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2025 - 07 - 09
在电子行业实现集中抽真空,需从设备选型、系统设计、工艺流程优化及维护管理四方面系统规划,以下为具体方案与分析:一、核心设备选型:匹配工艺需求,兼顾效率与成本干式真空泵爪式泵:耐粉尘、高轴扭矩,适合刻蚀工艺等产生颗粒物的场景。螺杆泵:粗低真空段抽气效率高,适合大工艺腔体预抽真空。罗茨泵:多级结构可提升真空度,常与螺杆泵或爪式泵组合使用。适用场景:半导体制造、光伏产业、平板显示等对无油污染要求高的领域。优势:抽速范围宽、无油污染、耐腐蚀、能耗低,适用于腐蚀性气体或粉尘颗粒物的抽取。类型选择:案例:半导体制造中,L/L腔(进出样品腔)多采用多级罗茨泵,工艺处理腔则以罗茨+爪式干泵或多级罗茨干泵为主。分子泵涡轮分子泵:工业领域应用广泛,与机械泵联用可提升抽速。磁悬浮分子泵:半导体领域规模较大,无摩擦、寿命长。适用场景:高真空度需求,如半导体制造、真空镀膜、空间模拟实验。优势:通过高速旋转转子将气体分子排出,可获得极高真空度(达10⁻⁹ Pa),且对大多数气体抽取效果好。类型选择:案例:在半导体工艺处理腔中,分子泵常与干泵组合,实现低压下高抽速。低温泵适用场景:超高真空环境,如超导材料研究、低温物理实验。优势:利用低温冷凝原理,可获得极高真空度(达10⁻¹² Pa),且无油污染。限制:结构复杂、成本高,需定期释放和再生,市场规模较小(约占半导体真空泵的10%)。案例:在电...
2019 - 10 - 29
1.真空泵的工作压力应满足真空设备的极限真空和工作压力要求。例如,如果真空干燥过程要求工作真空度为10 mmHg,真空泵厂家所选真空泵的真空度应至少为2 mmHg,最好为1 mmHg。通常将泵的极限真空度选择为比真空设备的真空度高一半数量级。  2.正确选择真空泵的工作点。每个泵都有一定的工作压力范围,例如:2BV系列水环真空泵的工作压力范围为760mmHg〜25mmHg(绝对压力),在如此宽的压力范围内,泵的抽速随压力而变化(详细变化)泵性能曲线) ,其稳定的工作压力范围为760〜60mmHg。因此,泵的工作点应在此范围内选择,并且不应在25〜30mmHg的条件下长时间工作。  3.在工作压力下,真空泵应能够清除真空设备过程中产生的所有气体。  4.正确组合真空泵。由于真空泵具有选择性泵送功能,因此有时一个泵无法满足泵送要求,因此需要组合多个泵以相互补充才能满足泵送要求。例如,钛升华泵对氢的抽吸速度很高,但是不能被抽吸,而三极溅射离子泵(或两极非对称阴极溅射离子泵)对于氩气则具有一定的抽吸速度。当结合使用时,真空装置将具有更好的真空度。另外,有些真空泵不能在大气压下工作,需要预真空。一些真空泵的出口压力低于大气压,因此需要前级泵,因此必须将这些泵组合在一起。  5.真空设备对油的污染要求。如果严格要求设备无油,则应选择各种无油泵,例如:水环泵,分子筛吸附泵,溅射离子泵,低温泵等。...
