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罗茨真空泵的密封结构
罗茨真空泵的密封结构
2020 - 10 - 28
1、主动轴外伸部分的动密封　　目前采用较多的是标准型号的机械密封和带加强环的骨架真空橡胶密封。机械密封功耗小，允许线速度大;但结构复杂，成本较高。骨架密封结构简单，功耗较大，为减少轴与密封圈之间的摩擦，轴的表面硬度和光洁度要高。为了防止轴的磨损，可在轴上加一个硬度较高的且与轴静密封的轴套。　　另外，还可以采用独立的密封盒结构，使密封件的拆装和更换更加简捷方便。还有的罗茨泵把电动机密闭在泵体一端的壳体内，从而有效地解决了动密封问题，提高了泵的真空度，降低了驱动功率。　　但为防止电机绕组线圈在真空下起弧，电动机的电源电压应降至 50V 以下。该结构用于中、小型泵。　　2、端盖壳体与泵腔之间的轴密封　　由于齿轮箱或端盖壳体内均有预抽管道与泵的出口相通，即这部分的压力与前级泵入口压力基本相同，与泵腔之间的压差较小，所以一般可采用迷宫式密封、反螺旋式密封或活塞胀圈密封。　　3、泵体端面的静密封　　有的采用有机硅室温硫化橡胶膜密封，密封面不用加工密封槽，但因该硫化橡胶密封膜为一次性使用，且配制较麻烦，给现场维护带来不便，且密封膜的厚度对转子端面间隙有影响，在安装时要掌握好膜的厚薄均匀性。　　还可采用真空橡胶圈密封，密封可靠，即保证了转子轴向间隙，又可方便地在现场拆装。如果对泵体端面的结构设计适当，密封槽的加工可以很方便。　　4、泵的润滑方式　　罗茨真空泵的润滑部位主要有三处：轴封处── 一般用...
真空泵如何实现气体迁移
真空泵如何实现气体迁移
2020 - 11 - 09
螺杆真空泵几乎用于许多行业。在使用过程中，分子将在真空泵的表面上移动。气体迁移的目的是在使用过程中平衡压力并使真空泵更加平衡。这种真空泵如何实现气体迁移?　　1.扩散　　由于浓度梯度，气体将在另一种介质中移动，这称为扩散。在螺杆真空泵中，氦气透过玻璃的渗透速度可以达到每秒10到13升。在300到400度时，氢可以穿透铁，在450度时它可以穿透镍，在600度时它可以穿透玻璃，在640度时它也可以穿透铜。　　2.气体粘度和热传导　　在任何螺杆真空泵介质中，脉冲的转移和层之间的脉冲交换称为该介质的粘度。气流速度梯度方向上的每单位面积的切向力与速度梯度之间的关系是粘度系数。　　螺杆真空泵的分子处于恒定运动中，尽管我们看不到它，但是当它启动时，气体从真空泵中的迁移开始，直到压力达到平衡为止。气体迁移为使用真空泵提供了便利。
罗茨真空泵保养时间
罗茨真空泵保养时间
2020 - 11 - 20
罗茨真空泵需要定期做清洁保养工作，可以有效延长它的使用寿命，降低故障发生率。但这个定期却很少有人能正确把控。如何把控罗茨真空泵保养时间?　　1、罗茨真空泵定期检查，每日检查的内容包括：　　①油位检查，油量过多会使温度升高，油量过少会造成润滑不 良;　　②温度检查：用温度计检查泵各部位温度;　　③电动机负荷检查：用功率表或电流，电压表测量电动机负荷。　　2、罗茨真空泵的每月检查：联轴器及垫片是否损坏和松动。　　3、每3个月检查：齿轮箱内润滑油是否变质。　　4、每6个月检查：前盖轴承箱内润滑油是否变质，活塞环及活塞环衬套是否磨损，齿轮微量程度的磨损对转子正常运转是否产生影响，是否需要调整等。
干式真空泵的组装方法
干式真空泵的组装方法
2020 - 12 - 02
