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2022 - 07 - 07
干式真空泵是无油干式机械真空泵的简称。干式真空泵是一种不使用油、水或其他聚合物等流体作为工作介质的真空泵。这使得干式真空泵的清洁度更好,并防止油污染。因此,干式真空泵主要用于对洁净度要求较高的真空等离子清洗机,如半导体领域、生物医学领域和航空航天领域。真空等离子清洗机上最常用的干式真空泵之一是干式螺杆真空泵。干式螺杆真空泵干式螺杆真空泵是一种真空泵,它利用一对螺杆在真空泵壳体内高速同步反向旋转,从而产生作用力,实现抽吸和排气的功能。由于干式螺杆真空泵相互之间没有摩擦,运行平稳,噪音低,所以工作腔内不需要润滑油。干式螺杆真空泵是一种性能优异的干式真空泵,与其他真空泵相比有很多优点:第一,干式螺杆真空泵的极限真空度很高,最高极限真空可达到1-2Pa;第二,干式螺杆真空泵性能稳定,噪音低,故障率低,维护简单;第三,干式螺杆真空泵的一种工作腔和螺杆转子表面均有防腐涂层,可适应恶劣工况。深圳恒才机电设备有限公司的真空泵、真空系统在电子、半导体工业、制药工业、印刷行业、镀膜、橡塑成型、PET片材挤出、颗粒挤出、医疗器械等工业领域应用,恒才真空泵厂家始终以稳定的真空系统为客户提供安全可靠的真空解决方案、定制化中央集成真空系统。
2022 - 08 - 05
休闲食品真空包装用哪种真空泵系统更适合呢?据调查,食品真空包装现状使用得比较多是旋片真空泵,但出现的问题很多需要改善,我们有个客户正好是休闲食品真空包装工艺,工厂现有的真空设备是国产油旋片真空泵,功率2.2KW,共有40台旋片式真空泵在食品包装使用中,每月耗电费用巨大、且旋片真空泵维修频率高,无论是对产品生产效率还是成本支出,都是一笔大额的消费。根据客户的真空要求,及真空使用的现状,恒才机电对其进行了升级改造,全新的真空改造方案。恒才真空解决方案:采用阿特拉斯螺杆真空泵GHS730VSD+ 3台替换原有40台旋片真空泵,螺杆真空泵设计成中央真空泵系统应用。此真空方案与原有的油旋片真空泵相比,阿特拉斯GHS730VSD+系列螺杆真空泵应用成本较低,中央真空系统节能空间巨大,同时能极大的改善车间环境,减少客户设备维护量;不仅如此,阿特拉斯螺杆真空泵为客户节能50%以上,实现节能环保的效果,所节省下来的费用及使用效率都是非常可观的。深圳恒才机电设备有限公司,专注于真空泵领域,通过从设计选型安装调试维保等一站式服务, 为客户解决真空泵应用、真空工艺改善问题,恒才机电通过与阿特拉斯、SPECK、NASH、CNST等国际知名品牌的合作,提供优质的真空泵、真空泵机组、真空泵系统方案等。
2022 - 09 - 27
CNC精雕加工用到真空泵,主要是真空吸附系统,是通过真空负压来“吸附”工件,以达到夹持工件和固定加工的目的。CNC精雕加工适合用哪种真空泵呢,可以用旋片真空泵吗?深圳恒才机电设备有限公司,专注于真空泵领域,为客户提供专业的真空改造方案,行业应用真空解决方案及真空装置,来了解下,哪种真空泵适合用于CNC加工真空吸附工艺。恒才机电为客户提供的真空改造方案,选用了旋片式真空泵,旋片泵真空吸附系统工作原理如下:旋片真空吸附系统采用真空负压来“吸附”工件,以达到夹持工件固定加工的目的。