往复真空泵(简称往复泵)，又称活塞式真空泵，属于低真空获取设备之一。与旋片真空泵相比，它可制成泵速大的泵;与水环真空泵相比，效率略高。这种泵的主要缺点是结构复杂、体积大、运行时振动大等。它可以在许多场合被液环真空泵取代。
![往复真空泵工作原理]( "往复真空泵工作原理")
往复真空泵的工作原理：
如往复泵如图的结构和工作原理所示，主要部件是气缸1和活塞2，活塞2在气缸内做往复直线运动，活塞由曲柄连杆机构3(包括十字头)驱动。除上述主要部件外，还有排气阀4和吸气阀5等重要部件，以及发动机底座、曲轴箱、动密封和静密封等辅助部件。
工作时，气缸内的活塞在电机驱动的曲柄连杆机构的作用下往复运动。当活塞在气缸中从左端移动到右端时，由于气缸左室的容积不断增加，气缸中气体的密度降低，形成了泵送过程。此时，泵送容器中的气体通过吸入阀5
进入，以泵送主体的左室。当活塞到达最右边的位置时，气缸的左室完全充满气体。然后活塞从右端移动到左端，此时吸入阀5关闭。
随着活塞从右向左移动，气缸中的气体逐渐被压缩。当气缸中的气体压力达到或稍微超过一个大气压时，排气阀4打开，将气体排放到大气中，完成一个工作循环。当活塞再次从左向右移动时，重复前面的循环，泵送的容器最终达到某个稳定的平衡压力。
为了提高泵送效率，通常在气缸的两端设置吸气阀和排气阀，然后通过管道将气缸两端的吸气口和排气口并联。