随着干式真空泵在我们日常生活中的广泛应用，其使用的优势已经被大家所认可。为了更好的应用，我们来学习一下干式真空泵的组装方法。　　干式真空泵的转子组件和干式真空泵的叶轮应安装在轴的正确位置，不应向一侧倾斜，否则会造成与泵壳轴向间隙不均匀和摩擦。安装轴套并拧紧轴套螺母。为了防止水沿轴泄漏，密封橡胶圈用于填充轴套和螺母之间的空间。组装后，确保橡胶环被套筒螺母压缩，并且螺母和套筒紧密结合。将密封圈、填料套筒、水封环，填料压盖和挡水环安装到轴上。安装轴承端盖和轴承，拧紧轴承螺母，然后安装轴承体，紧固轴承体和轴承端盖，安装联轴器。　　接下来，提升转子，将安装在上方的转子组件平稳地提升到泵体中。密封圈就位后，转动转子，观察密封圈是否有摩擦，调整密封圈，直到转子变轻，拧紧干式真空泵的泵盖。紧固泵盖后，拧紧泵接合面和两侧轴承体压盖上的螺栓。然后，转动转子，看看是否与以前不同。如果没有明显异常，连接空气管、密封水管等。添加包装，然后耦合齐　　以上是关于干式真空泵的装配方法，仅供参考。要按规定操作，避免不必要的麻烦，希望以上内容对大家有所帮助。
水环真空泵泵轴损坏的原因
水环真空泵泵轴损坏的原因
2020 - 12 - 14
大多数水环真空泵泵轴弯曲的原因多半是由于袖的刚度不够，加之叶轮有较大的不平衡，运行时产生变形所致。轴的弯曲方向和大小可以用下述方法测量:将轴平放在支承上，将两支承点(可以是泵轴中心孔，也可以是轴颈部位)调至等高，在轴上选择几个等距断面，在轴旋转一圈中用千分表分别测掀四个方向(即每周转动90°时测量一次)上的径向跳动，作好记录。根据此数据可以求得四个方向上的弯曲数值，用图解法可以找到最大弯曲的方向和大小，这样就可以进行矫直了。水环真空泵泵轴的裂坟和折断的部位，往往发生于局部应力集中的地方，比如键槽边缘处、直径突变处等。损坏的原因往往由于振动促使疲劳破坏。　　如果水环真空泵泵轴出现疲劳裂纹(即将折断的先兆)，应及时予以更换。如果由于客观因素暂时无法更换而需继续使用时，临时的补救办法是对裂纹进行补焊。使用补焊后的泵轴时，要经常注意补焊区的变化，以免发生事故。导致疲劳破坏的主要原因是，由于泵轴在运转过程中，泵腔内气体对泵轴的作用力所引起，这个作用力又叫径向力。泵轴的疲劳破坏，除了水环真空泵内存在径向力这个根本原因之外，结构不合理也是不能忽视的重要原因。　　目前水环真空泵轴与叶轮均为一级动配合，键槽处又没有使用0型密封圈密封，泵内液体(特别是化工上使用腐蚀性的液体作液环时)就会通过配合间隙和键槽进入轴孔内，腐蚀轴和叶轮的轴孔，使疲劳强度大为降低。腐蚀和磨损后的配合间隙增大(有的磨成...
水环式真空泵结构
水环式真空泵结构
2020 - 12 - 24
一、 水环式真空泵结构　　水环式真空泵主要部件是叶轮和壳体，叶轮是由叶片和轮毂构成，叶片有径向平板式，也有向前(向叶轮旋转方向)弯式。壳体内部形成一个圆柱体空间，叶轮偏心地装在这个空间内，同时在壳体的适当位置上开设吸气口和排气口。吸气口和排气口开设在叶轮侧面壳体的气体分配器上，形成吸气和排气的轴向通道。　　壳体不仅为叶轮提供工作空间，更重要的作用是直接影响泵内工作介质(水)的运动，从而影响泵内能量的转换过程。　　水环式真空泵工作之前，需要向泵内注入一定量的水，此部分水起着传递能量和密封作用。当叶轮在电动机驱动下转动时，水在叶片推动下获得圆周速度，由于离心力的作用，水向外运动，即水有离开叶轮轮毂流向壳体内表面的趋势，从而就在贴近壳体内表面处形成一个运动着的水环。由于叶轮与壳体是偏心的，水环内表面也与叶轮偏心。由水环内表面、叶片表面、轮毂表面和壳体的两个侧盖表面围成许多互不相通的小腔室。由于水环与叶轮偏心，因此处于不同位置的小腔室的容积是不相同的。小腔室随着叶轮的旋转，它的容积是不断变化的。如果能在小腔室的容积由小变大的过程中，使之与吸入的气体相通，就会不断地吸入气体。当这个腔室的容积由大变小时，使之封闭，这样已经吸入的气体就会随着空间容积的减小而被压缩。气体被压缩到一定程度后，使该空间与排气口相通，即可以排出已经被压缩的气体。　　二、水环式真空泵的工作原理　　水环式真空泵的工作原理可...
真空泵的选型
真空泵的选型
2021 - 01 - 06
