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2020 - 04 - 07
双重喜讯!双重喜讯!  top1——根据国家《高新技术企业认定管理办法》和《高新技术企业认定管理工作指引》的相关规定,深圳恒才机电被认定为国家级高新技术企业。近日,公司也已收到了由深圳市科技创新委员会、深圳市财政局、国家税务总局深圳市税务局联合颁发的“国家高新技术企业”认定证书,由此正式迈入国家高新技术企业行列。  top2——我们的技术总监陈勇先生在全国铸造机械标准备化技术委员会-金属热成形分技术委员会中(TH186/SC2)标准化工作中被评为-标准化工作新锐奖!  国家高新技术企业认定政策是一项引导政策,目的是激发企业自主创业和持续发展道路,提高企业科技创新能力。据了解,能够获得认定的企业是国家重点支持的具有高成长性的企业,具有非常好的潜在经济效益。经认定的高新技术企业,可享受企业税收优惠、项目招投标和政府资助方面提供了有利的政策支持,有效降低企业税负,提高企业经营利润。  高新技术企业认定是对公司在核心自主知识产权、科技成果转化能力、研究开发的组织管理水平、成长性指标和人才结构的综合评估和认定,需经过层层筛选,审查颇为严格。由国家科技部审核认定的“国家级高新技术企业”称号,是中国科技企业最高的荣誉之一,是对企业科研实力一个最权威的肯定。  本次被评定为国家高新技术企业,必将进一步推动公司自主创新、自主研发的进程,同时也是我司发展史上又一个重大里程碑!  今天!我们的技术陈总监...
2019 - 10 - 22
单级水环真空泵通常用于造纸厂,以提供全方位的真空能力。现代造纸机使用真空辅助造纸脱水,因此真空系统是造纸机的重要组成部分。  随着酸性造纸向中性造纸的发展,造纸水环真空泵的结垢成为每个造纸企业经常遇到的问题。无论是在南部还是北部形成,它都不是立即生成的,而是结的过程。氧化皮的生产,其对造纸机的影响正在逐渐显现,因此,从一开始就不能掉以轻心,要始终如一地防止氧化皮的控制,这将具有长期的利益。  (1)水环真空泵结垢的原因:  1.水质影响:高ph值和高硬度。  2.造纸水的增白程度增加,不溶物含量高,并且垢离子积累。  3.大量填充物。  4.温度:水温升高,冷却系统使用不充分。  5水循环系统没有定期的清洁和维护,这将增加造纸水环真空泵结垢的可能性。  (2)水环真空泵对造纸的不利影响  1.严重降低真空度和抽气量。  2.电动机电流上升,导致功耗增加。  3.经常导致真空泵卡住,难以启动,造纸机停止并且真空泵不敢停止。  4.频繁的酸洗或手动拆卸不仅会损坏设备,还会破坏设备的精度,导致形成真空或降低真空度。  (3)水环真空泵解决方案  长期以来,传统的清洁方法(例如机械方法(刮擦,刷牙),高压水,化学清洁(酸洗)等)在清洁设备时会遇到许多问题:无法完全清除积垢,例如水垢,酸腐蚀会导致设备腐蚀。残留酸可能会导致材料发生二次腐蚀或水垢腐蚀,从而可能导致设备更换。另外,清洁废液是有毒...
2019 - 11 - 04
众所周知,对于各种真空泵的性能,都有规定的测试方法来测试该性能的性能,主要性能是极限压力,流量和抽速。这次,小编打算讨论螺杆真空泵的流量,例如如何控制其流量,流量不足的原因以及如何消除此问题。相信许多用户对这些问题感到困惑,不用担心,请跟随螺杆真空泵厂家进行了解。  首先,让我们简单介绍一下真空泵主要性能的概念。  1.极限压力。真空泵与检测容器相连,放置待测气体后,连续长时间抽气。当容器的气压不再降低并且压力保持在一定值时,次级压力就是泵的极限压力。  2.流量。在真空泵的吸入口,每单位时间的气体流量称为泵的流量。在真空技术中,流量单位以压力*体积/时间表示,即Pa.m3/s或Pa.m3/h。通常,泵会给出流量与入口压力的关系图。  3.抽速。在真空泵的吸入口,每单位时间流动的气体量称为泵的抽气速率。即,通过将流量QA(Pa.m3/s)除以测试罩中的气体A的分压pA而获得气体A的泵送速度sA(m3/s)。典型的真空泵的抽气速率与气体类型有关。给定的抽气速率表示某种气体的抽气速率。如果没有特殊指示,则使用多指抽吸。  正确控制螺杆真空泵流量不仅可以为设备提供良好的保护,还可以提高使用率。那么,该怎么做呢?  1,速度控制  叶轮速度的变化会改变螺杆真空泵的流量曲线,并且曲线的特性不会改变。随着速度降低,曲线变平,扬程和流速降低。  2,旁通阀调整  使用与泵并联的中间阀。实际效果就...
