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2025 - 05 - 23
电子封装用水环真空泵机组具有以下优势:结构简单,制造与维护便利:水环真空泵机组结构紧凑,制造精度要求不高,容易加工,一般可与电动机直联,无需减速装置,占地面积小,操作简单且维修方便。这种设计不仅降低了设备成本,还减少了维护时间和成本。工作平稳,运行可靠:水环真空泵机组的转子和外壳之间通过水环形成密封,减少了转子旋转时的噪音,运行平稳且稳定性强。这种平稳的运行状态延长了设备的使用寿命,降低了故障率,确保了电子封装过程的连续性和稳定性。适应恶劣工况:水环真空泵机组能够在高温、低温以及恶劣环境条件下稳定运行,对气体的压缩接近等温压缩,压缩时温度变化小,泵内没有相互摩擦的金属接触面,不易发生燃烧爆炸事故。这种特性使得水环真空泵机组特别适用于处理含有微小颗粒或水分的气体,以及易燃、易爆等危险气体。密封性能好:水环真空泵机组采用水作为密封介质,具有良好的密封性能,可有效防止气体泄漏。在电子封装过程中,这有助于保持封装腔室内的真空度,提高封装质量。安全性高:水环真空泵机组无需对泵内进行润滑,转动件和固定件之间的密封由水封完成,减少了因润滑油泄漏而引发的安全隐患。同时,其稳定的运行状态和较低的故障率也进一步提高了设备的安全性。
2019 - 10 - 29
随着社会高新科技的发展,越来越多的行业对清理真空、环保等的需求更为严格,避免返油渗油的污染,因此干式螺杆真空泵得到了快速地发展。  干式螺杆真空泵主要用于高纯粹的真空加工工艺过程,可处理含可凝性蒸汽的气体,含细微细颗粒物的气体。螺杆真空泵具有低消耗能、抽速大、使用期长、免 检修等特性,因此广泛应用于石油化工、冶金工业、制药业、生物技术、造纸工业、电子光学工程等行业领域。  螺杆真空泵由电机定子、电机转子、旋片、发动机缸体、电动机等主要零部件构成,在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备。  由于螺杆真空泵没有真空泵物质(真空泵油、水等),通过螺杆真空泵的气体未受真空泵物质的污染。这样螺杆真空泵下冷疑部分转化成过热蒸汽下冷疑,进一步提高有 机溶剂类原材料的利用率,对螺杆真空泵下难冷疑的原材料特别有益。  通过该流程配备,螺杆真空泵排污的废气中已基本可含工业废气。另外,螺杆真空泵排尽气体通过列管式冷疑器的壳程后,噪音也大大降低。  螺杆真空泵与启动马达对比真空度低,抽供气量小,但容积精巧,便于安装,维护简单,移动方便,不环境污染,尤其在要求较高的场所使用也不错。  因此在购买螺杆真空泵时要先确定要求工作的真空度,如果需求的真度高,选的螺杆真空泵就要高过需求的真空度,不然会达不到工作标准。
2019 - 11 - 05
首先,真空泵本身泄漏  1,密封件泄漏。检查密封件,所述更换损坏的密封件的所有的密封件。  2,气镇阀垫片损坏,或拧紧。更换并拧紧垫圈气镇阀。  3,排气阀膜受损,密封不好,阀板应更换。  4,真空泵膜片推干扰的量过多,导致在真空室中泄漏的变形。应更换或修理的真空泵室。  5,由于由密封不良的真空泵油泄漏的端部表面。它应该是开放的端盖,检查有无凹凸不平杂物,清洗或修理。  其次,真空泵油问题  1,把油面高度过低,足够的油应加入到油标准中心线。  2,受污染的油,油质变坏。应该用新油更换。  3,油的等级不匹配,应该通过规定品牌真空泵油的更换。  4,油道屏障,真空室不能维持正确的油。单向阀进油通道和油,油是明确的。  5,过滤器的进气口被堵塞。拆卸过滤器应该是干净,然后把东西。  6,转子被变形或破裂失败弹簧和旋转叶片移动。整修或更换应春具有良好的产品转子旋转叶片的偏转。  7,真空泵温度过高。  1,中的溶液被抽气体温度过高。应该被允许进入加油站前冷却下来。  2,真空泵吸入体是很难磨损。拆卸硬物应该打开真空泵,修复或更换零件划伤。  3,真空泵冷却水是不够的。应该增加冷却水流量。  4,装配不当,转子轴的位移,导致片面的磨损。它应拆开检查和重新组装。  8,由于处理不良或磨损由间隙引起的过大。它应与泵室,转子,旋转叶片,罩板之间的间隙,流延预定的精度修理或更换进行检查。  9...