2019 - 11 - 05
今天给大家介绍一下水环真空泵的一些知识,包括管道布置注意事项及加适量水的原因.有兴趣的可以阅读一下.       一,水环真空泵加适量水  水环真空泵中装入水作为工作流体的适当的量。当叶轮顺时针旋转时,水由叶轮周围抛出,离心力,一个闭合的环形形状,通过泵室的厚度确定的水形成近似于等。水环的内表面的下部与轮毂,刚好接触表面(实际上,叶片进入水中环的插入一定深度)和水的上部的叶片尖端正好相切环。此时,叶轮轮毂,以形成环和水之间的月牙形空间,并且这个空间被划分成相等数目的叶轮叶片和若干小室中。  如果叶轮0°为起点的下部,则水环真空泵叶轮的体积被旋转在从小到大的小室的前面180°,并且与进气口的端面连通,气在此时被吸入,当来自小腔和进气口分离吸入的端部;当叶轮继续从大至小的旋转,小室中,水环真空泵,使得气体被压缩;当小室与排气口连通,该气体被排出泵外。  第二,水环真空泵管结构的设计考虑  1,最大水环真空泵和压力管件可承受放电应予以考虑。  2,水环真空泵的管道应该被布置为直管,以最小化管道配件和最小化管道的长度,则必须将导通时弯曲的弯曲半径应管的三到五倍的直径,以使角度可能大于90℃。  3,合理选择水环式管的直径,大直径管,在相同的流速,流速小,阻力损失小,但价格高,体积小口径管道,导致电阻损失急剧增加,所以所选泵的扬程增...
2019 - 11 - 07
水环真空泵抽真空的原理  水环真空泵是以泵转动部分的机械作用排除泵体内气体,其工作原理为:偏心轮安装在充有适量工作水的椭圆形泵体内,带有若干前弯叶片的转子在泵体内旋转时,形成水环并在叶轮轮毂与水环间形成一个新月形空腔,转子每转动1周,转子上2个相邻叶片与水环间所形成的空腔,由小到大、再由大到小作周期性变化。当空腔由小变大时,产生真空,经进气口吸入气体;由大到小时,产生压力,气体被压缩并经排气口排出。由于每个相邻叶片与水环所构成的空腔均处于不同的容积变化过程,所以当转子转动时,泵的吸排气均为连续、不间断过程。  水环真空泵选型  1、应尽量选择转速较低的规格  我国水环真空泵的使用最可能是2BE 系列,属轴向吸排气单作用泵,关于同一个规格都有多种转速供抉择,当进口压力在200 hPa~600 hPa,排气压力为800 hPa~1013 hPa 时,叶轮叶片外圆的线速度应为14~17 m/s ,较大规格的泵因为叶轮直径大是以转速较低,所以在达到同样抽气量的前提下,应尽量选择转速较低的泵,大泵消耗的比功率较小,即效率较高。  2、应考虑水温的影响  因为海内外水环真空泵的手艺文件上的功能曲线及技术数据均是在进水温度为15 ℃的前提下得出的,前面也已经介绍了水温低于或高于15 ℃时水温对气量的影响系数计算公式。  3、吸气阻力的影响  由于煤气的吸风口经常在井下且远离水环真空泵(一些煤矿达...
2019 - 11 - 08
旋片真空泵/压缩机用于混合罐的“充气垫”中,以产生高于流浆箱(或“原料罐”)原料水平的压力/真空,从而最大程度地控制物料排量(“喷雾”速度)。泵通常通过一系列阀,充当真空泵和压缩机,在“进料池”上方的空隙中产生真空或压力,以控制流浆箱的静压头接下来,分析渣浆罐的作用以及在渣浆罐中使用旋片真空泵时需要注意的问题。  调浆箱的定义和作用是什么?  定义:混合箱是一个敞开的方形箱,放置在储罐和除砂器之间,以调节送至造纸机的纸浆量。  流浆箱旋片真空泵的作用  1、调整发送到造纸机的纸浆量,以使定量稳定。  2、调整纸浆浓度。根据要添加白水稀释液的纸张,很适合除砂和筛分,并且将纸张均匀混合以制成均匀的纸张。  深圳旋片真空泵的特点  旋片真空泵具有体积小,重量轻,噪音低,启动方便的优点。此外,还有防止回油的措施和防止溢油污染现场的措施。  1、旋片真空泵是获得真空的基本设备。它可以单独使用,也可以用作各种高真空系统的前置泵和前置泵。它是罗旋片真空装置。  2、旋片式真空泵的入口持续向大气开放,不超过3分钟。  3、该泵不适用于去除含有对金属有腐蚀性且对泵油具有化学反应性的粉尘的气体。气体中氧气过多,易爆炸。  4、旋片真空泵可用作压缩泵或输送泵。  将稀释方法与白水和泵结合使用时,应注意什么?  1从混合罐到渣浆泵的管道不应水平安装,并应有一定的倾斜度以防止纤维沉淀。  2混合箱的泥浆阀的...