通气口与真空发生装置相连。当真空发生装置启动时,通气口通气,吸盘内的空气被抽走,形成真空状态。此时,吸盘内部的气压低于吸盘外部的大气压,工件在外部压力的作用下被吸起并固定。吸盘内部的真空度越高,吸盘与工件的附着力越强,真空吸附是真空泵的一种常见应用。CNC精雕加工,旋片式真空泵系统它是集真空泵、气罐、电源控制器和真空传感器于一体的小型真空系统,采用品牌管道和过滤器、隔音板配套使用,防止噪音过大。每台精雕机配备真空表,能清楚了解管道内的情况,防止堵塞,有效地为客户节省能源。真空系统性能稳定、结构牢固、体积小巧。深圳恒才机电设备有限公司专注于真空泵领域,提供专业的真空设备、根据需要改造真空泵系统,提供真空解决方案、真空泵售后维修保养等一站式服务,更多真空泵信息,欢迎致电了解。
2022 - 11 - 16
罗茨螺杆真空机组可用于化工行业抽真空,罗茨螺杆真空机组工作原理是什么?罗茨螺杆真空机组,是由康斯顿品牌的螺杆真空泵及三台罗茨真空泵组合而成,罗茨真空泵优势在较低的入口压力时仍具有较大的抽气速率;康斯顿螺杆真空泵解决了对介质和环境造成污染的问题,同时回收物还能创造附加经济效益;可应用于化工行业抽真空。罗茨螺杆真空机组工作原理:罗茨螺杆真空机组打开冷却水、冷冻液供应阀门,确保冷凝器和回收器工作条件具备后,先启动螺杆真空泵,在系统内建立真空;打开被抽反应釜阀门,被抽气体经反应釜本身自动的冷凝器和回收分离后,到达真空系统的前置综合处理器,再进行充分冷凝、捕集、分离、压缩后,被螺杆真空泵抽出;被抽气体排出螺杆真空泵后,再经过排气冷凝、分离、回收后进一步降低排放气体中的可凝气体含量,环保节能的真空机组解决方案。深圳恒才机电设备有限公司给客户提供稳定的真空系统解决方案,专业真空设备和真空系统设计、工程、售后等服务,更多真空泵应用案例、行业真空解决方案欢迎致电我们。
2023 - 02 - 01
真空压合机真空系统应用特点,在覆铜板和PCB行业之中几乎都能用到真空压合机,使用真空压合机的目的是能让覆铜板和线路板之间的压合时减少板层之间气泡的产生,从而提高线路板的绝缘性能。罗茨水环真空机组,顾名思义罗茨泵水环泵组成的真空机组,下述为真空压合机真空系统应用特点:PCB压合机的目的是能让覆铜板和线路板之间的压合时减少板层气泡产生,从而提高线路板的绝缘性能。传统的PCB真空压合机真空系统多使用油旋片泵,虽然真空度能达到要求,但旋片泵密封介质是油,对水汽、高温和杂质都很敏感,水分容易和油发生反应从而失去真空油密封、降温和润滑的功能,保养频率较高。那么什么样的真空机组就能解决这些问题呢?传统PCB真空压合机真空系统使用的一些问题,我们为其设计了新的解决方案,PCB真空压合之罗茨水环真空机组。改造后的PCB真空压合机真空系统应用特点是:启动快,耗功少,抽速大,对气体中所含的少量水蒸汽和灰尘不敏感;水环泵叶轮上偏心安装,与泵腔无接触无磨损,更节能;以水做密封,可以循环利用成本低,对环境无污染维修周期长5年以上,无需专人维护。从机组耗能、成本、维修效率相比,这个方案应用更理想。深圳恒才机电设备有限公司的真空泵、真空系统在电子、半导体工业、制药工业、印刷行业、镀膜、橡塑成型、PET片材挤出、颗粒挤出、医疗器械等工业领域应用,恒才真空泵厂家始终以稳定的真空系统为客户提供安全可靠的真空解决方案、定...