1、工艺要求达到的真空度　　真空泵的工作压力应该满足工艺工作压力要求，选型时真空度要高于真空设备真空度的半个到一个数量级。(如：真空工艺要求100pa(绝对压力)的真空度，选用真空泵的真空度至少要50pa-10pa)。一般如果要求绝对压强高于3300Pa，则优先选择水环式真空泵作为真空装置，如果绝对压强要求低于3300Pa，则不能选择水环式真空泵，选择旋片式真空泵或更高真空级别的真空泵作为真空获得装置。　　2、工艺要求的抽气量(抽气速率)　　真空泵要求抽气速率(也就是要求真空泵在其工作压力下，排出气体、液体，固体的能力)，一般单位：m3/h，L/S,m3/min。具体计算方法可以参考下面公式自行计算选型。当然，真空泵的选型是一个综合过程，涉及到相关经验等因素。　　S=(V/t)×ln(P1/P2)　　其中：S为真空泵抽气速率(L/s)　　V为真空室容积(L)　　t为达到要求真空度所需时间(s)　　P1为初始压强(Pa)　　P2为要求压强(Pa)　　3、判定被抽物体的成分　　第一、被抽物体是气体、液体还是颗粒，如果被抽气体中含有水汽或少量颗粒性和粉尘等杂质，慎选旋片式真空泵，如果真空度要求较高，则应加过滤装置加以过滤方能使用旋片式真空泵做真空获得设备。　　第二、要知道被抽物体是否有腐蚀(酸性还是碱性，PH值是多少?)，若含有酸碱腐蚀或有机腐蚀等因素的气体，应过滤或中和处理才...
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水环真空泵选购要注意什么
水环真空泵选购要注意什么
2020 - 05 - 18
现在每个人都必须熟悉水环真空泵。作为生产项目的核心，它也是生产的基础。它的使用起着至关重要的作用。因此，在使用它之前选择和购买对我们来说是很重要的。下面小编将告诉你选择和购买时的注意事项。　　1.首先要明确设备的布置、地形、水位条件和运行及经济计划等方面的实际情况。　　2.考虑水环真空泵的类型，卧式、立式或其他类型。　　3.根据液体介质的性质，确定泵、热水泵或油泵、化学泵或杂质泵，或使用不堵塞的泵。如果泵安装在爆炸区域，应根据爆炸区域的等级采用防爆电机。　　4.考虑到水环真空泵的振动，分为气动和电动两种(电动分为220伏和380伏)。　　5.考虑流量的尺寸，单吸泵或双吸泵。　　6.根据水环真空泵的扬程，选择单吸泵或多吸泵。高速泵或低速泵(空调泵)和多级泵的效率低于单级泵。当单级泵和多级泵都可以使用时，单级泵更好。　　7.考虑到泵的具体类型，在选择使用哪个系列的泵后，可根据大专利复审3)扬程的两个主要性能参数，在型谱或系列特性曲线上确定具体类型，放大5%至10%。　　在充分了解设备现场后，我们知道了水环真空泵的要求(参数的大小和性质)，这样就更便于选择。我希望小编以上的解释对你有所帮助!
一分钟了解真空机组的组成与设计
一分钟了解真空机组的组成与设计
2020 - 05 - 22
真空机组是将真空泵与相应的真空元件按其性能要求组合起来构成的抽气装置。其特点是结构紧凑,安装使用方便。　　真空抽气机组可分为低真空抽气机组、中真空抽气机组、高真空抽气机组、超高真空抽气机组、无油真空抽气机组等。真空机组的名称以主泵命名。　　低真空抽气机组　　低真空抽气机组的主要特点是工作压力高、排气量大,但抽速比高真空抽气机组低,多用于真空室的粗抽以及放气量很大、工作压力高的真空输送、真空浸渍、真空过滤、真空干燥、真空脱气(钢水处理)等装置中。　　低真空抽气机组的主泵常用往复式真空泵、油封式机械泵、干式机械泵、水喷射泵、水蒸气喷射泵、水环泵、分子筛吸附泵、湿式罗茨泵等直排大气真空泵,使用低真空抽气机组,还需要根据被抽气的清洁程度、湿度或其他特殊要求,配置必要的除尘器、水气分离器、油水分离器、干燥阱等部件。　　油封机械泵机组抽除可凝性气体的措施　　油封机械泵不适于抽除含有大量水蒸气的气体。水蒸气在压缩过程中会凝结成水滴,并与泵油混合形成悬浮液,破坏泵的抽气性能使泵的真空度下降。一般采取的措施有:使用带有气镇装置的油封机械泵,并将泵的工作温度控制在75~90℃之间,以减少气镇阀负担在机组中安装水汽分离器或油水分离装置,处理混有水的机械泵油,处理过的油再进入泵中使用;用各种干燥吸附剂做成捕集阱吸收水蒸气;使用各种冷凝器或冷阱,不仅能有效地吸附水蒸气,同时还可以阻挡机械泵向真空室的返流。　...