2019 - 11 - 06
在水环真空泵的正常使用中,它要达到正常的吸水和排水工作,并且还需要更好的吸力,否则会影响其吸水效果。然后,我们需要解决真空泵不能吸水的现象,以免造成更大的经济损失。因此,让我们分析一下水环真空泵不能吸水的原因。  1、在安装过程中水环真空泵的入口和出口方向相反或电动机接线不正确,从而导致旋转不正确。解决方案:沿入口和出口的方向更改电动机的方向。请勿更改两条电线中的任何一条以改变旋转方向。  2、底部阀生锈,进水口或叶轮通道被堵塞。解决方案:修理底阀,清除内部杂物,然后在进水口添加一个拦污栅。  3、 水环真空泵的入口管过长,吸入冲程过大。解决方案:降低泵的安装高度,或减少吸水管路上的弯头阀并缩短管道的长度。  4、叶轮严重损坏,并且减漏环间隙很大。解决方案:更换叶轮和减漏环。  5、实际工作条件所需的压头太高,而工作条件低的压头。解决方案:用更高的扬程更换泵。  6、 吸水管路或密封装置严重泄漏。解决方案:阻塞或修复泄漏,按或更换密封件。  以上是水环真空泵的原因和解决方案的详细说明。相信它可以帮助您及时有效地解决此类故障,并确保水环真空泵设备可以长期有效地工作。这种泵设备的压缩气体温度非常低,排气温度仅比进气温度高10〜15°C。由于此功能,它适用于水环泵送易燃易爆气体,并且现在已经发展得很好。
2019 - 11 - 08
罗茨真空泵长时间使用后,会发生不同的故障。一旦发生故障,我们需要及时解决,以防止进一步的恶化和更多的麻烦。气蚀现象对真空泵有一定的影响。对于气蚀现象,让我们教您解决方案:      1、降低设备的工作流体温度以防止气蚀。  2、降低进气温度可以间接降低水循环液的温度,防止发生气蚀,还可以提高物料的干燥速度并提高设备的利用率。  3、在罗茨真空泵中发生气蚀时,主要损坏是气泡破裂时叶轮和泵壳表面的点蚀。  4、由于罗茨真空泵气蚀的原因,众所周知,可以更换具有低饱和蒸气压的工作流体(要求工作流体具有良好的流动性以及与泵送气体的良好相容性),以减少气蚀和增加真空度。这样做的缺点之一是工作流体的后处理问题,因此很少使用更换工作流体的做法。  以上是罗茨真空泵气蚀解决方案的介绍。如果将来在使用机器的过程中出现气穴现象,可以参考本文中描述的方法进行处理。注意正确的操作过程。如果您自己无法解决问题,则需要找到专业人员来及时处理。希望对您有所帮助。
2019 - 11 - 11
为化工与制药工艺应用选择合适的真空技术往往并非易事。首先,真空系统必须在工作压力下提供所需泵速,确保所需抽真空时间。其次,它不能对工艺气体敏感,在用于 CIP(在位清洗)清洗和气体回收时必须满足所有要求。此外,在确定要使用哪种真空技术时,稳定性和经济效率也起着重要作用。 在本文中,我们将讲述化工与制药加工技术中最常用的三种真空技术。 水环真空泵, 干式螺杆真空泵, 油润滑旋片真空泵。  水环真空泵  水环真空泵适用于多种应用。它们属于旋转正排量泵,叶轮偏心放置在圆柱形外壳中(图 2)。一般用水充当工作液。叶轮旋转时,会在密封各叶片空间的外壳内形成水环。气体在中心、各叶片和液体环间形成的空间中输送。由于叶轮安装于偏心位置,这部分空间的体积会增大,从而经进气口吸入介质。当叶轮继续旋转时,空间体积减少,气体介质被压缩,然后通过排气口被再次排出。水环真空泵既可作为单一的连续流系统运行,也可作为部分或全循环系统运行。  多年来,经实践证明,这些真空泵在化学工艺中是坚固耐用、质量可靠的真空发生器。压缩室内的工作液不断耗散压缩热,因此真空泵的运行几乎是等温的。这意味着工艺气体不会明显升温,真空泵在相对较低的温度下运行。这将显著降低不必要的反应或爆炸的风险。低工作温度还有利于蒸汽和气体的冷凝,提升真空泵的额定泵速。  一般用水来作为水环。在实际应用中,还经常使用乙二醇、矿物油或有机溶剂。真空泵的极...
