
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2019 - 09 - 04
如何调整干式螺杆真空泵的径向间隙?离心叶轮安装在螺杆真空泵泵轴上,然后安装前后盖板以调节径向间隙.1.将螺杆真空泵倒置,放在支架上,使泵轴倾斜,使盖子支撑在支架上时,螺杆真空泵的力使离心叶轮紧密接触在支撑点的一侧,以及离心式叶轮和另一侧盖之间的径向间隙,即螺杆真空泵两侧的直径加上间隙,这个总间隙可以通过以下方法测量。 2.将千分表放在侧盖上,触摸针顶部的屏幕和螺杆泵泵轴,并调整为零。泵轴端部,离心式叶轮与上侧盖完全接触。此时,千分表指示的数字是总径向间隙。如果总径向间隙超过标准值,请进行适当调整。 3.总径向间隙达到标准后,等待螺杆真空泵的组件进行处理,然后拧紧螺母将离心叶轮推到轴上。移动均匀分布两端的径向间隙,推离心叶轮,离心叶轮和侧盖不适合争议的声音。当然,这种调整方法并不能保证两端的径向间隙只是同比增长率。深圳恒才机电设备有限公司以“诚”为本, 持之以“恒”,赋之以“才”,以我们的专业和专注来忠诚地服务每一个客户, 提供给客户持续和稳定的干式螺杆真空泵解决方案,带给客户无尽的财富, 是我们“恒才”的职责。联系电话:  400-862-5533
2019 - 09 - 11
真空泵在很多行业的应用已经很广泛,但是选型和安装都是专业的工程师来负责.那么安装真空泵时应注意什么呢?今天小编就给大家来说说.1.使用真空泵时,应将其水平放置在干燥,通风和清洁的地方。与周围区域的距离大于2CM,前后端之间的空间距离不小于5CM。安装和设备时,请确保风扇叶片壳体端部的正常进气口。 2.在配套机器上安装:拆下底板下方的橡胶支脚,并用ST4.2自攻螺钉连接.3.进风口可根据进风口的螺纹要求连接,也可用皮管插入.4.如果有特殊需要,在真空泵的进气口安装电磁阀.5.如果提取的气体中含有大量水蒸气,温度过高,含有灰尘等,应在进水管上加入相应的装置,如冷却器或过滤器,以免影响正常使用真空泵。好了,以上是真空泵安装时的注意事项,希望能为您的安装提供一些帮助。这里是恒才机电官网,如果有需要真空泵请联系,张工:13928410990或直接在http://www.cnst-pumps.com/网站内咨询客服.
2019 - 09 - 17
在很长一段时间,真空泵被用于从塑料包装中除去氧以延长食品的保质期。真空包装有助于保护味道,消除或减少可能会改变食物的细菌和接触的其他元素的口感和品质。  近年来,肉类包装设备已经过测试,作为一个旋转螺杆真空泵技术替代旋片泵的产品。很多人都注意到了可靠性,能源效率和维护成本显著上升。  螺杆真空泵的可靠性  具有非接触的泵壳体的螺旋真空泵的旋转装置,因此最小的磨损,降低维护要求。  螺杆真空泵的能源效率  食品包装厂通常使用的25马力的旋片式真空泵。切换到旋转螺杆15马力变速驱动(VSD)技术,可以帮助客户降低装机功率达到40%以上的流量。  螺杆真空泵降低维护成本  75-150小时,通常每3-4年或每16000小时操作的旋片泵的维护间隔一次保养,维修和旋转螺杆需要8000小时,并能检修之前运行48000小时。  而不是使用一个旋转螺杆旋片泵可以为您的食品包装设备的可靠和经济的解决方案。
2019 - 10 - 18
真空泵是使用机械,物理,化学或物理化学方法排空泵送容器以获得真空的装置。通常,真空泵是一种使用各种方法来改善,创建和维持封闭空间中的真空的设备。今天我们将讨论真空泵的定子曲线要求。一,适当的两点间距:由于叶片是一个整体解决方案,因此提高了刚度,并且一端的弹性必须构成另一端的相应弹性。因此,无论转子是否转向某个角度。必须确保曲线与转子的两端接触在一起。坚持合理的开放空间。避免出现空隙现象并增加通风。二,叶片没有冲击振荡,超激的:光滑的定子曲线的噪音不能有太大的加速度,加快组装速度会导致旋片某端部增加定子曲线表面的压力,增加磨损和声音。但是,假设径向速度4)在定子曲线上的一个点处发生变化,则该点处的径向加速度将增加。理论上等于无穷大。如果a是无穷大。这时刀片似乎已分离,并且会产生很大的冲击力。它构成了很大的嗡嗡声和严重的磨擦。为了消除这种现象,需要反复润滑定子曲线。三,旋转件的旋转极好:定子曲线点的点与曲线的点的法线之间的夹角为定子曲线的压力角。压力角的增加将增加旋转叶片上的定子力与旋转叶片方向之间的夹角,这将增加旋转叶片的侧向力,增加旋转叶片与转子之间的冲突,并恶化叶片的压力。影响泵的寿命和整体功率。四,抽速大:真空泵不增加泵体规格,尽可能增加旋转叶片泵元件的容积面积,以获得更高的抽速串。新的定子曲线,以及增加的抽速,还应具有现有曲线的速度和加速度特性。现在,真空泵的定子曲线主要由理...