2023 - 04 - 27
恒才工程师到达LED分光编带车间现场沟通,根据产品真空要求,恒才设计了真空解决方案,采用中央真空系统厂务改造方案。通过2台GHS VSD+变频油润滑螺杆真空泵(一备一用),替代微型真空泵200台,单台油螺杆真空设备自带控制系统,可以根据生产所需调节压力设置点、自动控制设备的启停,也可通过管路阀门来调节系统压力,方便统一管理,是中央真空系统设计的其中一大优势。改用集中真空后,节电率大于150%,车间单泵的噪音和热量,大大降低中央空调的负荷,还员工良好的工作环境。恒才在排气端为真空泵系统配备油雾回收罐,此回收罐用来回收螺杆真空泵里面随空气带出来的真空油,回收后的真空油可再度使用,大大延长真空泵的换油时间。深圳恒才机电设备有限公司的真空泵、真空系统在电子、水处理、引水、半导体工业、光电、制药工业、印刷行业、镀膜、橡塑成型、PET片材挤出、颗粒挤出、医疗器械、石材等工业领域应用,恒才真空泵厂家始终以稳定的真空系统为客户提供安全可靠的真空解决方案、定制化中央集成真空系统。
2024 - 03 - 13
罗茨水环真空机组在片材PET挤出工艺中的优势随着科技的不断进步和工业的快速发展,PET片材作为一种重要的高分子材料,在包装、电子、汽车等领域得到了广泛应用。片材PET挤出工艺作为PET材料加工的重要环节,近年来,罗茨水环真空机组在片材PET挤出工艺中的应用逐渐普及,为提升产品质量和生产效率带来了显著优势。一、罗茨水环真空机组应用的好处:罗茨水环真空机组可以有效排除挤出过程中的空气和水分,减少气泡和缩孔的产生,使PET片材表面更加光滑、平整。同时,真空机组还可以降低挤出过程中的氧化程度,减少色泽变化和黄变现象,保证PET片材的色泽稳定性和透明度。这些优势有助于提高PET片材的产品质量,满足市场对高品质材料的需求。二、提高生产效率罗茨水环真空机组具有强大的抽气能力,可以快速建立并保持稳定的真空环境,使PET片材在较短的时间内完成挤出过程。这不仅可以缩短生产周期,降低能耗,还可以提高生产线的自动化程度,减少人工干预和操作难度。因此,罗茨水环真空机组的应用有助于提高PET片材的生产效率,降低生产成本,增强企业的市场竞争力。三、节能环保罗茨水环真空机组在运行过程中产生的噪音和振动较小,对环境的污染也较低。同时,该机组还可以回收利用挤出过程中产生的废气和废水,实现资源的循环利用,降低企业的环保压力。这些优势使得罗茨水环真空机组在片材PET挤出工艺中具有较高的节能环保性能,符合现代工业绿色发展的...
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2019 - 12 - 12