2019 - 11 - 13
真空泵的分类  01 按性能特点和用途分类  (1)低真空泵  泵的极限压力高于102Pa的真空泵属于低真空泵。常见的低真空泵有往复式真空泵、旋转式真空泵、液环式真空泵、喷射式真空泵以及吸附式真空泵。  (2)中真空泵  极限压力在102~-10-1Pa的真空泵属于中真空泵。常见的有罗茨真空泵、多级喷射式真空泵、多级旋转机械真空泵以及高速旋转式机械真空泵等。  (3)高真空泵  极限压力在10-1~10-5Pa的真空泵属于高真空泵。常见的高真空泵有各种扩散泵及分子泵等。  (4)超高真空泵  极限压力低于10-5Pa的真空泵属于超高真空泵。超高真空泵主要有各种离子泵、低温泵等。  02 按工作原理和结构特点分类  (1)机械式容积真空泵  靠机械运动使泵腔工作容积周期变化来实现抽气作用的是机核式容积真空泵。属于这类泵的有往复式真空泵、旋转式机械泵(包括旋片式、螺杆式、罗茨式、液环式等)。这类泵中除机械增压泵外,一般均可单独使用。  (2)射流式真空泵  没有机械运动部件,主要靠通过喷嘴的高速射流来抽真空的是射流式真空泵。属于这类泵的有水蒸气喷射泵、空气喷射泵、水喷射泵以及各种扩散泵等。这类泵结构简单,工作可靠,寿命长,易于维修,应用比较普遍。  03 各类真空泵的工作压力范围及特征  真空泵的选择  01 依据和条件  (1)系统对真空度的要求  根据系统对真空度的要求,选择相应极...
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2025 - 05 - 21
电子封装过程中使用水环真空泵机组,主要基于其能够满足工艺对真空环境的严格要求、具备稳定可靠的性能、适应复杂工况的能力以及符合环保与安全标准等多方面优势。以下为具体分析:一、满足电子封装工艺对真空环境的要求高真空度需求:电子封装过程中,许多工艺步骤需要在高真空环境下进行,以确保封装材料的纯净度和封装质量。水环真空泵机组能够提供稳定的真空环境,满足电子封装工艺对真空度的严格要求。低气体残留要求:在电子封装中,任何微小的气体残留都可能对封装性能产生严重影响。水环真空泵机组具有高效的抽气能力,能够迅速将封装腔室内的气体抽出,降低气体残留量,提高封装质量。二、水环真空泵机组的性能优势结构紧凑,占地面积小:水环真空泵机组通常设计紧凑,占地面积小,便于在电子封装生产线上集成和安装。运行稳定,维护方便:水环真空泵机组采用成熟的技术和可靠的设计,运行稳定,故障率低。同时,其维护也相对方便,降低了生产线的停机时间和维护成本。适应性强:水环真空泵机组能够适应不同的工况和封装材料,满足电子封装工艺的多样化需求。三、水环真空泵机组在电子封装中的具体应用封装腔室抽真空:在电子封装过程中,水环真空泵机组用于将封装腔室内的气体抽出,形成高真空环境,为后续的封装工艺提供条件。气体回收与处理:水环真空泵机组在抽气过程中,能够将抽出的气体进行回收和处理,避免对环境造成污染。与其他设备协同工作:水环真空泵机组可以与其他电...
