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2020 - 07 - 28
水环真空泵内置有带固定叶片的偏心转子,是将水(液体)投向定子壁,水(液体)形成与定子同心的液环,液环与转子叶片一起构成可变容积的旋转可变容积真空泵。  水环真空泵(简称水环泵)为粗真空泵,所得到的极限真空为2000~4000Pa,与真空泵组合的尤针织面料真空度可达1~600Pa。 水环泵也可作为压缩机使用,被称为水环式压缩机,是属于低压的压缩机,其压力范围为1~210^5 Pa的压力。  随着水泵应用的增加,设备在运行中受到高温、高压、强腐蚀、空化作用清洗等恶劣环境的影响,经常出现磨损、腐蚀、泄漏等现象,制约企业正常生产,引起火灾、爆炸、污染等严重安全事故。 由于设备故障,导致云同步无法预料的宕机时间停产将影响生产的效率和产品品质,从而增加企业的成本投入。 据统计,大多数制造业的设备维修费用占总费用的20%-30%以上。  水环真空泵泵轴轴承位磨损修复  传动部磨损问题是生产型企业存在的普遍设备问题,且数量大、损伤频繁,其中包括各种轴类、支重轮类、减速机、马达、泵类等轴承位置、机壳、轴承室、牛鼻子槽及螺纹等部位。  解决办法:传统的熔接机加工方法容易引起材质损伤,容易引起零配件变形或断裂,有较大局限性的电镀和喷涂再机械加工方法往往需要外包,修复周期长,费用高,而且修补的材料是金属材料,根本就是磨损的原因(金属的耐冲击。  修复步骤: 1、模具加工:制作标准组合模具2,表面处理:抽油...
2020 - 08 - 04
真空泵的使用可能有一些小故障。今天我们就来谈谈真空泵切换过程中真空突然下降的原因和处理方法。我希望它对你有用!  1.原因分析  1.真空泵入口处的气动门和逆止门堵塞;  2、操作不当,未确认入口气动门已关回,停止真空泵。  2.主要现象  1.排气装置的真空度迅速下降,真空度低时报警;  2.真空泵气水分离器液位下降。  3.治疗措施  1.当真空泵停止且真空下降时,立即启动其他真空泵。  2.立即让当地人员打开气水分离器补水电磁阀旁边的手动门,向汽水分离器高水位补水。  3.如果真空仍然下降,没有逆转的趋势,让当地人员立即关闭真空泵入口的气动门和气动门前的手动门,启动真空泵。  4.当真空下降太快时,手动将负荷降低到400兆瓦以下,以防止机组触发RB。如果RB动作,应根据RB正常处理。  5.如果处理不及时,真空过低,导致汽轮机跳闸,应视为紧急停机。  4.预防措施  1、实施重大作业监控制度;  2.根据正确的切换方法进行切换,并做出所有可能的假设;  3.2bv真空泵关闭时,先关闭入口门,确认关闭后再停泵。
2020 - 08 - 12
螺杆真空泵和水环真空泵是属于真空泵,但它们之间有差异,都是产生真空的泵类,通过比较它们的差异,不仅有助于大家的选择,也有助于两者不混淆。 区别在哪里? 请听厂家的详细说明。  一、适用的情况  水环真空泵的等温压缩特性,容易燃烧、易爆炸,适应含尘的排气介质环境,但是污染排气介质,难以适应清洗工艺环境和各种介质回收工艺的螺杆真空泵无法吸引容易燃烧的爆炸性气体,含有粉尘的固体粒子气体以及凝固性气体  二、真空度  水环真空泵的真空度受作为其工作液的水的饱和蒸气压限制,单级极限真空在2000~4000Pa之间,将工作液置换为油时达到130Pa。 螺杆真空泵的极限真空度受模线与齿间隙的影响,可达1Pa,极限真空可达0.1Pa。  三、效率  水环真空泵的运行需要工作液的参与,工作效率低的螺杆真空泵工作泵室无油,气道短,气道直通,效率高于水环真空泵。  四、配套  水环真空泵的工作液在工作中不断消耗,随着水温的上升,抽气性能降低,因此需要配备冰水机、循环泵、冷却水塔等,不断补充冷却水。另外,对于环保的要求,需要追加建设污水处理设备的螺杆真空泵,在通常的条件下需要将其他设备.  五、稳定性  水环真空泵抽气性能易受温度影响,不稳定,抽气介质可能与工作液反应,容易腐蚀设备,故障率高的螺杆真空泵温度影响小,稳定性高,无油无水,采用防腐涂层,寿命更长,故障率更高  螺杆真空泵和水环真空泵的不同,可以...