浅谈水环式真空泵的应用领域，适合水环式真空泵的行业有哪些?
浅谈水环式真空泵的应用领域，适合水环式真空泵的行业有哪些?
2020 - 05 - 29
浅谈水环式真空泵的应用领域，适合水环式真空泵的行业有哪些?　　水环真空泵以其优越的性能、突出的功能和简单的操作得到了越来越广泛的应用。虽然它的外观很轻，但可以广泛应用于生活中。让我们了解一下主要的应用领域。　　1、真空浸渍;用于食品加工、木器加工、纺织厂、胶合板厂、电线杆的制造等。　　2、真空蒸馏;在牛奶厂、食品厂、化工厂、纸浆厂等领域。　　3、真空引水;用于自来水厂、排灌站、电站、水泵吸排饮水等。　　4、真空输送;用于卷烟厂、制罐厂中。　　5、真空消毒;用于医院、医务室、实验室等　　6、真空脱气;用于瓶装厂、水软化、食品加工、食品包装等。　　7、真空成型;用于塑料厂、橡胶厂、轮胎厂、聚乙烯产品制造等领域。　　8、真空过滤;用于化学制品过滤厂、化工制品处理厂、造纸厂、铁矿厂、采矿厂、磷肥厂、家禽加工、选煤厂等领域。　　9、真空烘干：化工、医药制造业、木材烘干处理等。　　今天，我们介绍水环真空泵的主要应用领域。水环真空泵的应用领域不仅如此。此外，水环真空泵在蒸汽回收、溶剂回收和土壤净化方面也发挥着重要作用。
真空系统中真空泵的参数你理解吗
真空系统中真空泵的参数你理解吗
2020 - 06 - 05
1.真空泵的极限压力　　真空泵的极限压力单位为帕，是指泵在进口处配有标准测试盖，并按规定条件工作的最低压力，在正常运行条件下，在不引入气体的情况下趋于稳定。　　2.真空泵的抽速　　真空泵的泵送速率单位为m3/s或l/s，这是指当泵配备标准测试盖并在规定条件下运行时，流经测试盖的气体流量与在测试盖指定位置测量的平衡压力的比率。泵速的简称。　　3.真空泵的启动压力　　真空泵的启动压力单位为帕，是指泵启动时的压力，没有损坏，有抽吸作用。　　4.真空泵的最大前级压力　　真空泵端口处的最大前级压力单位为帕，这意味着它超过了可能损坏泵的前级压力。　　5.压缩比　　压缩比是指给定气体的泵出口压力与入口压力之比。　　6.泵送速度系数　　真空泵的实际泵速与理论泵速之比，由泵入口处的分子渗出计算得出。　　7.允许的水蒸气量　　允许的水蒸汽单位为千克/小时，这是指在正常环境条件下连续运行期间，气镇泵能够去除的水蒸汽质量流量。　　8.最大允许水蒸气入口压力　　最大允许水蒸气入口压力单位为帕。它是指在正常环境条件下，气镇泵在连续运行过程中能够泵出的水蒸气的最高入口压力。　　9.回流率　　真空泵的回流速度单位为克/平方厘米秒，指泵在规定条件下工作时，通过泵入口的单位面积泵流量质量流量。　　10.真空泵的最大工作压力　　真空泵的最大工作压力单位为帕，即对应最大泵送量的入口压力。　　在这个压力下，2bv真空泵可以...
真空泵常见问题解决方法(实用收藏)
真空泵常见问题解决方法(实用收藏)
2020 - 06 - 11
真空泵是指使用机械、物理、化学或物理化学方法对泵送容器进行抽吸以获得真空的装置或设备。一般来说，真空泵是一种使用各种方法来改善、产生和保持封闭空间内真空的装置。　　真空泵的安装说明　　1.水泵应安装在地面牢固的地方，周围应留有足够的空间进行检查、维护和保养。　　2.基础应保持在泵底座下的水平位置。建议在底座的四个角上安装缓冲橡胶或螺栓，以确保泵的平稳运行和低振动。　　3.泵与系统之间的连接管道应密封可靠。对于小型泵，可以用金属管连接密封垫，也可以用耐油橡胶。对于小型泵，可以用真空橡胶管来连接。管道直径不应小于泵的吸入直径，管道应短，弯头少。(焊接管道时应清除管道中的焊渣，严禁焊渣进入泵室。)　　4.