2018 - 05 - 23
双级旋片真空泵工作原理:如图所示,双级旋片真空泵主要是由定子、转子、旋片、弹簧、端盖等部分组成。转子偏心的安装于泵体内表面相切(两者间的有很小的间隙),转子里开了个槽,槽内装有旋片。当转子旋转时,旋片靠离心力和弹簧的张力使其顶端与定子内壁相接触,沿定子内壁滑动。双级旋片真空泵的详细介绍:阿特拉斯GVD系列双级油润滑旋片真空泵以真空度高,抽速快和水蒸气处理能力强而著称。旋片式真空泵结构紧凑,无振动,运行平稳,应用于各种广泛的真空领域。双级旋片真空泵的应用行业:l  冰箱和空调系统抽真空、干燥和回填l  真空干燥和真空蒸馏l  作为高真空应用的前级泵l  真空冶金l  薄膜技术l  真空冷冻干燥l  变压器和电缆干燥及浸渍、绝缘油处理l  低温容器抽真空 双级旋片真空泵技术参数:双级旋片真空泵维护保养:1.       根据需要检查油位,至少每月一次,2.       根据具体应用更换油,3-6个月,3.       每次更换油,检测并清洁入口过滤器,4.     ...
2018 - 07 - 25
暑假期间,开车出去游玩都会很堵,像周六日出去海边玩,车子堵起来会走走停停。那天出去玩,我发现一辆车很特别,一辆轻型商用车,这辆车不像一般轻卡车那样不规则的怠速抖动,非常安静。只听到驾驶室里传来悦耳的音乐,隔着显眼的福耀玻璃,看到了轻卡车司机淡定的笑容。车子开始缓缓移动,这时我看到了车尾显眼的 ——“比克纯电动车”。科普柯工业真空科普柯真空事业部北区出售团队,在2018月刚与比克新能源轿车有限公司签订了两台阿特拉斯·高效变频驱动喷油螺杆真空泵的出售合同。    作为我国最具发展潜力的自主新能源轿车出产企业之一,公司是以电动轿车动力体系集成技能为核心的新能源轿车研制、制作及出售的整车出产企业。公司致力于电动轿车的研制及技能创新,使用全球抢先的轻量化车身技能及其制作工艺、高效制动能量收回体系、安全节能电动空调体系、整车功能验证、动力电池热管理体系等产品及技能,用心打造符合我国及国际市场的电动轿车产品。  GHS VSD+螺杆真空泵可靠性与高效能完胜  镜头回到2016年的深秋,郑州阿特拉斯·科普柯的授权代理商在惯例拜访中发现郑州比克工厂在注液工艺中运用的某国产品牌双级旋片泵损坏率很高,该工艺需求的真空度为50-100mBarA。代理商在与阿特拉斯·科普柯北区出售经理咨询、探讨之后,引荐客户运用阿特拉斯·科普柯GHS VSD+高效变频驱动喷油螺杆真空...
2018 - 10 - 09
真空可分为4级:  粗真空 (RV):  1000 - 1 mbar  中真空 (MV):  1 - 10-3 mbar  高真空 (HV):  -3 - 10-7 mbar  超高真空 (UHV):  -7 mbar真空的度量单位:国际制单位:  mbar + Pa   1 mbar = 100 Pa = 1 hPa其它单位:  N/m²  1 N/m² = 1 Pa = 0,01 mbar  Torr  1 Torr = 1,33 mbar  mmHG  1 mmHG = 1 Torr = 1,33 mbar  Atmosphere  1 atm = 1013 mbar  Micron  1 μ = 0,001 Torr = 0,00133 mbar  PSI  1 psi = 0,069 bar         % Vacuum  1 % Vacuum = 10 mbar
2018 - 12 - 05
德国speck进口真空泵使用恒才100#真空泵油,具有适宜的化学稳定性和热稳定性,耐水解,与密封材料的相容性很好。 进口真空泵油的性能要求:1.高温下饱和蒸汽压要低,易挥发成份要少。饱和蒸汽压是真空泵油较关键的指标之一。在恒温的密闭容器中,当汽液两相到达动态均衡时的压力称谓饱和蒸汽压。油品的饱和蒸汽压要尽量低,在泵的最高工作温度下,仍要具有足够低的饱和蒸汽压,并要低于真空泵规则的极限压强。在60℃温度条件下至少要到达6.5×10-5  kPa(因温升每上升20℃,饱和蒸汽压大约要下跌一个数量级)。 2.最低水含量和吸水性。极限全压力:由皮拉尼计或热偶真空计测出真空泵一切物质(气体)产生压强的总和。国外目前注重全压强的测试指标。极限分压力:用水银紧缩式真空计(麦氏计)测得的泵的极限空气分压力,双级旋片泵分压力应为≤6×10-5 kPa。极限全压力与极限分压力差值请求不大于一个数量级。二者之间的差值越大,真空泵油中含有的挥发成分就越多,油品的性质就越差。 3.要有一定粘度,且随温度变化小(粘度温升曲线平滑)。真空泵油需求具有适合的粘度,在低温下能使真空泵疾速启动,在高温下真空泵油能具有良好的密封性,在泵内真空泵油具有较低的温升。不含有轻质的易挥发组分,降低运用过程中真空泵的返油率。 4.润滑性能好,机械应力...