2020 - 08 - 20
真空技术可应用于塑料工业的各种过程,如脱气、干燥和转移。真空泵在塑料行业中的应用:挤出机脱气、真空成型、发泡、干燥和气力输送装置。  真空泵的应用  挤出机脱气  在加工过程中,热塑性塑料在挤出机中熔化,并在挤出机的螺纹部分脱气。真空装置用于从熔体成分中提取气体和蒸汽。所有低分子物质被泵出,以获得最理想的热塑性塑料质量,具有光滑的形状、较高的强度、较好的绝缘性能和较低的气体产生速度。  凝固台  塑料材料进入凝固台上的连续部分在挤出机中熔化和脱气。通常,这些部分在管道中,或者在窗户、线槽和医疗管道的各种技术部分中。塑料材料被拉进模具。为了冷却和润滑,在模具内侧和连续工件之间形成水膜,真空泵稳定地排出空气。  气力输送装置  在生产的不同阶段,塑料球形材料必须从一个地方转移到另一个地方(如从储罐转移到干燥器)。采用气力输送装置可自动实现,并可加速。管道从起点延伸至终点,并连接至真空泵或压缩机。  由于要运输的材料,管道中的空气被“装载”。与飓风相比,根据风速,它能搅动树叶,或有台风的强度,甚至能把屋顶从房子上掀掉。根据货物的重量和管道的长度,系统的设计可以使真正的台风变强,甚至可以把屋顶从房子上掀下来。根据货物的重量和管道的长度,系统的设计可以使真空泵(真空传输)或压缩机(压力传输)产生足够的风速来拾取物料并将其输送到目的地,而不会将它们留在管道中。  由于用于输送塑料球形物料的气力...
2020 - 08 - 27
一、真空泵选型中,确定的产品需保证能顺利抽出工艺过程中释放出来的各种气体。真空泵的应用工艺中,气体介质多种多样,易燃易爆的、易凝结的、易化反、易腐蚀的等,选用的真空泵就需保证适用性。例如,工艺过程会产生大量水蒸气,选用的真空泵就必须适合抽水蒸气。  二、真空泵的极限真空度,必须高于工艺生产要求的真空度,至少要高一个数量级,并且设备适合在要求的工作真空度范围内工作。真空泵的极限真空度是泵抽速为零的时候所能达到的真空度。因此为保证真空泵在工作真空度内的抽速,就需要满足其极限真空度要大于工作真空度,并且在区间内需要有较大的抽速。  三、真空泵的抽速要大于工艺过程中的最大放气量。为保证真空度,真空泵选型中涉及工艺过程中持续放气的,真空泵或者真空系统的抽速要满足大于工艺过程中的最大放气量。如果在系统设有冷阱或档板等,则加阱或挡板之后的有效抽速应大于工艺过程中最大放气量。如果工艺过程中会出现突然大量放气,则系统的有效抽速还要适当加大,通常加大到最大放气量的2—3倍。  四、真空泵选型中,选用的真空泵其工作介质和制造材料须满足工艺要求。真空泵应用,尤其是在医药、化工、电池等领域,抽取的介质往往是具有腐蚀性的气体,这时就要求设备要有相应的防腐措施。如酸碱气体需要有对应的防腐涂层或泵的材质改用不锈钢防腐蚀;带有灰尘或颗粒的气体时,要在泵入口前加除尘器、过滤器或泵本身对其有耐受性等等。  五、需连续生...
2020 - 09 - 11
螺杆真空泵是采用两根螺杆,在泵体内同时开展高速反向旋转而形成的抽气排气装置,油封式真空泵升级产品,可以排出含有水蒸气和少量粉尘的气体,在国内制药、化工、半导体等行业.  但是,许多企业在使用螺杆真空泵时不太重视产品的操作规范,有些不良的操作习惯可能导致设备无法正常使用,或者在长时间使用中损坏设备的部件,因此规范干燥机的操作非常必要,产品的各方面的操作  为了加快螺杆真空泵的应用能力,在操作细节上,体现出产品的优点,按照使用规范,增大员工的培训,按照严格的操作方法,提高产品的整体  因此,规范操作规程,对螺杆真空泵的使用和寿命的延长起到了良好的作用,而且提高了生产安全的重要性,保证了使用者自身的安全,有效地提高了设备的实用性,体现了产品实力的保障。  螺杆真空泵的操作需要规范,大家必须具备专业素养和专业知识。 为了机器的寿命,更为了自己的安全,希望大家严格遵守。