2019 - 11 - 07
什么是水环真空泵       水环真空泵是液体环真空泵是最常见的一种。液环真空泵是安装在泵壳体中的多叶片转子具有偏心。当它旋转时,液体抛出和泵壳体与所述泵壳的液体环同心,形成体积排量泵和所述转子叶片的液体环旋转周期变化。当工作流体是水,所述水环泵。  水环真空泵工作原理  水环真空泵的叶轮在泵壳内偏心安装。启动前在泵气缸内灌入脱氧水(工作液)。当叶轮顺时针方向旋转时,由于离心力的作用,将液体甩至泵体壁,叶轮的转动迫使工作液沿泵壳内壁形成一个决定于泵腔形状的近似于等厚度的封闭圆环。此时,会在两相邻叶片、叶轮轮毂和液环内表面之间形成一个被工作液密闭的“气腔”。由于叶轮在泵壳内是偏心配置的,所以水环的内表面与叶轮轮毂之间形成一个月牙形空间,它被叶片分成若干容积不等的小室,每个小室的容积随叶轮转动作周期扩大和缩小,当小室容积逐渐扩大,气体由外界吸入,当小室容积逐渐缩小,使原先吸入的气体被压缩而排出。这样,叶轮每转一周,叶片与叶片间的小室容积改变一次。每两叶片间的液体好像液体活塞一样往复运动,连续不断地抽吸气体,达到抽真空的目的。  水环真空泵选型  1、应尽量选择转速较低的规格  我国水环真空泵的使用最可能是2BE 系列,属轴向吸排气单作用泵,关于同一个规格都有多种转速供抉择,当进口压力在200 hPa~600 hPa,排气压力为800 hPa~10...
2019 - 11 - 08
真空泵是非常重要的机械设备,广泛用于生产中,类型很多。您对不同类型的真空泵的工作原理了解多少?以下是为真空泵设计的几种类型的真空泵的小系列。工作原理和适应范围介绍如下。  01.螺杆真空泵  螺杆真空泵的特点:除了容积泵的共同特点外,螺杆真空泵还具有连续轴向流,脉动小,内部速度低以及混合更多空气和其他气体的可能性。应用了液体搅拌和旋转的许多应用。  适用范围:广泛应用于石油,化工,化纤,电力,海上平台工程,造船,精密机床,食品等工业领域。  02.齿轮真空泵  齿轮真空泵的特点:1.结构简单,价格低廉; 2工作要求低,适用范围广; 3个端盖和齿轮之间的各个间隙凹槽构成了许多固定的密封工作室,只能用作定量泵; 4,重量轻,工艺性能好,价格低廉,自吸性强,对油污不敏感,转速范围大,负载抗冲击,易于维护,运行可靠; 5径向力不平衡,动脉流量大,噪音大,效率低,零件互换性差,磨损后不易维修,不能用作可变泵。  适用范围:一般运输石油,润滑油等润滑液体;在机械工业中用作辅助油泵,用于中速,低压力液压系统和润滑油系统;在化学工业中可用于输送高粘度材料,例如尼龙,聚乙烯,聚丙烯和其他熔融树脂。  03.叶片真空泵  叶片式真空泵的特点:输出流量比齿轮式真空泵均匀,运行稳定,噪音小;工作压力高,容积效率也高,单作用叶片真空泵易于实现流量调节,而双作用叶片真空泵受转子径向流体压力平衡。叶片真空泵的寿...
