真空泵故障及方法
1.极限真空不高及其消除
(1) 油位太低，有较大排气声，可加入清洁的真空泵油。
(2) 泵油为可凝性蒸汽所污染，可开气镇净化或更换新油。
(3) 泵口外接管道、容器、测试仪表管道、接头等漏气。大漏时，有大排气声，排气口有气排出，应找出漏气部位，进行消除。
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(4) 进气咀或气镇阀橡胶密封图装配不当，损坏或老化，应调整或更换。
(5) 进油咀油孔堵塞，可拔出进油咀，疏通油孔。
(6) 真空系统严重污染，包括容器、管道等，应予清洗。
(7) 旋片弹簧折断，应予调换。
(8) 旋片、泵身或盖磨损，间隙过大，应进行检查，修整或调换。
(9) 泵温过高，应改善通风和冷却。如所抽气体温度太高，应予先冷却后再进入泵内。
2.喷油
(1) 油位过高，可入出多余油量。
(2) 减雾器中有泵油或杂物，应清除。
3.漏油
放油螺塞，油箱垫片损坏或装配不当，螺钉拧紧;
油标未拧紧，有机玻璃过热变形;
泵身部件与支座的连接挚垫片未垫好;
油封装配不当或磨损;应予调整或更换。
4.噪声
(1) 旋片弹簧折断，可调换弹簧。
(2) 有毛刺、脏物或变形，运转发生障碍，应检查修磨清洗。
(3) 轴承磨损，零件磨损。应修整或更换。
(4) 真空泵电机出毛病，应进行检查。
5.返油
(1) 止回阀未关好，停泵后，油位很快下降，可再开再停，观察变化或拆开检查。
(2) 两泵盖内油封装配不当或磨损，可进行调换。
(3) 泵盖或泵身平面不平整，可进行修整。
(4) 排气阀片损坏，应进行调换。