2020 - 10 - 11
螺杆真空泵需要定期清洗,因为真空泵在长期运行中会产生一些灰尘,而且它的孔也是灰尘容易进入的地方,清洗的地方可能是费点劲,但是如果它孔中的灰尘长时间不清洗,就会堵塞,从而影响真空泵的使用,所以应该及时清洗真空泵。清孔应该怎么做?  1.由于螺杆真空泵利用冲击钻机成孔,水桩中的泥浆是打桩时自制的,所以水桩中的泥浆完全可以代替主管泥浆做抽吸工作。  2.导管与孔底的距离约为20-30厘米,水沉入连接导管的橡胶管导管的深度应为钻孔水头至出浆口高度的1.5倍。  3.导管中的水位通过螺杆真空泵真空抽吸泥浆而降低。导管与桩内水位形成连通装置,使桩内水从导管底部快速流入导管,导管通过导管口对桩底沉积层施加向上的压力,将桩底沉积物压入导管,然后进入将橡胶管打开,通过橡胶管排出。  虽然螺杆真空泵的清孔处理有点难清理,但是学习了以上知识后操作起来会简单很多。不要盲目使用真空泵,忽视对真空泵的清洁,这会对真空泵的使用产生不良影响。(提醒一定要找专业的工作人员进行哦)。
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2020 - 04 - 18
近年来,随着我国经济的持续快速发展,真空泵已经广泛应用于各个领域,如医药制剂、制药、生物技术、化工、电子工业、科研项目等。机械设备长时间运行会有一些故障。下面小编将介绍真空泵的一些常见故障原因和维修方法。  真空泵常见故障原因及相应的维护方法如下:  1.旋片被堵塞。  主要性能:转子与泵腔内表面之间的摩擦阻力过大,使电机无法驱动转子。  原因:转子变形,转子中的弹簧打开后无法复位,或者弹簧压力和转子本身离心力的合力过大,导致转子和泵腔内表面之间的摩擦阻力过大  维护方法:转盘和弹簧应及时修理,如不能修理,应更换。  2.漏油:  主要发生在真空泵油窗、油箱密封垫和电机轴承轴封处。  原因:这些零件的老化和真空泵使用时间长造成的密封失效导致漏油。  维护方法:更换老化的油窗、轴封、密封垫和已充满泵油的毛毡垫。维护后,在注油前用真空泵油冲洗真空泵,并用溶剂清洗注油口处的滤网,以保持油箱清洁。  3.马达烧坏了。  主要性能:发动机的定子线环烧毁。  原因:如果瞬时电流过大,电机轴承在长时间使用后会磨损,导致轴承摩擦阻力增大,电机功率增大,温度升高,电机烧毁。维护方法:在检查电机线圈之前检查电机轴承。如果轴承损坏,请更换;如果电机线圈烧毁,应修理电机,并重新缠绕定子线线圈。当轴承和线圈严重损坏时,需要更换电机。  以上内容只是2be真空泵故障的一小部分,还有其他故障。如果遇到其他故障,...
2020 - 04 - 21
农产品加工业对促进农业生产发展、提高农业生产效率具有重要意义。发展农产品加工有哪些机遇和挑战?       机会:  (1)政策环境更有利;  (2)需求拉动更强;  (3)原料基础更加丰富;  (4)科技支撑更加强大。  挑战:  (1)环境和资源约束加剧;  (2)生产要素供给不足;  (3)国际贸易的不确定性增加;  (4)质量和安全要求提高。  为了提高农产品加工设备,真空技术根据实际情况和自身经验,针对旋片真空泵在农产品加工行业的应用,为农产品加工行业制定了一套真空解决方案。让我们一起学习它。  农产品加工:指以人工生产的农业原料和野生动物资源为原料的工业生产活动的总和。广义:指以人工生产和野生动物资源为原料的工业生产活动的总和。狭义:指以农林牧渔产品及其加工产品为原料的工业生产活动。  真空冷冻干燥技术是农产品加工业发展的关键技术之一,可应用于旋叶式真空泵。  为什么旋片真空泵是农产品加工业的更好选择?这需要从其工作原理和特点来解释。  旋转叶片泵的工作原理:旋转叶片泵的旋转叶片将由转子、泵腔和两端盖围成的月牙形空间分成三部分:a、b和c。当转子沿箭头方向旋转时,与吸入口连通的空间a的容积逐渐增大并处于吸入过程中。与排气口连通的空间C的体积逐渐减小并处于排气过程中。中央空间B的体积也逐渐减小并处于压缩过程中。  由于空间A的体积逐...