在选择真空泵之前,每个人都必须了解有关真空泵的几个重要概念和参数。  真空度:指真空下气体的稀薄度,通常用真空度表示。真空计读取的值成为真空度。真空值是指示系统压力的实际值低于大气压的值。表格中显示的值是极限绝对压力,这是我们指的极限真空。真空度=大气压-绝对压力(大气压一般为101325Pa),水环真空泵的极限真空为3300Pa,旋转叶片真空泵的极限真空为200Pa。  极限绝对压力:由绝对压力测量的内部压力要比“理论真空(理论真空压力为0Pa)”高多少。它比较的对象是理论状态的绝对真空压力值。由于工艺限制,无论如何我们都无法将内部压力拉至0 Pa的绝对真空。因此,由真空泵抽出的真空值高于理论真空值。因此,以绝对真空表示时,值前面没有负号。  抽气量:抽气量是真空泵抽气速度的度量。一般用L/S和m表示?/H。它是泄漏补偿率的参数。理论上,绘制了相同体积的容器。为什么大型真空泵很容易获得我们所需的真空,而小型真空泵却很难甚至不想要我们想要的真空?因为管道或容器绝对不能绝对防泄漏。大的泵送能力弥补了由泄漏引起的真空下降。因此,容易得出理想的真空值。因此,建议您在计算理论抽气量时选择更高级别的真空泵。  关于真空泵的选择  1、满足工艺要求的真空泵  真空泵的工作压力应满足过程工作压力的要求,选择时的真空度应比真空设备的真空度高一半至一个数量级。通常,如果要求绝对压力高于3300Pa,...
2019 - 12 - 15
1、真空包装机中真空泵在正常运行之前,应该对真空泵进行一次测试,并检查真空泵是否存在异常振动和冲击噪声。首次使用的真空泵还应确定真空泵的极限压力,该极限压力应符合技术规格。在长期使用真空泵的情况下,真空泵的温度不应超过70度。  2、需要通过冷却水的设备的真空泵,必须在启动前先通过冷却水,然后再启动。冷却水出口的温度不应超过30度。  3、连续真空泵和被抽系统的管道应尽可能短而粗,并且管道的内径一般应不小于真空泵入口的直径,以免影响泵送管道阻力导致的大速度。  4、为了保持工作室的清洁卫生,这有利于工人的健康,皮管用于将废气直接引到室外。  5、如果真空泵长时间不工作或环境温度较低,则可能会导致启动困难。此时,应使用真空泵的抽气口通大气随风旋转滑轮。在没有电源的情况下旋转数周后,将启动真空泵。使用真空泵,您可以继续运行电动机几次,将真空泵腔中存储的油排入燃油箱,然后启动。如果没有,您可以使用辐射加热或直接加热真空泵,直到它可以移动为止。  6、使用前,检查设备的真空泵油是否到达窗口的油标线位置。同时,必须检查电动机皮带轮的旋转方向。  7、工作完成后,应先关闭高空阀,然后再关闭低空阀,然后关闭旋片真空泵,然后排气,以防止气体泄漏。油返回真空系统。最后,应切断主电源,并停止供水。
2019 - 12 - 18
以下是罗茨真空泵厂家对启动罗茨真空泵前准备工作的介绍。罗茨真空泵机组一般使用罗茨泵作为主泵,水环泵作为前级泵组成。该真空装置广泛应用于各种行业,如食品工业中的冷冻干燥过程、医药工业中的干燥过程、化学工业中的真空蒸馏和结晶过程等。为了帮助客户更好地准备我们的产品使用,我们想介绍启动罗茨真空机组前的准备工作:  1.检查前泵水箱水位是否达到水箱的3/4以上,并弥补不足。  2.检查水箱使用中的水是否是否干净,不允许使用含泥沙的污水,以免堵塞管道,造成叶轮磨损,增加电机负荷,造成故障,影响泵使用的使用寿命。  3.检查中间泵和主泵中润滑油的油位。油位必须达到油窗的3/4以上。同时,检查颜色润滑油。如果罗茨真空泵的出现有更多乳白色或黑色杂质,通知机修工更换润滑油。  4.检查中间泵和主泵循环冷却水路是否是否完好,打开循环冷却进水和出水阀,检查循环冷却进水和出水是否是否正常。  