2019 - 11 - 12
一般情况下,水环真空泵以一定转速旋转工作,如果其转速等于或接近泵转轴系统振动频率的倍数,水环真空泵就会发生猛烈的振动,即产生共振。如果转速一直停留在临界转速附近,轴的变形就将速度增大,导致损坏泵的零件,甚至整个机器的破坏。  为了避免共振现象的发生,应首先计算水环真空泵泵轴的固有频率。由于共振时泵的转速等同于临界转速,所以实质的问题是计算水环真空泵的临界转速。第一阶临界转速下,振动激烈,最为危险,所以通常主要计算第一阶临界转速。  目前,计算临界转速的方法有:瑞利法、等效重量法以及邓克尔莱方程法等。对 于 实 际 中的水环真空泵转轴,都是多阶变径轴,使用瑞利法在计算挠度时会变得非常繁琐,单一运用等效重量法和邓克尔莱方程也不能有效的解决。同时现行计算临界转速都是将叶轮载荷简化为集中载荷,当叶轮轴向长度较长时将会严重影响计算准确性。  因此,针对以上问题,本文提出并使用一种新的有效的计算方法,以解决计算转轴系统的临界转速问题。  计算原理该计算首先将阶梯轴通过当量直径来等效转换为等径轴,计算出其临界转速,同时将叶轮等效为均布载荷,利用叠加原理计算挠度,通过瑞利法可计算 出 叶 轮 载 荷 下(不 计 轴 重)的 临 界 转 速。最后运用邓克尔莱方程计算出转动机构的临界转速。  计算结果  选用某型号水环真空泵的转轴系统进行分析,利用MATLAB对数据进行计算,由 于 系 统 材料为30...
2019 - 11 - 14
我们将向您介绍螺杆真空泵在镀膜设备中的应用。在过去的十年中,由于国内经济的不断改善和人民生活水平的提高,极大地影响了涂料行业在国民经济中的地位和作用。国内市场对产品涂料的要求越来越高,市场需求也在不断增长。真空技术的应用领域包括电子技术,航空航天技术,加速器,表面物理学,微电子学,材料科学,医学,化学工业,工农业生产,日常生活等领域。真空泵镀膜的应用是真空应用的一大分支,在光学,电子,物理和化学设备,包装,机械和表面处理技术中有着广泛的应用。  真空镀膜的主要方法有:  真空溅射:当高能粒子(通过电场加速的正离子)撞击固体表面时,它们与表面上的原子和分子交换能量,导致这些原子和分子溅出。  真空蒸发:将形成薄膜的材料加热并在真空中蒸发,以将其沉积在合适的表面上。  干螺杆真空泵的优点  1、工作腔和螺杆转子表面均具有抗腐蚀涂层,可适应恶劣条件。  2、气体未在泵中压缩,适合于抽取可凝性气体。  3、无油耗,无滴落。  4、结构简单,维护方便。  5、所泵送的气体直接从泵体排出,不污染水,没有环境压力,更便于气体回收。  螺杆真空泵是真空镀膜设备生产中必不可少的设备。其主要功能是控制镀膜机的温度,以确保镀件的质量和生产效率。它的应用可以避免环境温度对自来水和冷却塔的冷却造成的不利影响,并确保涂布机高精度,高效率地工作。真空泵的冷却效果也直接影响产品的质量。随着真空镀膜行业的飞速发展,...
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2025 - 05 - 21
电子封装过程中使用水环真空泵机组,主要基于其能够满足工艺对真空环境的严格要求、具备稳定可靠的性能、适应复杂工况的能力以及符合环保与安全标准等多方面优势。以下为具体分析:一、满足电子封装工艺对真空环境的要求高真空度需求:电子封装过程中,许多工艺步骤需要在高真空环境下进行,以确保封装材料的纯净度和封装质量。水环真空泵机组能够提供稳定的真空环境,满足电子封装工艺对真空度的严格要求。低气体残留要求:在电子封装中,任何微小的气体残留都可能对封装性能产生严重影响。水环真空泵机组具有高效的抽气能力,能够迅速将封装腔室内的气体抽出,降低气体残留量,提高封装质量。二、水环真空泵机组的性能优势结构紧凑,占地面积小:水环真空泵机组通常设计紧凑,占地面积小,便于在电子封装生产线上集成和安装。运行稳定,维护方便:水环真空泵机组采用成熟的技术和可靠的设计,运行稳定,故障率低。同时,其维护也相对方便,降低了生产线的停机时间和维护成本。适应性强:水环真空泵机组能够适应不同的工况和封装材料,满足电子封装工艺的多样化需求。三、水环真空泵机组在电子封装中的具体应用封装腔室抽真空:在电子封装过程中,水环真空泵机组用于将封装腔室内的气体抽出,形成高真空环境,为后续的封装工艺提供条件。气体回收与处理:水环真空泵机组在抽气过程中,能够将抽出的气体进行回收和处理,避免对环境造成污染。与其他设备协同工作:水环真空泵机组可以与其他电...