2019 - 11 - 12
在冷凝式发电厂中,大多数将使用旋片真空泵作为冷凝器抽水设备。今天,我们将介绍旋片真空泵在冷凝式发电厂中的应用。为什么夏天可以大大改善冷凝水?随着小编的加入,机组的真空度和经济性将得到改善。  旋片真空泵的结构是什么?  旋片真空泵主要由泵体,转子,旋片,端盖,弹簧等组成。转子偏心地安装在旋片泵的腔体中,转子的外圆周与泵室的内表面相切(两者之间有很小的间隙),并且两个转子叶片安装在转子中插槽。旋转时,旋片的顶端通过离心力和弹簧的拉力保持与泵室的内壁接触,转子的旋转带动旋片沿泵的内壁滑动。泵室。旋片式真空泵是真空技术中最基本的真空采集设备之一。旋片泵主要是中小型泵。旋片式真空泵有单级和双级两种。所谓两级是指串联连接两个单级泵。通常,将其分为两个阶段以获得更高的真空度。旋片真空泵可以去除密封容器中的干燥气体,如果安装了气镇装置,则可以去除一定量的可冷凝气体。但是,它不适用于去除氧气含量过高,对金属有腐蚀性,对泵油具有化学反应性并且含有粉尘的气体。  真空真空泵是两级直接耦合结构。其工作性能包括两个部分:高压阶段和低压阶段。其吸气口与真空设备相连。在操作过程中,容器中的气体将被大量吸入和排放。抽真空时,关闭高压排气阀,将在高压段吸入的气体转移到第二段并通过第二段吸排,使真空设备获得一定的真空度。泵的技术参数为6 × 10-2,泵与电机连接在轴上,转速高,体积小,结构紧凑,流动性方...
2019 - 11 - 14
水环真空泵运行时,必须使用滤芯滤芯。它可以用来过滤一些杂质等,并阻塞设备内部的杂质。设备损坏。市场上广泛使用三种滤芯元件,但是无论使用哪种滤芯,使用时都需要清洁。这是小型来看看水环真空泵滤芯的分类及其清洁方法。  一、水环真空泵滤芯分类  1、进气滤芯  它主要用于防止固体颗粒或细灰进入真空泵内部,同时避免机器磨损并确保设备在运行期间处于相对稳定的状态。可以同时保护设备内部的组件。用于定义的使用寿命。  2、油滤芯  该装置主要用于润滑油的过滤。它也被广泛使用。它通常安装在油路上,这对设备的运行也至关重要。  3、排气滤芯  它的功能比较广泛,使用时可用于排气阻力,也可用于水环真空泵的油分离,使设备处于相对稳定的状态。  二、水环真空泵滤芯清洁方法  1、首先,需要在清洁之前设置滤芯的压差并记录下来。  2、用苛性钠清洗。将滤芯放入清洁车中。需要将清洁试件悬挂在腐蚀试件上以检测过滤液的腐蚀。如果腐蚀严重,需要及时进行调整。否则,滤芯可能会损坏。在清洁过程中,有必要清洁滤芯上多余的油污和积炭,并将温度升至90至105°C,这也可以起到消毒作用24-48小时。  3、碱洗后,将滤芯放入CCL清洗车中,清洁滤芯上的沥青质和焦炭粉,然后在室温下洗涤20小时和24小时。确保将清洗液清洗到滤芯的每个位置。  4、清洁后检查。必须使用30倍放大镜枪检查每个滤芯的内部和外部以及表面清洁度...