2020 - 04 - 23
泵的工作原理  单螺杆真空泵是一种具有内部啮合和偏心旋转的正排量泵。该泵的主要部件是:单头螺旋转子和通常由弹性材料制成的双螺旋定子。当转子绕着空腔中定子的轴线进行行星旋转时,旋转定子之间形成的闭合腕部将沿着转子螺旋运动。因此,介质从吸入口连续、均匀和恒定地输送到压力出口。基于这一特性,单个螺杆真空泵特别适用于以下工作条件。  高粘度输送介质:粘度在37000至200000厘泊的介质可根据泵的尺寸输送。  含有颗粒或纤维的介质:颗粒直径可以是30毫米(不超过转子偏心率)。光纤长度可以是350毫米(相当于0.4位的间距)。其含量一般可达到中窖的40%。如果介质中的固体是细粉末的形式,最高含量可以达到60%或更多,并且可以运输。当要求传输压力稳定且介质的固有结构不被破坏时,单个螺杆真空泵是最理想的。  泵的特性  单螺杆真空泵由于其结构和工作特性,与活塞泵、离心泵、叶片泵和齿轮泵相比具有以下优点:  能输送高固体含量的介质;  流量均匀压力稳定,特别是在低转速下;  流量与泵的转速成正比,因此它具有良好的可变可调性;  一个泵可以输送不同粘度的介质。  泵的安装位置可以随意倾斜;  适用于输送敏感物品和易受离心力等损坏的物品。  体积小、重量轻、噪音低、结构简单、维修方便。  泵的使用  单螺杆真空泵可广泛用于以下工业部门输送各种介质。  化学工业:酸、碱、盐溶液,螺杆真空泵出口压力各种...
2020 - 04 - 26
了解了干式真空泵的抽真空界定后,应用起来会更加得心应手。接下来就对抽供气量以及测算方法来进行简单的详解。  1、抽供气量:抽供气量是干式真空泵泵效的一个考虑因素。一般公司用L/S和m3/h来表述。是弥补漏汽率的基本参数。不难理解,基础知识下抽一个一样容量的容器,为什么抽供气量大的干式真空泵很容易抽中大家必须的真空值,而抽供气量小的则较慢甚至无法抽中大家要想的真空值?因为管路或者容器从始至终不大可能确保毫无疑问不漏水汽,而抽供气量大的弥补了漏汽所造成的真空值减少的因素,因而,空气量的很容易抽中理性化真空值值。这里建议,在预计出基础知识抽供气量的情况下,大家尽量选择高一级的抽供气量的机械泵。  2、制作工艺要求的抽供气量(抽真空速率)  机械泵要求抽真空速率(也就是要求机械泵在其工作压力下,排出去气体、液体,固体的专业能力),一般公司:m3/h,L/S,m3/min。具体测算方法可以参考下面计算公式:  S=(V/t)×ln(P1/P2)  在这其中:S为机械泵抽真空速率(L/s)  V为真空室容积(L)  t为保证要求真空值所需时间(s)  P1为初始气体压强(Pa)  P2为要求气体压强(Pa)  清楚了干式真空泵这类专业技能后,就了解怎样根据工作中情况进行适当型号规格挑选了,这类基本参数都是一些评价方法。
2020 - 04 - 28
目前,大多数真空预冷装置中使用的真空泵是旋片真空泵。尽管带有气镇装置的旋片泵可以去除含有少量水蒸气和大量永久气体的混合气体,但在真空预冷过程中,由于蔬菜内部水分的蒸发,大量水蒸气将被泵入旋片泵,水蒸气将在泵室中冷凝。这将导致真空泵润滑油乳化变质,严重影响真空泵所能达到的极限压力,降低润滑性能,增加磨损,不能正常工作,甚至造成泵体、转子等部件严重腐蚀,导致整机报废。因此,推荐罗茨真空泵在真空预冷装置中的应用。  蔬菜收获后预冷是保持蔬菜新鲜、延缓蔬菜老化和变质的有效方法。对于不同的蔬菜,可以分别采用冷风预冷、差压预冷、真空预冷和水预冷。