2018 - 05 - 23
双级旋片真空泵工作原理:如图所示,双级旋片真空泵主要是由定子、转子、旋片、弹簧、端盖等部分组成。转子偏心的安装于泵体内表面相切(两者间的有很小的间隙),转子里开了个槽,槽内装有旋片。当转子旋转时,旋片靠离心力和弹簧的张力使其顶端与定子内壁相接触,沿定子内壁滑动。双级旋片真空泵的详细介绍:阿特拉斯GVD系列双级油润滑旋片真空泵以真空度高,抽速快和水蒸气处理能力强而著称。旋片式真空泵结构紧凑,无振动,运行平稳,应用于各种广泛的真空领域。双级旋片真空泵的应用行业:l  冰箱和空调系统抽真空、干燥和回填l  真空干燥和真空蒸馏l  作为高真空应用的前级泵l  真空冶金l  薄膜技术l  真空冷冻干燥l  变压器和电缆干燥及浸渍、绝缘油处理l  低温容器抽真空 双级旋片真空泵技术参数:双级旋片真空泵维护保养:1.       根据需要检查油位,至少每月一次,2.       根据具体应用更换油,3-6个月,3.       每次更换油,检测并清洁入口过滤器,4.     ...
2018 - 07 - 25
暑假期间,开车出去游玩都会很堵,像周六日出去海边玩,车子堵起来会走走停停。那天出去玩,我发现一辆车很特别,一辆轻型商用车,这辆车不像一般轻卡车那样不规则的怠速抖动,非常安静。只听到驾驶室里传来悦耳的音乐,隔着显眼的福耀玻璃,看到了轻卡车司机淡定的笑容。车子开始缓缓移动,这时我看到了车尾显眼的 ——“比克纯电动车”。科普柯工业真空科普柯真空事业部北区出售团队,在2018月刚与比克新能源轿车有限公司签订了两台阿特拉斯·高效变频驱动喷油螺杆真空泵的出售合同。    作为我国最具发展潜力的自主新能源轿车出产企业之一,公司是以电动轿车动力体系集成技能为核心的新能源轿车研制、制作及出售的整车出产企业。公司致力于电动轿车的研制及技能创新,使用全球抢先的轻量化车身技能及其制作工艺、高效制动能量收回体系、安全节能电动空调体系、整车功能验证、动力电池热管理体系等产品及技能,用心打造符合我国及国际市场的电动轿车产品。  GHS VSD+螺杆真空泵可靠性与高效能完胜  镜头回到2016年的深秋,郑州阿特拉斯·科普柯的授权代理商在惯例拜访中发现郑州比克工厂在注液工艺中运用的某国产品牌双级旋片泵损坏率很高,该工艺需求的真空度为50-100mBarA。代理商在与阿特拉斯·科普柯北区出售经理咨询、探讨之后,引荐客户运用阿特拉斯·科普柯GHS VSD+高效变频驱动喷油螺杆真空...
2018 - 10 - 09
真空可分为4级:  粗真空 (RV):  1000 - 1 mbar  中真空 (MV):  1 - 10-3 mbar  高真空 (HV):  -3 - 10-7 mbar  超高真空 (UHV):  -7 mbar真空的度量单位:国际制单位:  mbar + Pa   1 mbar = 100 Pa = 1 hPa其它单位:  N/m²  1 N/m² = 1 Pa = 0,01 mbar  Torr  1 Torr = 1,33 mbar  mmHG  1 mmHG = 1 Torr = 1,33 mbar  Atmosphere  1 atm = 1013 mbar  Micron  1 μ = 0,001 Torr = 0,00133 mbar  PSI  1 psi = 0,069 bar         % Vacuum  1 % Vacuum = 10 mbar
2018 - 12 - 05
德国speck进口真空泵使用恒才100#真空泵油,具有适宜的化学稳定性和热稳定性,耐水解,与密封材料的相容性很好。 进口真空泵油的性能要求:1.高温下饱和蒸汽压要低,易挥发成份要少。饱和蒸汽压是真空泵油较关键的指标之一。在恒温的密闭容器中,当汽液两相到达动态均衡时的压力称谓饱和蒸汽压。油品的饱和蒸汽压要尽量低,在泵的最高工作温度下,仍要具有足够低的饱和蒸汽压,并要低于真空泵规则的极限压强。在60℃温度条件下至少要到达6.5×10-5  kPa(因温升每上升20℃,饱和蒸汽压大约要下跌一个数量级)。 2.最低水含量和吸水性。极限全压力:由皮拉尼计或热偶真空计测出真空泵一切物质(气体)产生压强的总和。国外目前注重全压强的测试指标。极限分压力:用水银紧缩式真空计(麦氏计)测得的泵的极限空气分压力,双级旋片泵分压力应为≤6×10-5 kPa。极限全压力与极限分压力差值请求不大于一个数量级。二者之间的差值越大,真空泵油中含有的挥发成分就越多,油品的性质就越差。 3.要有一定粘度,且随温度变化小(粘度温升曲线平滑)。真空泵油需求具有适合的粘度,在低温下能使真空泵疾速启动,在高温下真空泵油能具有良好的密封性,在泵内真空泵油具有较低的温升。不含有轻质的易挥发组分,降低运用过程中真空泵的返油率。 4.润滑性能好,机械应力...