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2022 - 01 - 11
深圳恒才机电设备有限公司,专注于真空泵领域,专业提供真空解决方案。针对PET透明片材挤出真空设备使用现状,PET片材透明度低、有气泡、片材脆、真空度不够等问题,深圳恒才机电真空泵厂家设计了罗茨水环真空机组(PET真空机组),由一台水环泵+两台罗茨泵串联而成。罗茨真空泵:采用三叶罗茨泵,每转动一圈抽气3次,比二叶罗茨泵多了1次且多了一个密封点;机械密封+组合密封,能防止挥发气体进入油箱造成油乳化。水环真空泵:上偏心设计更节能,采用O型圈密封,消耗性零件少,使用寿命长,只需热水清洗,维护简单。罗茨水环真空机组应用于PET片材挤出行业的优势在哪里?1、真空度可稳定达到-100kPa至-101kpa,完全满足高品质塑胶片材要求;2、独特的闭环设计,无需排水、过流部份无需用油,运行成本低;3、噪音低至70分贝,改善现场环境;4、安装简单,只需把冷却水、压缩空气、电源、排水接口对接即可使用。5、免维护,只需罗茨真空泵定期更换真空油;6、解决PET片材脆、片材发黄有气泡等问题,改善生产环保问题深圳恒才机电设备有限公司专注于真空泵领域,拥有自主品牌康斯顿(CNST),同时也是德国SPECK和瑞典Atlas Copco正式授权代理商。恒才机电提供真空、空压系统设计/安装及维护,为真空改造提供专业服务,为环保节能做出积极贡献。
2022 - 03 - 03
PET片材挤出之螺杆旋片罗茨水环真空机组的对比:我们从螺杆真空泵应用、油旋片真空泵应用、普通水环真空机组应用、配套的罗茨水环真空机组应用实际情况分析,讲述不同真空泵设备在PET片材挤出行业的不同现象。1、使用油旋片真空泵问题点:真空度在-101kPa左右;片材机磨具内温度高(在130℃左右),高温气体进到油旋片泵内,会造成油乳化,经常需要换油,油旋片泵运行到一定周期后速率及真空度会衰减,后期维修比较频繁,且成本高。2、配螺杆真空泵问题点:真空度可满足片材挤出工艺,但容易产生杂质黏住卡死,且螺杆真空泵价格昂贵,维护成本高,非专业人员无法维修,不是优选。3、使用普通的水环真空机组问题点:噪音大,无法简单的清洗,要用危险的酒精来清理,起火很难扑灭,罗茨泵更换频繁。4、罗茨水环真空机组--PET真空机组(1)真空度可达到-100kPa至-101kpa,满足PET片材挤出(2)闭环循环水设计,节约水资源,环保节能(3)70分贝低噪音运行,改善现场环境(4)维护简单,仅需罗茨真空泵定期更换油,水环泵可以不用专业人员都可以维修,成本低运行(5)可以用水清洗,无需酒精,安全操作(6)选配水浴式过滤器,可以很好的过滤油脂、粉尘深圳恒才机电设备有限公司专注于真空泵领域,拥有自主品牌康斯顿(CNST),同时也是德国SPECK和瑞典Atlas Copco正式授权代理商。恒才机电提供真空、空压系统设计/安装...
2022 - 04 - 21
罗茨真空泵排气滤芯的维护方法 在使用一段时间后,一些过滤的杂质保留在真空过滤器的过滤元件中。如果滤芯没有及时清理,压力会增加,变送器会提醒。罗茨真空泵排气滤芯采用特殊材料制成,容易损坏,需要维修,因此有必要清洁和清洁真空泵的排气滤芯。1.清洗: 清洗时,注意不要使滤芯变形或损坏,否则会影响再利用,降低过滤效率,甚至破坏整个系统。 2.更换:更水环真空泵换罗茨真空泵的排气滤芯时,必须提前准备好水盆和毛巾等用品。在真空泵过滤器上更换。风冷罗茨真空泵的结构原理与普通罗茨真空泵没有太大区别。泵的主出口与冷却器相连,冷却气体两侧的泵冷却转子。在这种结构下,罗茨真空泵的实现可以在大气压下直接启动并独立工作。独立的直接空冷罗茨真空泵约为1104帕,可串联获得下限压力。工作压力可达88千帕。深圳恒才机电设备有限公司的真空泵、真空系统在电子、半导体工业、制药工业、印刷行业、镀膜、橡塑成型、PET片材挤出、颗粒挤出、医疗器械等工业领域应用,恒才机电还提供真空解决方案、真空泵售后维修保养等一站式服务,更多真空泵信息,欢迎致电了解。