5.检查中间泵底部缓冲罐的排水阀是否是否关闭。  6.检查罗茨真空泵机组电路是否良好,控制柜指示是否正常是否。  7.检查真空泵机组的电极触点压力。中间泵和主泵压力是否启动正常(中间泵启动进口压力大于0.065Mpa,主泵启动进口压力大于0.085Mpa)。  每个人都经常忽略准备工作。事实上,这项工作也非常重要。只有为开工做好精心准备,能够确保工作才能安全,提高生产质量。综上所述,罗茨真空泵机组只有在以上所有事项都...
2019 - 12 - 21
水环真空泵在使用中会产生高频放电现象。许多人可能对这种现象了解不多,但这与我们通常所说的放电现象不同。它不仅不会导致设备故障,而且有助于设备的正常运行。  水环真空泵的高频放电是在两个电极之间存在高频交变电场时引起的放电形式。当在放电管上施加交流电压时,气体中的电子和正离子将在交流电场的作用下产生额外的共振。因为正离子的质量比电子的质量大得多,所以共振幅度很小。当频率较低且共振幅度远大于两个极之间的距离时,电子在每个半周期内经历崩溃,放电和熄灭的整个过程。此时,放电情况与直流情况相同。当频率更高时,谐振的幅度远小于两个极点之间的距离。随着电子连续地来回移动,其电离能力将大大提高。因为电子共振的幅度小,所以进入电极的电子数量将大大减少。这确保了气体自持放电的电子将不再由电极产生的二次电子提供,而是由当电子来回移动时电离产生的电子提供。此时,虽然也有少量的正离子和光子轰击电极以产生二次电子,但由于两个电极的极性不断变化,所以二次电子的振动方向有时与电极的方向相同。电子流入电极,有时是相反的。因此,这不利于保证自我维持的条件。  水环真空泵只要存在高频电场,就可以形成这种高频放电,并且不必是电极,因此通常称为无电极放电。不仅可以在交变电场下,而且可以在交变磁场下形成无序放电。交变磁场可以产生漩涡电场,并且由于残留电离而产生的气体中的电子在磁场线周围的涡旋电场的作用下加速,从而产生大量的电...
2019 - 12 - 24
水环真空泵经常出现在工程项目中。当其运行时会发生气蚀现象。气蚀现象会对真空泵设备造成损害。以下是设备发生的现象气蚀的介绍.  一、压力吸入区域  1、压力相当于水环真空泵系统的压力,也就是说,泵系统的真空度越高,吸入的区域的真空度越高。  2、当达到工作流体的蒸汽压时,可以认为工作流体蒸汽完全充满了工作室。此时,泵的外部吸入能力接近0,而泵的气蚀现象为严重。  3、压力越接近液体的蒸汽压,液体就越接近沸腾。  4、此时,在吸入区域的工作流体的表面上将有许多气泡发生,因为工作腔中的工作流体蒸汽发生将占据工作腔中的一些空间,并且泵对外部的抽吸能力将降低。  二、在设备工作过程中  1、在流体运输过程中,一旦泵中发生出现气蚀现象,叶轮将因气蚀而迅速损坏。  2、工作时,它的叶轮也在水和气体的混合物中高速旋转,但气体在高压下不会凝结。  3、当低压下的液体压力低于相对温度下的蒸发压力时,液体开始蒸发,并且发生气泡随着液体进入的高压区域分裂,周围的液体填充原始气泡空间发生用于液压冲击。发生,这种气泡现象的膨胀和分裂称为气蚀现象。  4、需要使用液体作为工作介质,每种液体在一定温度下都有相应的蒸汽压。  三、气蚀的区别  1、当叶轮入口处的压力等于或低于液体的饱和蒸汽压时,它将蒸发并产生气泡。  2、当这些气泡流到高压处并再次冷凝时,冷凝过程中会产生高局部压力,这会使叶轮因疲劳而呈蜂窝状或海绵...