2019 - 03 - 29
德国SPECK品牌高温油泵常常应用到各个行业中,如塑料,造纸,CNC等等,那么高温油泵在使用前后需要准备哪些工作呢?下面,深圳恒才机电张工总结了四大点高温油泵在使用前后需要做的工作,我们一起来学习了解一下。一、在使用高温油泵前要对热载体炉进行清洁工作1、做好对热载体炉房的清洁和卫生工作,高温油泵应做到炉房内不得堆积杂物。2、加热炉房应该保持良好的照明条件。3、要对除尘器以及出灰箱进行清灰处理,一般的高温油泵每班应清灰二至三次。4、油、气炉应该经常进行擦除燃烧表面的油污及其积灰,高温油泵特别是立式的气炉,顶部会因温度较高,严禁放置一些易燃物品。5、要保持热载体炉及其设备的外观清洁度,高温油泵要清除外部的积灰,这样不仅可以给高温油泵创造干净卫生的环境,而且还更易于观察设备运转状态,以及可以时发现设备的隐患。二、在使用前要对高温油泵进行检查工作1、检查高温油泵使用情况及其高位槽导热油的温度,要严禁超过70℃,这样是为了防止结焦和泄漏。2、对高温油泵本体及燃煤炉炉膛、炉排以及其附属设备进行巡回检查,要及时发现产生的问题,并要采取相对应的措施。3、燃煤加热炉的炉膛不应该出现冒火和吸风现象。炉子高温导热齿轮油泵钢结构状态以及砌体和炉门应该完好,时刻保持炉膛严密性。3、检查各项设备运转情况,传动情况应无杂声响。燃煤炉排调速箱上煤机卷扬机械减速前润滑油应充足渣机和引风机应充满润滑油,应于引风机冷却...
2019 - 06 - 21
旋片式真空泵组装的时候需要注意些什么呢,下面是深圳恒才张工为大家捋的8个要求,一起来了解一下吧!1、旋片式真空泵的电机转子平衡现象是否符合规定,2、旋片式真空泵叶片与电机转子之间的协作空地,3、旋片式真空泵的泵轴即电机转子轴机器设备前,要判断它是否变型、弯折了,4、真空泵泵浦电机转子与轴承位的同轴度是否到达须要,5、真空泵轴承与轴承端盖之间的空地調整,6、几回额封密缓冲赔尝布置的缩紧量是否到达须要,7、真空泵封密部件空地的調整,8、连轴器的同轴度是否符合须要,真空泵油在应用中的改变 真空泵油在应用中遭受了温度、空气、危害介质、机械设备剪切、金属材料催化、等的效果,其构成中的基础油会发作氧化、裂化、聚合等反响,功能逐渐变差。      真空泵的组装也是非常重要的工程,可以在组装前先看明介绍或电话咨询真空泵厂家专业人员进行指导安装。
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水环真空泵曲轴的磨损问题如何解决

日期: 2020-03-18
来源:
浏览次数: 78

  今天,我们来谈谈如何减少水环真空泵曲轴的磨损问题。不知道大家对于这个问题是不是了解。

  水环真空泵是一种通过内部水环形成真空区的机械设备。由于水环真空泵的工作强度一般较高,机械设备在长期工作后会磨损,曲轴磨损是常见的机械设备。

  水环真空泵曲轴的表面磨损不均匀,主轴颈和连杆轴颈的径向磨损为椭圆形,水环真空泵的磨损部件相互对应。曲轴轴上也存在锥形磨损。轴线上的椭圆磨损是由力沿轴线的不均匀分布引起的。

水环真空泵曲轴的磨损问题如何解决


  当水环真空泵柴油发动机运行时,连杆轴颈的协作力自始至终位于连杆轴颈的内侧,导致沿发动机曲轴半曲的连杆轴颈损坏,形成椭圆形。水环真空泵连杆轴颈损坏的原因是通向连杆轴颈的燃油管歪斜,润滑脂中的机械设备残留物在向心力的作用下偏向连杆轴颈侧,连杆轴颈损坏呈锥形。