2022 - 05 - 18
干式真空泵干式真空泵是无油干式机械真空泵的简称。干式真空泵是一种不使用油、水或其他聚合物等流体作为工作介质的真空泵。这使得干式真空泵的清洁度更好,并防止油污染。因此,干式真空泵主要用于对洁净度要求较高的真空等离子清洗机,如半导体领域、生物医学领域和航空航天领域。真空等离子清洗机上最常用的干式真空泵之一是干式螺杆真空泵。干式螺杆真空泵干式螺杆真空泵是一种真空泵,它利用一对螺杆在真空泵壳体内高速同步反向旋转,从而产生作用力,实现抽吸和排气的功能。由于干式螺杆真空泵相互之间没有摩擦,运行平稳,噪音低,所以工作腔内不需要润滑油。干式螺杆真空泵是一种性能优异的干式真空泵,与其他真空泵相比有很多优点:第一,干式螺杆真空泵的极限真空度很高,最高极限真空可达到1-2Pa;第二,干式螺杆真空泵性能稳定,噪音低,故障率低,维护简单;第三,干式螺杆真空泵的一种工作腔和螺杆转子表面均有防腐涂层,可适应恶劣工况。深圳恒才机电设备有限公司专注于真空泵领域,是深圳真空泵生产厂家之一,拥有技术团队研发生产真空泵产品,所研发的真空泵(水环真空泵、罗茨真空泵、旋片真空泵、螺杆真空泵)、真空系统、真空机组等产品广泛应用于食品、制药、医疗、化工、家居、电子电池、水环境等行业,并为客户量身定制行业应用解决方案。
2022 - 06 - 17
使用真空泵要注意这两点,应用真空泵技术时,深圳真空泵生产厂家恒才机电认为有必要关注以下几个问题 1.产品的共晶点和共熔点 产品的共晶点是产品材料中的水分全部冻结时的产品材料温度,真空干燥技术的冻结温度参照材料的共晶点设定,为了使产品完全冻结,产品材料的冻结温度通常设定为比该共晶点低5~10。产品的共熔点是指冻结的产品从冰晶开始熔化时的温度罗茨真空泵。通常,在干燥食品材料时,加热温度不能高于产品材料的熔点。否则,会直接影响冻干产品的含水量和质量。 2.设定调整真空度维持干燥真空时的真空度的能量约占冷冻干燥总能量的1/4,真空度越低能量传递越有效,同时水蒸气的扩散阻力增加,能量消耗增加。在升华干燥过程中,必须根据冷阱温度优化最佳真空度。冷冻干燥机的真空度取决于捕集温度和真空泵性能。 深圳恒才机电设备有限公司是一家集生产,销售,售后服务为一体的销售性企业。公司主导产品有:水环真空泵,旋片真空泵,螺杆真空泵,罗茨真空泵,离心泵,高温油泵。公司通过与阿特拉斯、SPECK、NASH、CNST等国际知名品牌的合作。为客户提供多种真空设备和真空系统的设计、工程、售后等服务。
2022 - 07 - 21
片材挤出真空泵系统可以解决PET哪些问题呢?现有PET透明片材挤出面临哪些问题:1.粒料干燥不彻底,含水量超过0. 005%,片材出现气泡、发黄、杂质2.真空度低达不到要求,片材脆、流线压光不均匀3.真空度稳定性差,影响片材质量4.罗茨真空泵维修/更换频率高、维护成本高针对上述问题,恒才提出PET片材真空解决方案--罗茨水环真空机组,由一台水环泵+两台罗茨泵串联而成。罗茨真空泵:采用三叶罗茨泵,每转动一圈抽气3次,比二叶罗茨泵多了一次且多了一个密封点;水环真空泵:上偏心设计更节能,只需热水清洗,维护简单罗茨水环真空机组应用优势1、真空度可稳定达到-98至-101kpa,完全满足高品质塑胶片材要求2、独特的闭环设计,无需排水、无需用油,运行成本低3、噪音低至70分贝4、免维护,只需罗茨真空泵更换油深圳恒才机电设备有限公司,专注于真空泵领域,为客户提供专业真空设备及真空解决方案,康斯顿国产真空泵、阿特拉斯进口真空泵、司倍克水环真空泵、进口离心泵、真空泵售后维保等一系列真空服务。
2022 - 08 - 31