2019 - 12 - 27
2bv大型水环真空泵通常安装在厂房中,需要高负压设备。使用后会发生缩放。一旦出现结垢这种现象,就意味着水环泵的性能将受到影响。以下是一些原因:  1、溶解度降低  溶解度温度系数为负的盐类,如硫酸钙、硫酸钙、碳酸钙,随着循环水温的升高溶解度降低,沉淀形成水垢。  2、相互反应  真空泵运行期间,在循环水中具有高初始溶解度的盐和其它盐发生物理结合反应,形成不溶性物质和水垢。  3、蒸发和浓缩  由于循环水的不断工作和发热,蒸发和浓缩是不可避免的,因此水中溶解盐的浓度不断增加,当饱和时沉淀形成水垢。  4、受热分析  循环水进入后,含有硬度成分的真空泵在水环真空泵体内形成水环做功,随着泵的旋转产生热量,使溶解在水中的碳酸氢盐逐渐被分析,不溶于水的沉淀析出水垢。  2bv大型水环真空泵应用广泛。使用过程中出现的结垢现象将直接影响设备的运行,从而延缓工作进度,加剧设备使用寿命的缩短。我们应该采取正确的方法来维护、减少时间和提高工作效率。  恒才机电真空泵厂家主要产品有2BV、V、VG、VI、VZ、VN、LRP系列水环真空泵,X、GVD系列旋片真空泵,ZJ系列罗茨真空泵,GXS、DHS、VSD、GHS系列螺杆真空泵,DZS系列爪泵,中央真空系统等产品。公司代理有阿特拉斯.科普柯(atlas),司倍克speck产品.真空泵厂家恒才机电凭借多年的生产制造经验,一流的技术人员,完善的售后渠道使得产...
2019 - 12 - 30
进口螺杆真空泵尼龙树脂行业被广泛应用。常见的是真空泵用于树脂干燥过程。对于某些局外人或仅使用它的人,他们不理解为什么将进口螺杆真空泵设备用于干燥。让我向大家介绍一下。  一、在实际干燥过程中提取的介质包含大量的水蒸气。因此,由于其自身的特性,螺杆真空泵将迅速乳化其润滑油,从而导致后续产品的泵速和真空度不稳定。同时,诸如油气回流和燃料喷射之类的问题会影响生产环境的清洁度。  二、在尼龙树脂干燥中,由于对质量的需求,该公司使用螺杆真空泵进行真空干燥工艺。在此过程中,必须确保稳定的真空和干净的真空环境。  三、进口螺杆真空泵在这种清洁环保的真空干燥应用中:  1、可以避免以下问题:无干油,直接提取水蒸气和含颗粒物的气体,单级直接排气气氛等,直接提取水蒸气和含颗粒物的气体,单级直的排气气氛。  2、在实际应用中可以达到更高的真空度并保持平稳的抽速。在真空泵的应用中,没有油,水等介质,可以配备自动清洗功能,可以大大减少企业使用过程中的维护工作。  进口螺杆真空泵可以干燥尼龙树脂的原因是因为它具有清洁和环保的作用,并且可以避免各种问题,例如无油干燥,直接提取水蒸气和包含颗粒物的气体,和单级直排气。减少维护时间和工作量。  恒才机电真空泵厂家主要产品有2BV、V、VG、VI、VZ、VN、LRP系列水环真空泵,X、GVD系列旋片真空泵,ZJ系列罗茨真空泵,GXS、DHS、VSD、GHS系列进口螺杆...
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真空泵抽不出液体这8大常见问题