2019 - 03 - 29
德国SPECK品牌高温油泵常常应用到各个行业中,如塑料,造纸,CNC等等,那么高温油泵在使用前后需要准备哪些工作呢?下面,深圳恒才机电张工总结了四大点高温油泵在使用前后需要做的工作,我们一起来学习了解一下。一、在使用高温油泵前要对热载体炉进行清洁工作1、做好对热载体炉房的清洁和卫生工作,高温油泵应做到炉房内不得堆积杂物。2、加热炉房应该保持良好的照明条件。3、要对除尘器以及出灰箱进行清灰处理,一般的高温油泵每班应清灰二至三次。4、油、气炉应该经常进行擦除燃烧表面的油污及其积灰,高温油泵特别是立式的气炉,顶部会因温度较高,严禁放置一些易燃物品。5、要保持热载体炉及其设备的外观清洁度,高温油泵要清除外部的积灰,这样不仅可以给高温油泵创造干净卫生的环境,而且还更易于观察设备运转状态,以及可以时发现设备的隐患。二、在使用前要对高温油泵进行检查工作1、检查高温油泵使用情况及其高位槽导热油的温度,要严禁超过70℃,这样是为了防止结焦和泄漏。2、对高温油泵本体及燃煤炉炉膛、炉排以及其附属设备进行巡回检查,要及时发现产生的问题,并要采取相对应的措施。3、燃煤加热炉的炉膛不应该出现冒火和吸风现象。炉子高温导热齿轮油泵钢结构状态以及砌体和炉门应该完好,时刻保持炉膛严密性。3、检查各项设备运转情况,传动情况应无杂声响。燃煤炉排调速箱上煤机卷扬机械减速前润滑油应充足渣机和引风机应充满润滑油,应于引风机冷却...
2019 - 06 - 21
旋片式真空泵组装的时候需要注意些什么呢,下面是深圳恒才张工为大家捋的8个要求,一起来了解一下吧!1、旋片式真空泵的电机转子平衡现象是否符合规定,2、旋片式真空泵叶片与电机转子之间的协作空地,3、旋片式真空泵的泵轴即电机转子轴机器设备前,要判断它是否变型、弯折了,4、真空泵泵浦电机转子与轴承位的同轴度是否到达须要,5、真空泵轴承与轴承端盖之间的空地調整,6、几回额封密缓冲赔尝布置的缩紧量是否到达须要,7、真空泵封密部件空地的調整,8、连轴器的同轴度是否符合须要,真空泵油在应用中的改变 真空泵油在应用中遭受了温度、空气、危害介质、机械设备剪切、金属材料催化、等的效果,其构成中的基础油会发作氧化、裂化、聚合等反响,功能逐渐变差。      真空泵的组装也是非常重要的工程,可以在组装前先看明介绍或电话咨询真空泵厂家专业人员进行指导安装。
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国内真空泵行业市场前景有多大

日期: 2020-02-18
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  真空泵是一种在封闭空间内改善、产生和维持真空的装置,可广泛应用于制药、冶金、化工、食品、电子等行业。根据行业,除了在制药工业中广泛使用之外,市场上还有各种类型的真空泵,包括干式螺旋真空泵、水环泵、滑阀泵、旋转叶片泵、往复泵和扩散泵。用户可以根据不同的工作压力范围和不同的工作要求使用不同类型的真空泵。

  事实上,近年来,随着我国医药、食品、电子等行业的快速发展,相关装备制造业一直保持着快速增长的势头。其中,中国真空泵行业实现了持续、稳定、快速的发展。然而,在增长的同时,真空泵产量大、产值低的问题也逐渐显现出来。与国外真空泵相比,尤其是研发创新能力,与国外同行相比还有很大差距。

国内真空泵行业市场前景有多大

  例如,在技术上,以直联旋片泵为例,虽然目前国内直联旋片泵没有重大技术问题,价格也远低于进口产品,但在一些关键技术上还存在差距。为保证直联泵在高速、高温下的稳定、可靠运行,进一步提高国产直联旋转叶片泵的除水汽能力,必须解决轴封漏油和旋转叶片泵材料及真空泵油的性能和质量问题。