2019 - 10 - 31
今天给大家介绍一下罗茨旋片真空机组,主要从概述与选择注意事项这两方面来讲解一下.  罗茨旋片真空机组概述  罗茨旋片真空机组由作为主泵的ZJ型罗茨泵,作为前级泵的低液位和高真空设备的单级或双级旋片泵组成。整个机组放置在带有管道,阀门和电气控制箱的机架上,除了最小的两个规格外,还配备了冷却水管道系统机组,结构紧凑且易于使用。当转子叶片真空度达到极限时,泵送速度会不断降低。 罗茨真空泵使该机组在极限真空期间保持相对较高的抽速。 罗茨旋片真空机组具有很高的真空度,可以连续工作。低噪声。  为了提高罗茨旋片真空机组的泵送性能,实现更高的极限真空度并提高低进口压力下的泵送速度,并为大型真空机组使用更小尺寸的前端泵,罗茨旋片真空机组还具有由二级罗茨真空泵串联连接的三级机组。  根据真空系统的大小和气体状态,罗茨旋片真空机组的泵之间的标称泵送速度之比通常在4:1和10:1之间。前者适用于较长的真空系统。在低入口压力或极高真空下工作。为了防止前级旋片式真空泵回油,该系列罗茨旋片真空机组在前级管路上配备了电磁放气阀,其作用与前级的电机相连。  罗茨旋片真空机组的使用范围  罗茨旋片真空机组适用于泵送空气和其他不可冷凝,无腐蚀性的气体。它广泛用于需要高抽速和低真空和高真空的各种真空系统中。例如:真空熔炼,钢液脱气,真空烧结,大空间动态真空采集模拟测试,功率电容器,变压器真空浸没处理,荧光灯管,灯泡生产...
2019 - 11 - 05
水环真空泵维护和日常维护  (1)应注意油位和油的清洁度。新泵应每150小时更换一次,此后每2-3个月更换一次 如果操作条件不佳,当真空下降时,换油时间会缩短。  (2)保持泵和泵室干燥和清洁。  (3)始终注意冷却水和机油的温度。最高温度不超过85℃,冷却水入口温度不超过30℃,出口温度不超过5℃,水质保持清洁。  水环真空泵日常维护注意事项  (1)定期检查水环真空泵管道和接头是否松动 用手转动水环真空泵,看看水环真空泵是否灵活。  (2)向轴承体中添加轴承润滑油。观察机油标记中心线的油位。润滑油应及时更换或补充。  (3)拧紧下水环镇空泵体的导流塞注水(或泥浆) 。  (4)关闭出口管的闸阀、出口压力表和入口真空表。  (5)轻推电机,看看电机转动是否正确。  (6)启动电机。当水环真空泵正常运行时,打开出口压力表和入口水环真空泵。在显示适当的压力后,逐渐打开闸阀,同时检查电机负载 。  (7)尽量将水环真空泵的流量和扬程控制在标牌上指示的范围内,以确保水环真空泵在最高效率点运行,从而获得最大的节能效果。  (8)水环真空泵运行期间,轴承温度不得超过环境温度35C,最高温度不得超过80C 。  (9)如果在水环空泵中发现异常声音,立即停机检查原因。  (10)水环真空要停止使用泵,首先关闭闸阀、压力表,然后停止电机。  (11)水环真空泵应在运行的第一个月100小时后更换润滑...
2019 - 11 - 07
水环泵叶轮和形式在腔室1中的水环泵体内旋转。水齿圈构成新月形的工作空间。从小到大体积的月牙的右半中,形成吸入室中。由大至小新月向左的一半体积,构成了压缩处理(对应于排气室)。所述气体泵送通过进气管进入的进气口和吸入室。转子的进一步旋转,气体被压缩,并通过排气口排气管。水滴和从排气管道排入罐中的气体,此时出来的水从气体中分离,给药导管9中的气体到大气中,水从泵入罐中,或通过排水配管装置排出。  水环泵的压缩比由泵吸入口的端部位置和排气口开始位置来确定。由于吸入口的端部位置确定吸入气体抽吸腔室的体积;排气口的开始位置确定为排气气体的压缩体积。的结构已被确定为水环泵的尺寸,能够获得压缩比。  水环真空泵不能启动  电机烧坏。主要为电机定子线圈烧毁,引起原因较多,如瞬间电流过大,电机轴承使用时间过长后磨损,致使轴承摩擦阻力变大,电机功率加大,引起温度上升,导致电机烧毁。这时应先检查电机轴承,再检查电机线圈。轴承损坏时,更换轴承;电机线圈烧毁时,应维修电机,重新绕制定子线圈。轴承和线圈损坏严重时,应更换电机。  旋片卡阻。主要表现为旋片与泵腔内表面的摩擦阻力过大,致使电机无法带动转子(旋片)。其原因是旋片变形,转子内的弹簧张开后不能复位,或弹簧压力和旋片自身离心力的合力过大,导致旋片与泵腔内表面的摩擦阻力过大。这时应当修复旋片和弹簧,不能修复时,更换二者。  水环真空泵盘车不顺利。这种状况产...
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果汁灌输过程中真空系统应用