在连接管道中，用户可以在泵进气口上方安装阀门和真空计，随时检查泵的极限压力。　　5.按规定将电机标志与电源、接地线相连，并安装适当规格的保险丝和热继电器。　　6.当泵通电进行试运行时，必须拆除电机皮带，以确保泵在投入使用前按照指定方向转动，以防止反向喷油。(转向防护罩指示的方向)　　7.对于带冷却水的泵，根据需要连接冷却水。　　8.如果电磁阀安装在泵端口，阀门和泵应同时动作。　　9.当泵排出的气体影响工作环境时，可以将油雾过滤器导出或安装在排气口连接管道中。　　真空泵的使用说明　　1.关闭泵上方的阀门　　2.装有冷却水的泵与冷却水相连。　　3.转动方向盘的皮带轮几次，将泵室中的油排入油箱...
如何正确使用罗茨真空泵机组
如何正确使用罗茨真空泵机组
2020 - 06 - 16
如何正确使用罗茨真空泵机组，在实际使用过程中必须做以下工作　　1.仔细检查罗茨真空泵的油位位置，不满足要求的，必须调整以满足运行要求。 以油位标准为基准。　　2.换油时期根据实际使用情况，可以满足用户的性能要求和其他方面的考虑，一般的新型罗茨泵，抽出气体，推荐100小时左右的换油后，油中看不到黑色金属粉，截止日期后油有可能伸长。　　3.要经常检查油品质量，发现油品变质，更换新油，确保罗茨真空泵正常工作。　　2000小时后检查，检查密封件的劣化程度，检查排气阀是否破裂，清洗阀板和排气阀座的污垢，清洗罗茨泵室整体的部件，例如转子.旋转体.弹簧等。 一般用汽油清洗干燥。 清洗和组装的时候，请轻装轻伤。　　5.真空泵轴承必须面向轴承体的润滑油，观察油位在油的中心线，交换或添加润滑油。　　6.观察管和接头是否松动，洛奇真空泵是否柔软。　　7.试运行后必须重新组装。 通常要空两个小时换油。 清洗罗茨真空泵后，还有一定的挥发成分，所以正常运转，使进入正常工作。　　8.操作员必须熟读淄博通常真空装置的产品使用说明书。　　9.在产品使用前，确认产品中长期没有放置环境因素。　　10.工作中发现异常声音和振动时，必须停止故障诊断。　　11.电气设备的外壳必须接地或为零。　　接通电源前的准备　　1.检查水泵(前级泵)的水箱液位是否在水箱的3/4以上，不足时补充。　　2.检查罐内的使用水是否清洁，使用含有砂...
如何检查旋片真空泵的油位呢?
如何检查旋片真空泵的油位呢?
2020 - 06 - 19
旋片真空泵可以泵出密封容器中的干燥气体，如果配有气体镇流装置，还可以泵出一定量的可冷凝气体。然而，它不适合泵出含有太多氧气、对金属有腐蚀性、与泵油发生化学反应以及含有微粒灰尘的气体。那么，应该如何检查旋片真空泵的油位呢?让我们把它介绍给每个人。　　检查旋片真空泵的油位。油位应在旋片真空泵油标的中心。如果油位过低，排气阀无法密封，从而影响真空度。油位过高，这将导致启动时燃油喷射。　　1.旋片真空泵运行前，取下三角带，校正电机转向，然后开始避免喷油。　　2.运行中，油位略有上升，这是正常现象。当油量不足时，使用真空泵油并从注油孔添加。应过滤油，以避免异物进入堵塞油孔。如果电磁阀安装在旋片真空泵的泵口，它应与泵同时运行。　　3.当旋片真空泵开始启动时，按一次或两次点动启动按钮，使泵腔内的油压达到油箱，然后正式启动运行。当环境温度较高时，旋片真空泵油温升高，粘度降低，饱和蒸汽增加，导致极限真空降低。因此，应加强通风和散热。在停止旋片真空泵之前，应关闭吸入口的阀门以与真空系统隔离，然后应停止泵以检查旋片真空泵的极限真空，并应采用压缩真空计。真空计应直接与旋片真空泵的泵口连接，在运行30分钟内达到极限真空。　　4、旋片真空泵运行注意事项。检查旋片真空泵油量是否在油标记线附近;不要过快打开泵送系统的阀门，以免大量喷油。运行过程中，注意任何异常噪音和撞击声，注意泵油温的升高，当某些部件过热时，应立...
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浅析罗茨真空泵操作程序