  另外,目前各大医院的负压站主要采用液环真空泵和旋叶真空泵。然而,在这种危险的疫情下,患者的痰液、唾液和呼气中有大量的病毒。在通过真空系统吸入管道到达真空泵并排放到大气中的过程中,存在二次传输的巨大风险。基于上述情况,一家外资企业对武汉霍山医院的MINK无油爪式真空泵给予了紧急支持。本发明不仅可以在真空泵的入口处增加一个细菌过滤器,而且由于真空泵腔体内的爪与腔体内的爪是非接触式操作,在压缩过程中不需要使用油或工作液,废水等不会排出,可以降低二次传播的风险。显然,这种设备所包含的高技术也是许多国内企业想要赶上的。

  总的来说,在当前激烈的市场竞争中,国内企业要想占据更多的市场份额,关键还是在于创新技术、改进设计、提高产量、降低能耗等。不断提高产品的价值。尽管竞争压力很大,但通过国内真空泵企业在研发、质量和数量上的努力,近年来国内真空泵在各个领域得到了广泛的应用和验证。例如,作为真空设备制造专家的国内企业,经过20多年的发展,已经形成了从产品铸造、研发、设计到市场的产业链。其真空泵产品不仅种类繁多,而且广泛应用于化工、制药、冶金、低温设备制造等行业。

  此外,企业仍在大力研发。目前,已推向市场的产品包括无油立式真空泵、无油真空机组、螺杆泵杆式泵机组等。并能满足国家环境和节能标准和要求。

  事实上,仍有许多企业的真空泵出口到国外,并得到外国用户的认可。可以说,中国真空泵制造业在国内外市场都有巨大的发展空间。

  据悉,2019年全球真空泵市场年销售额约为20亿美元,年增长率约为7%。因此,在行业的有利环境下,我国真空泵制造商的数量越来越多,未来的竞争将会越来越激烈。真空泵制造商必须结合不同领域的不同需求和新需求,不断改进和升级设备,以帮助用户实现更好的生产


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发布时间: 2025 - 07 - 23
高效抽气能力:旋片真空泵通过转子与旋片的协同运动,周期性改变泵腔容积,实现气体的快速吸入与压缩排放。其抽速范围通常为0.5-150升/秒,单级泵极限压力可达1帕,双级泵更可低至6.5×10⁻²帕,能满足电子晶圆吸附等工艺对真空度的严苛要求。结构紧凑设计:机组小车采用一体化撬装结构,将泵体、电控系统、过滤器等部件集成于紧凑空间内,占地面积小,便于在实验室或生产线灵活布局。其轻量化设计(如电机直联驱动)进一步减轻了设备重量,提升了便携性。移动灵活便捷:小车底部配备移动轮,支持快速搬迁与多工位切换,尤其适用于需要频繁调整设备位置的晶圆加工场景。部分机型还支持手自动模式切换,确保在PLC损坏等紧急情况下仍能维持最低限度运行。运行稳定可靠:旋片真空泵通过油膜密封与强制进油润滑设计,确保运动部件间的完美气密性与恒定润滑,同时减少有害空间对极限压力的影响。其内置的自动防返油双重保险装置与金属丝网粗过滤器,可有效防止油返入被抽系统与固体尘粒吸入泵腔,保障设备长期稳定运行。维护简便经济:机组小车结构简单,维护成本低。用户可通过定期检查油位、更换真空泵油(首次工作满150小时后换油,之后每500小时换油)与油过滤器、清洁进气口滤网等常规操作,确保设备性能。其低成本、高性能的特点使其成为空间有限或预算敏感场景的理想选择。安全防护完善:设备配备双重密闭系统(充气式电磁阀+机械止回阀)与排气过渡器,可防止气体倒流与油雾排放,避免晶圆污染或设备损坏。同时,其内置的吸气阀可在停泵时自动隔离泵与被抽系统,防止油返入被抽系统,保障操作安全。适应性强:旋片真空泵机组小车可单独使用,也可与其他高真空泵(如分子泵)组成真空机组,以应对不同工艺对真空度的差异化需求。例如,在晶圆键合工艺中,可先通过旋片泵快速抽至低真空,再切换至分子泵实现超高真空环境,提升工艺效率。经济性高:机组小车采用无油设计(...
发布时间: 2025 - 07 - 22
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