日期: 2020-04-26
来源:
浏览次数: 102

  简单来说,真空泵就是用各种方法在某一个密闭空间中产生和维持真空的装置。真空泵如果操作不当,往往会出现故障,日常生产中我们常见的真空泵故障主要包括真空度不高;泵的轴承部位升温过高;电机、真空泵运异常;真空泵漏油、喷油;真空泵起动困难;真空泵抽不出液体这六大常见问题。下面小编就将针对真空泵抽不出液体,如何进行真空泵维修?这一个问题,给出详尽的解决方案,帮助大家来排除真空泵故障,使真空泵发挥其最大的作用。

  怎样降低真空泵能源消耗?

  A.合理选用真空泵的材料

  考虑能够维持真空机组的运行寿命在4年以上,尽量选用低价易铸的,对于腐蚀性液体等介质的,可选用过流部件防腐、采用不锈钢材质,当然具体选用需结合产业实际需求而论。

  B.合理确定真空泵的出力

  首先要摸清各级真空泵系统的阻力,消除阻力过大的异常现象。其次考虑各种不利因素共同影响下它的最大给抽气量,再结合运行要求确定出安全又经济的系统压力。最后根据总抽气量对真空机组进行改造出力配置,保证安全的前提下,让系统处于中速运转,使运转工况所需的真空度和抽气量与真空泵的效能相匹配。

真空泵抽不出液体


  C.合理用好管线

  采用理论实践计算和模型实验的亲密配合的办法,选用可靠的高效管线,并保证在可能低的抽气量下,达到工况应许的真空度。

  D.尽量发挥电动机的潜力

  真空泵抽不出液体,如何进行真空泵维修?真空泵抽不出液体,会有八种情况导致的,接下来就跟着小编来了解一下哪八种情况吧。

  1、没有灌注液体

  解决方法:重新灌泵。

  2、吸入管、出水管或泵的流道堵塞

  解决方法:消除杂物。

  3、吸入管或泵内没有排净气体

  解决方法:检修吸入管路并排净气体。

  4、吸上高度超过允许范围

  解决方法:按允许吸上高度重新按装泵。

  5、压出管路太细,管路损失太大

  解决方法:换适合的压出管路。

  6、使用扬程超过了设计扬程

  解决方法:重新选泵。

  7、输送热的、挥发性的介质

  解决方法:降低吸程或采用倒灌按装。

  8、转向反了

  解决方法:纠正转向。


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发布时间: 2025 - 07 - 23
高效抽气能力:旋片真空泵通过转子与旋片的协同运动,周期性改变泵腔容积,实现气体的快速吸入与压缩排放。其抽速范围通常为0.5-150升/秒,单级泵极限压力可达1帕,双级泵更可低至6.5×10⁻²帕,能满足电子晶圆吸附等工艺对真空度的严苛要求。结构紧凑设计:机组小车采用一体化撬装结构,将泵体、电控系统、过滤器等部件集成于紧凑空间内,占地面积小,便于在实验室或生产线灵活布局。其轻量化设计(如电机直联驱动)进一步减轻了设备重量,提升了便携性。移动灵活便捷:小车底部配备移动轮,支持快速搬迁与多工位切换,尤其适用于需要频繁调整设备位置的晶圆加工场景。部分机型还支持手自动模式切换,确保在PLC损坏等紧急情况下仍能维持最低限度运行。运行稳定可靠:旋片真空泵通过油膜密封与强制进油润滑设计,确保运动部件间的完美气密性与恒定润滑,同时减少有害空间对极限压力的影响。其内置的自动防返油双重保险装置与金属丝网粗过滤器,可有效防止油返入被抽系统与固体尘粒吸入泵腔,保障设备长期稳定运行。维护简便经济:机组小车结构简单,维护成本低。用户可通过定期检查油位、更换真空泵油(首次工作满150小时后换油,之后每500小时换油)与油过滤器、清洁进气口滤网等常规操作,确保设备性能。其低成本、高性能的特点使其成为空间有限或预算敏感场景的理想选择。安全防护完善:设备配备双重密闭系统(充气式电磁阀+机械止回阀)与排气过渡器,可防止气体倒流与油雾排放,避免晶圆污染或设备损坏。同时,其内置的吸气阀可在停泵时自动隔离泵与被抽系统,防止油返入被抽系统,保障操作安全。适应性强:旋片真空泵机组小车可单独使用,也可与其他高真空泵(如分子泵)组成真空机组,以应对不同工艺对真空度的差异化需求。例如,在晶圆键合工艺中,可先通过旋片泵快速抽至低真空,再切换至分子泵实现超高真空环境,提升工艺效率。经济性高:机组小车采用无油设计(...
发布时间: 2025 - 07 - 22
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