  当我们使用水环真空泵时,轴颈表面也可能有磨损和烧伤。磨损主要是由于缺少清洁油,清洁油中的大块硬机械杂质会腐蚀原木表面。轴颈表面的烧伤主要是由稀油引起的。

  水环真空泵曲轴磨损主要是由于受力不均匀和清洗维护错误造成的。曲轴磨损直接影响水环真空泵机械设备的使用寿命。因此,当实际使用水环真空泵时,操作必须标准化,并且水环真空泵必须定期维护和润滑。

  恒才机电真空泵厂家主要产品有2BV、V、VG、VI、VZ、VN、LRP系列水环真空泵,X、GVD系列旋片真空泵,ZJ系列罗茨真空泵,GXS、DHS、VSD、GHS系列螺杆真空泵,DZS系列爪泵,中央真空系统等产品。公司代理有阿特拉斯.科普柯(atlas),司倍克speck产品.真空泵厂家恒才机电凭借多年的生产制造经验,一流的技术人员,完善的售后渠道使得产品质量多年来保持稳定可靠。恒才机电厂家期待与各位同仁合作,更多真空泵知识请继续关注我们恒才机电设备有限公司。联系电话400-8625533,手机13928410990。


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发布时间: 2025 - 07 - 23
高效抽气能力:旋片真空泵通过转子与旋片的协同运动,周期性改变泵腔容积,实现气体的快速吸入与压缩排放。其抽速范围通常为0.5-150升/秒,单级泵极限压力可达1帕,双级泵更可低至6.5×10⁻²帕,能满足电子晶圆吸附等工艺对真空度的严苛要求。结构紧凑设计:机组小车采用一体化撬装结构,将泵体、电控系统、过滤器等部件集成于紧凑空间内,占地面积小,便于在实验室或生产线灵活布局。其轻量化设计(如电机直联驱动)进一步减轻了设备重量,提升了便携性。移动灵活便捷:小车底部配备移动轮,支持快速搬迁与多工位切换,尤其适用于需要频繁调整设备位置的晶圆加工场景。部分机型还支持手自动模式切换,确保在PLC损坏等紧急情况下仍能维持最低限度运行。运行稳定可靠:旋片真空泵通过油膜密封与强制进油润滑设计,确保运动部件间的完美气密性与恒定润滑,同时减少有害空间对极限压力的影响。其内置的自动防返油双重保险装置与金属丝网粗过滤器,可有效防止油返入被抽系统与固体尘粒吸入泵腔,保障设备长期稳定运行。维护简便经济:机组小车结构简单,维护成本低。用户可通过定期检查油位、更换真空泵油(首次工作满150小时后换油,之后每500小时换油)与油过滤器、清洁进气口滤网等常规操作,确保设备性能。其低成本、高性能的特点使其成为空间有限或预算敏感场景的理想选择。安全防护完善:设备配备双重密闭系统(充气式电磁阀+机械止回阀)与排气过渡器,可防止气体倒流与油雾排放,避免晶圆污染或设备损坏。同时,其内置的吸气阀可在停泵时自动隔离泵与被抽系统,防止油返入被抽系统,保障操作安全。适应性强:旋片真空泵机组小车可单独使用,也可与其他高真空泵(如分子泵)组成真空机组,以应对不同工艺对真空度的差异化需求。例如,在晶圆键合工艺中,可先通过旋片泵快速抽至低真空,再切换至分子泵实现超高真空环境,提升工艺效率。经济性高:机组小车采用无油设计(...
发布时间: 2025 - 07 - 22
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