真空冷却在罗茨真空泵已经广泛应用于食品工业领域。与传统的冷却方式如吹风和浸泡相比,真空预冷可以大大缩短冷却时间,使食品内部的温度场更加均匀。显然,从保鲜的角度来看,真空预冷装置是目前最理想的蔬菜冷却和制冷设备。  真空冷却系统包括真空室、支架和真空泵,其中真空泵为罗茨真空泵。罗茨泵:运行时应注意保证真空泵进水温度尽可能接近设计运行条件,水量充足。(2)确保真空泵的冷却水循环,否则机组将在运行1小时左右时因罗茨泵过热保护而停机。  罗茨真空泵产品的特点:  1.电机多样性  每台罗茨真空泵电机可以风冷或水冷,以确保客户的正常使用  该泵由铝合金或铸铁制成,具有散热快、耐腐蚀性强的优点。  2.结构简单,维护方便  转子型线通过精心设计和生产圆弧转子,使泵...
2020 - 04 - 30
真空泵:真空泵为一种抽气装置,可将真空系统中的气体抽出,使返回真空系统中的气体数量比抽出真空系统中的气体数量少。  一、真空泵的分类  根据真空泵工作原理基本上分为气体输送泵和气体捕集泵两种类型,真空泵的分类和图2不同真空泵的真空度所示。  气体输送泵分为:  变容真空泵:泵腔容积的周期性变化来完成抽气。  动量传输泵:依靠高速叶片、射流,将动量传递给气体,完成抽气。  气体输送泵主要包括:  1、液环真空泵;2、往复式真空泵;3、油封机械泵;4、罗茨真空泵;5、干式真空泵等。  气体捕集泵主要包括:  1、低温泵;2、离子溅射泵;3、分子筛吸附泵;4、钛升华泵;5、电离升华泵;6、锆铝合金吸气泵等。  真空泵的类型按真空泵用途可分为如下8部分:  (1)主泵(Main pump):在真空系统中,用来获得所要求真空度的真空泵;  (2)粗抽泵(Roughing vacuum pump):从大气压开始降低系统的压力到另一抽气系统开始工作的真空泵;  (3)前级泵(Backing vacuum pump):用来维持另外一个泵的前级压力在其临界前级压力以下的真空泵;  (4)维持泵(Holding vacuum pump):在真空系统中,当气体量很小,不能有效的利用主前级泵。此时,可以利用容量较小的辅助前级泵来维持主泵工作或维持容器所需真空度;  (5)粗/低真空泵(Rough/Low ...
2020 - 05 - 08
与其他真空泵设备一样,旋片真空泵在使用过程中不可避免地会出现一些问题或故障,影响设备的中长期运行。只有了解了失败的原因,我们才能更好地提出解决方案。  1、旋片真空泵泵不转动,情况不明时不先启动泵,以免加重问题,用手可以移动而不能移动。由于耦合问题、皮带打滑、电机接线错误、电机损坏和电源故障,大多数泵无法旋转。  2、温度过高,一般旋片真空泵泵温度过高的原因是泵环境温度过高,进气温度过高,进气冷却装置无效。泵长期连续运行的入口压力过高,水冷泵的冷却水量缺乏循环水,设计效果不好,温控水量调节阀失效等。  3、旋片真空泵的漏油可能是由于密封老化、装置不当、损坏和故障、外观不均匀、杂质、粗糙度和铸件松动造成的。如果停泵后回油,油将进入流向气镇阀,如果气镇阀没有关闭,油可能会泄漏。制作橡胶垫时,必须使用耐油橡胶。如果密封面太大,机油会泄漏。  4、旋片真空泵的漏水可能发生在水管接头、水套盖平面、排水管孔螺塞,排水阀等处。水套钻穿、铸造缺陷、冻裂,也可能造成漏水。  高温和漏油是旋片真空泵在使用过程中的常见故障。因此,为了避免故障对工业生产进度的影响,有必要定期做好设备的日常维护和检查工作,及时解决问题。  恒才机电防爆旋片真空泵厂家主要产品有2BV、V、VG、VI、VZ、VN、LRP系列水环真空泵,X、GVD系列旋片真空泵,ZJ系列罗茨真空泵,GXS、DHS、VSD、GHS系列螺杆真空泵,...
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常见的干式真空泵的工作原理