日期: 2020-05-23
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  果汁灌输过程中使用的真空系统是指通过真空的力量来灌输果汁。抽真空后加入果汁。为了实现完全真空,需要根据不同的制造商和品牌型号对其进行分类。果汁饮料的生产工艺包括以下步骤:原料、水流输送、螺旋提升、摘果、清洗、螺旋提升、排水、破碎、浆罐、浆加热、浆罐、榨汁、平衡罐、预浓缩(巴杀)、冷却、酶解、超滤循环罐、超滤、清汁罐、树脂吸附、脱酸、清汁罐、平衡罐、浓缩、冷却、成品罐、无菌灌装、密封和贴标、成品仓库。本文主要分析真空系统在果汁灌输中的应用。

  真空灌输是对传统真空袋工艺的一定改进,具有以下主要优点:

  1、减少劳动力,能有更高的生产效率;

  2、减少浪费的饮料;

  3、保持饮料剂量的一致性;

  4、减少准备时间;

  5、饮料和环境的清洁度。

果汁灌输过程中真空系统应用


  在连接管道中,用户可以在真空泵的进气口上方安装阀门和真空计,随时检查真空泵的极限压力。根据电机标志的规定连接电源,将电线接地,并安装适当规格的保险丝和热继电器。真空泵通电试运行时,必须取下电机皮带,真空泵必须按规定方向转动才能投入使用,以防止真空泵反转和喷油。(转向保护罩指示的方向)对于装有冷却水的真空泵,根据需要打开冷却水。如果电磁阀安装在真空泵端口,阀门和真空泵应同时运行。当真空泵排出的废气影响工作环境时,可以将油雾过滤器导出或安装在排气口连接管道中。

  两个或两个以上的真空泵和其他附件组合成一个系统,以达到所需的真空度,这就是所谓的真空泵系统。真空系统是由真空泵、可编程控制器程序控制系统、储气罐、真空管道、真空阀、国外过滤器组件等组成的一整套真空系统。

  目前,该系统广泛应用于电子半导体行业、光电背光模块、机械加工等行业。真空系统厂家的真空系统已经包括泵速控制、进气过滤、主要操作数据显示、操作保护和远程控制接口等。一个完整的真空系统只能通过在现场简单地连接电源和管道来形成。真空系统的控制系统由经过编程的先进的可编程控制器控制系统组成。触摸屏作为人机界面,实现真空系统、工件行走、磁控目标、过程设定和执行、报警保护系统等的全自动控制。


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高效抽气能力:旋片真空泵通过转子与旋片的协同运动,周期性改变泵腔容积,实现气体的快速吸入与压缩排放。其抽速范围通常为0.5-150升/秒,单级泵极限压力可达1帕,双级泵更可低至6.5×10⁻²帕,能满足电子晶圆吸附等工艺对真空度的严苛要求。结构紧凑设计:机组小车采用一体化撬装结构,将泵体、电控系统、过滤器等部件集成于紧凑空间内,占地面积小,便于在实验室或生产线灵活布局。其轻量化设计(如电机直联驱动)进一步减轻了设备重量,提升了便携性。移动灵活便捷:小车底部配备移动轮,支持快速搬迁与多工位切换,尤其适用于需要频繁调整设备位置的晶圆加工场景。部分机型还支持手自动模式切换,确保在PLC损坏等紧急情况下仍能维持最低限度运行。运行稳定可靠:旋片真空泵通过油膜密封与强制进油润滑设计,确保运动部件间的完美气密性与恒定润滑,同时减少有害空间对极限压力的影响。其内置的自动防返油双重保险装置与金属丝网粗过滤器,可有效防止油返入被抽系统与固体尘粒吸入泵腔,保障设备长期稳定运行。维护简便经济:机组小车结构简单,维护成本低。用户可通过定期检查油位、更换真空泵油(首次工作满150小时后换油,之后每500小时换油)与油过滤器、清洁进气口滤网等常规操作,确保设备性能。其低成本、高性能的特点使其成为空间有限或预算敏感场景的理想选择。安全防护完善:设备配备双重密闭系统(充气式电磁阀+机械止回阀)与排气过渡器,可防止气体倒流与油雾排放,避免晶圆污染或设备损坏。同时,其内置的吸气阀可在停泵时自动隔离泵与被抽系统,防止油返入被抽系统,保障操作安全。适应性强:旋片真空泵机组小车可单独使用,也可与其他高真空泵(如分子泵)组成真空机组,以应对不同工艺对真空度的差异化需求。例如,在晶圆键合工艺中,可先通过旋片泵快速抽至低真空,再切换至分子泵实现超高真空环境,提升工艺效率。经济性高:机组小车采用无油设计(...
发布时间: 2025 - 07 - 22
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