真空引水装置引水、真空排水系统的优势在哪里:1、抽真空成套装置配备了必要的控制阀门、仪表(真空表、电动阀等),能够自动控制水环真空泵的启动,水泵启动后自动撤出,可以实现自动和手动操作。控制功能由PLC控制系统实现。2、水环真空泵能采用卧式装拆、检修,为减少维修,真空泵采用直联式(机泵同轴)。3、装设柔性排气阀,能自动调节排气角,使泵在不同的吸入状态下都能高效运行。4、采用机械密封,机械密封采用国际知名品牌等,材质为石墨/氟橡胶/不锈钢。5、具有一定的抗汽蚀能力,叶轮采用铜材质。6、恒才真空引水装置的使用寿命不少于30年,真空泵组连续无故障运行时间为1年,其维修周期按5年考虑。7、设备的噪声水平遵守《工业企业噪声卫生标准》的规定,在距水泵外壳水平1.0m、高度1.2m处的噪音值不超过68分贝。8、真空引水系统、真空排水系统具有相应的防锈措施,几乎无需售后担忧。深圳恒才机电设备有限公司专注于真空泵领域,为客户提供专业抽真空装置,真空系统设计方案及安装真空系统维保等服务。真空引水装置是恒才主打项目之一,拥有多年的引水真空系统设计安装经验,几乎无需售后的真空引水机组。深圳恒才机电设备有限公司专注于真空泵领域,提供专业的真空设备、根据需要改造真空泵系统,提供真空解决方案、真空泵售后维修保养等一站式服务,更多真空泵信息,欢迎致电了解。
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常见的干式真空泵的工作原理

日期: 2019-11-28
来源:
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  关于干式真空泵,有很多类型,干式,无油,爪形等。那么,您知道这么多种产品的工作原理吗?如果您不知道,请按照来看看的步骤进行操作,以了解常见的干式真空泵的工作原理!

常见的干式真空泵的工作原理


  1、干螺杆真空泵

  干式螺杆真空泵是使用一对螺杆在泵壳中进行同步高速反向旋转的抽吸装置。两颗螺钉非常平衡,并由轴承支撑。在壳体中,螺钉与螺钉之间有一定的间隙,因此在运行过程中泵之间没有摩擦,运行稳定,噪音低,并且工作室不需要润滑剂。因此,干式螺杆泵可以去除大量的水蒸气。在粉尘和气体较少的情况下,极限真空度较高,功耗较低,具有节能免维护的优点。它是油封/水环 /喷射真空泵的替代品。

  2、无油往复式真空泵

  通过使活塞往复运动来周期性地改变泵室(气缸)的工作容积来泵送空气的真空泵也称为活塞真空泵。往复式真空泵的结构类似于往复式活塞压实机。在运行期间,吸气口气管连接到抽空的容器,而排气口气管直接通过大气。往复式真空泵可用于真空蒸馏,真空浓缩,真空结晶,真空过滤,真空干燥和混凝土的真空操作。

  3、爪式真空泵

  爪式真空泵由多级转子组成,其中每一级有两个转子,两个转子沿相反方向旋转,吸入口与泵腔相连,泵腔的容积变大,空气被吸入当转子关闭吸气口时,吸气结束。将来,泵腔将变小,气体将被压缩。打开排出口时,泵腔将排空。关闭排气口后,排气将完成。

常见的干式真空泵的工作原理


  4、无油涡旋真空泵

  涡旋无油真空泵的涡旋是一个或几个渐开线螺旋,其一端连接到平面上以形成涡旋形的盘状结构。由静态涡旋和动涡旋组成的一对涡旋构成了无油涡流的基本泵送结构。例如,在两级涡旋无油真空泵中,有两个具有对应方向的固定涡旋,以及位于两个涡旋之间的滚动涡旋。动涡旋盘和静涡旋盘的相对运动构成了一个月牙形的真空腔,其容积不断变化,从而允许气体从吸气口吸入,并从排气口排出,从而完成排气装置循环。