日期: 2019-11-28
来源:
浏览次数: 78

  关于干式真空泵,有很多类型,干式,无油,爪形等。那么,您知道这么多种产品的工作原理吗?如果您不知道,请按照来看看的步骤进行操作,以了解常见的干式真空泵的工作原理!

常见的干式真空泵的工作原理


  1、干螺杆真空泵

  干式螺杆真空泵是使用一对螺杆在泵壳中进行同步高速反向旋转的抽吸装置。两颗螺钉非常平衡,并由轴承支撑。在壳体中,螺钉与螺钉之间有一定的间隙,因此在运行过程中泵之间没有摩擦,运行稳定,噪音低,并且工作室不需要润滑剂。因此,干式螺杆泵可以去除大量的水蒸气。在粉尘和气体较少的情况下,极限真空度较高,功耗较低,具有节能免维护的优点。它是油封/水环 /喷射真空泵的替代品。

  2、无油往复式真空泵

  通过使活塞往复运动来周期性地改变泵室(气缸)的工作容积来泵送空气的真空泵也称为活塞真空泵。往复式真空泵的结构类似于往复式活塞压实机。在运行期间,吸气口气管连接到抽空的容器,而排气口气管直接通过大气。往复式真空泵可用于真空蒸馏,真空浓缩,真空结晶,真空过滤,真空干燥和混凝土的真空操作。

  3、爪式真空泵

  爪式真空泵由多级转子组成,其中每一级有两个转子,两个转子沿相反方向旋转,吸入口与泵腔相连,泵腔的容积变大,空气被吸入当转子关闭吸气口时,吸气结束。将来,泵腔将变小,气体将被压缩。打开排出口时,泵腔将排空。关闭排气口后,排气将完成。

常见的干式真空泵的工作原理


  4、无油涡旋真空泵

  涡旋无油真空泵的涡旋是一个或几个渐开线螺旋,其一端连接到平面上以形成涡旋形的盘状结构。由静态涡旋和动涡旋组成的一对涡旋构成了无油涡流的基本泵送结构。例如,在两级涡旋无油真空泵中,有两个具有对应方向的固定涡旋,以及位于两个涡旋之间的滚动涡旋。动涡旋盘和静涡旋盘的相对运动构成了一个月牙形的真空腔,其容积不断变化,从而允许气体从吸气口吸入,并从排气口排出,从而完成排气装置循环。


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高效抽气能力:旋片真空泵通过转子与旋片的协同运动,周期性改变泵腔容积,实现气体的快速吸入与压缩排放。其抽速范围通常为0.5-150升/秒,单级泵极限压力可达1帕,双级泵更可低至6.5×10⁻²帕,能满足电子晶圆吸附等工艺对真空度的严苛要求。结构紧凑设计:机组小车采用一体化撬装结构,将泵体、电控系统、过滤器等部件集成于紧凑空间内,占地面积小,便于在实验室或生产线灵活布局。其轻量化设计(如电机直联驱动)进一步减轻了设备重量,提升了便携性。移动灵活便捷:小车底部配备移动轮,支持快速搬迁与多工位切换,尤其适用于需要频繁调整设备位置的晶圆加工场景。部分机型还支持手自动模式切换,确保在PLC损坏等紧急情况下仍能维持最低限度运行。运行稳定可靠:旋片真空泵通过油膜密封与强制进油润滑设计,确保运动部件间的完美气密性与恒定润滑,同时减少有害空间对极限压力的影响。其内置的自动防返油双重保险装置与金属丝网粗过滤器,可有效防止油返入被抽系统与固体尘粒吸入泵腔,保障设备长期稳定运行。维护简便经济:机组小车结构简单,维护成本低。用户可通过定期检查油位、更换真空泵油(首次工作满150小时后换油,之后每500小时换油)与油过滤器、清洁进气口滤网等常规操作,确保设备性能。其低成本、高性能的特点使其成为空间有限或预算敏感场景的理想选择。安全防护完善:设备配备双重密闭系统(充气式电磁阀+机械止回阀)与排气过渡器,可防止气体倒流与油雾排放,避免晶圆污染或设备损坏。同时,其内置的吸气阀可在停泵时自动隔离泵与被抽系统,防止油返入被抽系统,保障操作安全。适应性强:旋片真空泵机组小车可单独使用,也可与其他高真空泵(如分子泵)组成真空机组,以应对不同工艺对真空度的差异化需求。例如,在晶圆键合工艺中,可先通过旋片泵快速抽至低真空,再切换至分子泵实现超高真空环境,提升工艺效率。经济性高:机组小车采用无油设计(...
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