干式真空泵的应用往往有许多不同的常见故障。干式真空泵的气蚀现象会造成机械设备振动、效率降低和零件损坏等安全隐患。这种情况是如何造成的，我们应该如何处理?
1.切削液在干式真空泵的泵腔内产生气泡后，气泡会在收缩的整个过程中破裂，水环泵的金属表层会在气泡产生和破裂的整个过程中受到一定程度的损伤，导致气蚀破坏。气泡产生或破裂位置的金属表层，如呼吸端和狭窄区域，会产生缝隙腐蚀，甚至蜂窝状破坏。
干式真空泵的损坏主要是由气蚀造成的。据调查，50%的机械泵损坏与汽蚀因素有关，主要表现为离心叶轮裂纹和轴承端盖孔，危及系统软件的顺利运行。因此，如何防止汽蚀是保证可靠运行的关键工作，我们必须在设计过程中给予高度重视，进行预防。
2.在整个工作过程中，泵送系统软件与吸入区的工作压力一致，切削液在特定温度下具有一定的饱和蒸汽压。当吸入区的工作压力与切削液的饱和蒸汽压相近时，切削液倾向于气化，吸入区液体的表层会产生气泡，占据泵室的室内空间，降低干式真空泵系统软件的呼吸工作能力，减少泵送气体的量。因为温度越低，切削液的饱和蒸汽压越低，并且泵腔中的工作压力越接近切削液的饱和蒸汽压，切削液就越容易在气泡中产生气穴现象。因此，选择合适的切削液温度尤为重要。5千帕以下18时工作中点处于安全区域，26时会出现气穴现象，这是整个设计方案和应用过程中必须注意的。
在处理干式真空泵的气蚀问题时，除了上述预防方法外，干式真空泵的气蚀也必须从制造时的设计方案开始，严格遵循制造时的加工工艺，此外，客户必须更加注意其维护。