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深圳恒才新型真空引水机组是一款集高效引水、智能控制与强大过滤功能于一体的先进设备,以下从核心配置、性能优势、应用场景及维护管理四个方面进行详细介绍:一、核心配置:德国工艺与智能控制的融合德国SPECK水环真空泵高效稳定:采用德国SPECK品牌水环真空泵作为主泵,利用水作为工作介质,通过叶轮旋转形成水环,实现气体的吸入、压缩和排放。其结构紧凑、运行平稳,适用于抽吸含水蒸气、腐蚀性气体或微小颗粒的混合气体,满足泥水、粉尘等复杂工况需求。耐腐蚀性强:泵体材质可选不锈钢或特殊合金,适应不同水质和化学环境,延长设备使用寿命。低噪音设计:通过优化水环形成与气体流动路径,降低运行噪音,改善操作环境。西门子触摸屏控制系统智能化操作:配备西门子触摸屏,实现设备启停、参数设置、状态监控、故障报警等功能的集成化操作。用户可通过界面直观查看真空度、流量、温度等关键参数,并一键调整运行模式(如手动/自动切换)。远程管理:支持与上位机或云端平台连接,实现远程监控与数据分析,提升运维效率。安全保护:内置过载、过热、缺相等多重保护功能,确保设备安全运行。二、性能优势:快速引水与高效过滤的双重保障1-3分钟快速引水高效抽气能力:水环真空泵在短时间内建立高真空度(通常可达-0.098MPa以上),迅速排除系统内空气,形成负压环境,实现快速引水。大流量设计:泵体流道优化,减少阻力损失,确保在引水过程中维持高流量,缩短引水时间。搅拌型过滤器配置直接过滤泥水混合物:过滤器内置搅拌装置,通过旋转叶片打散沉淀物,防止泥沙、粉尘等固体颗粒沉积堵塞,同时利用水环的剪切力将颗粒分散在水中,实现高效过滤。微粒状固体过滤:滤网精度可根据需求定制(如50-200目),有效拦截沙石、微粒等杂质,避免其进入泵体或管道,保护设备免受磨损。排水便捷:过滤器设计有反冲洗功能或快速拆卸结构,可定期清理滤网或排出沉积物,维护简单,降低停机时间。...
发布时间: 2025 - 07 - 23
高效抽气能力:旋片真空泵通过转子与旋片的协同运动,周期性改变泵腔容积,实现气体的快速吸入与压缩排放。其抽速范围通常为0.5-150升/秒,单级泵极限压力可达1帕,双级泵更可低至6.5×10⁻²帕,能满足电子晶圆吸附等工艺对真空度的严苛要求。结构紧凑设计:机组小车采用一体化撬装结构,将泵体、电控系统、过滤器等部件集成于紧凑空间内,占地面积小,便于在实验室或生产线灵活布局。其轻量化设计(如电机直联驱动)进一步减轻了设备重量,提升了便携性。移动灵活便捷:小车底部配备移动轮,支持快速搬迁与多工位切换,尤其适用于需要频繁调整设备位置的晶圆加工场景。部分机型还支持手自动模式切换,确保在PLC损坏等紧急情况下仍能维持最低限度运行。运行稳定可靠:旋片真空泵通过油膜密封与强制进油润滑设计,确保运动部件间的完美气密性与恒定润滑,同时减少有害空间对极限压力的影响。其内置的自动防返油双重保险装置与金属丝网粗过滤器,可有效防止油返入被抽系统与固体尘粒吸入泵腔,保障设备长期稳定运行。维护简便经济:机组小车结构简单,维护成本低。用户可通过定期检查油位、更换真空泵油(首次工作满150小时后换油,之后每500小时换油)与油过滤器、清洁进气口滤网等常规操作,确保设备性能。其低成本、高性能的特点使其成为空间有限或预算敏感场景的理想选择。安全防护完善:设备配备双重密闭系统(充气式电磁阀+机械止回阀)与排气过渡器,可防止气体倒流与油雾排放,避免晶圆污染或设备损坏。同时,其内置的吸气阀可在停泵时自动隔离泵与被抽系统,防止油返入被抽系统,保障操作安全。适应性强:旋片真空泵机组小车可单独使用,也可与其他高真空泵(如分子泵)组成真空机组,以应对不同工艺对真空度的差异化需求。例如,在晶圆键合工艺中,可先通过旋片泵快速抽至低真空,再切换至分子泵实现超高真空环境,提升工艺效率。经济性高:机组小车采用无油设计(...
发布时间: 2025 - 07 - 22
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