日期： 2019-12-12
来源:
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　　罗茨真空泵操作程序

　　一、开始之前的准备

　　(1)按照泵的使用说明书加油。

　　(2)检查水压是否足够。

　　(3)将电接点压力表的指针调整为0.5 * 105〜1.0 * 105Pa，并根据泵系统的实际情况调整每个电接点的真空表的指针值。该值是由每个仪表控制的罗茨真空泵的允许启动，并且稍后启动的罗茨真空泵的压力值应低于之前启动的罗茨真空泵的工作压力值。

　　(4)用手旋转每个泵轴而不会发生卡塞。如果关机时间很长，则必须在启动前将其清除。

浅析罗茨真空泵操作程序


　　二、启动程序

　　(1)建议打开进水阀并将水量调节到佳水平。此时，由于前级泵的泵送作用，泵送系统中的气体被泵送通过罗茨真空泵。 当此现象随着系统压力降低而降低到一定压力时，罗茨真空泵将停止旋转。

　　(2)当系统中的压力达到罗茨真空泵的允许启动和工作压力时，逐步启动罗茨真空泵。 罗茨真空泵启动后，请注意泵的温度升高和电流。如果过热或大电流，请停止罗茨真空泵并检查原因。当罗茨真空泵工作时，不允许停止前级泵(无油真空泵)。

浅析罗茨真空泵操作程序


　　三、关机程序

　　(1)关闭进气口官方通道上的阀门。

　　(2)逐步停止主罗茨真空泵泵，中间泵，中间泵和前级泵。

　　(3)关闭主进水阀并停止供水。

　　(4)切断电源。

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旋片真空泵机组360度轮移动方便携带
旋片真空泵机组360度轮移动方便携带
高效抽气能力：旋片真空泵通过转子与旋片的协同运动，周期性改变泵腔容积，实现气体的快速吸入与压缩排放。其抽速范围通常为0.5-150升/秒，单级泵极限压力可达1帕，双级泵更可低至6.5×10⁻²帕，能满足电子晶圆吸附等工艺对真空度的严苛要求。结构紧凑设计：机组小车采用一体化撬装结构，将泵体、电控系统、过滤器等部件集成于紧凑空间内，占地面积小，便于在实验室或生产线灵活布局。其轻量化设计（如电机直联驱动）进一步减轻了设备重量，提升了便携性。移动灵活便捷：小车底部配备移动轮，支持快速搬迁与多工位切换，尤其适用于需要频繁调整设备位置的晶圆加工场景。部分机型还支持手自动模式切换，确保在PLC损坏等紧急情况下仍能维持最低限度运行。运行稳定可靠：旋片真空泵通过油膜密封与强制进油润滑设计，确保运动部件间的完美气密性与恒定润滑，同时减少有害空间对极限压力的影响。其内置的自动防返油双重保险装置与金属丝网粗过滤器，可有效防止油返入被抽系统与固体尘粒吸入泵腔，保障设备长期稳定运行。维护简便经济：机组小车结构简单，维护成本低。用户可通过定期检查油位、更换真空泵油（首次工作满150小时后换油，之后每500小时换油）与油过滤器、清洁进气口滤网等常规操作，确保设备性能。其低成本、高性能的特点使其成为空间有限或预算敏感场景的理想选择。安全防护完善：设备配备双重密闭系统（充气式电磁阀+机械止回阀）与排气过渡器，可防止气体倒流与油雾排放，避免晶圆污染或设备损坏。同时，其内置的吸气阀可在停泵时自动隔离泵与被抽系统，防止油返入被抽系统，保障操作安全。适应性强：旋片真空泵机组小车可单独使用，也可与其他高真空泵（如分子泵）组成真空机组，以应对不同工艺对真空度的差异化需求。例如，在晶圆键合工艺中，可先通过旋片泵快速抽至低真空，再切换至分子泵实现超高真空环境，提升工艺效率。经济性高：机组小车采用无油设计（...
发布时间： 2025 - 07 - 22
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