1909年发明了旋片式真空泵，并于1936年发明了气镇泵。1941年，旋片式真空泵得到了广泛的应用和不断的改进。在20世纪60年代后期，国际上出现了提高速度和直接联系的趋势。在20世纪70年代早期，出现了一系列直连产品。在20世纪80年代早期，推出了一系列改进的产品，并为用户提供了多种选择。附件可以保护泵或保护环境，并且泵本身的结构得到改进，以提高可靠性。
![旋片真空泵]( "旋片真空泵")
在旋片真空泵的结构中，为了在泵停止时防止回油，一些设置有能够自动切断油路的止回阀，并且一些设置有进气通道截止阀，并且一些用于打开泵。当城镇突然运行时，气路自动切断，使泵口保持真空状态，并提供油泵和控制结构。在配件方面，有除雾器，气味过滤器，用于阻挡碎片的人口过滤器，如碎玻璃，灰尘过滤器，蒸汽冷凝水箱，化学捕集器和控制泵温度，以提高水蒸气去除率并保护泵。温控水量控制阀。在20世纪80年代末和90年代初期，推出了一种油过滤器，一种能够监测油温，油压，油质等的电子显示器，甚至可以连接计算机进行自动控制，使用强制润滑和空气冷却制造泵连续工作入口压力为10 kPa甚至更高，因此同一泵的应用范围更大。
双级旋片式真空泵，可广泛应用于冰箱，空调，灯泡，荧光灯，瓶衬生产及电子，冶金，医药，化工，油过滤器，印刷机械，包装机械等行业，均可使用作为扩散泵，罗茨泵和分子泵用于支持和实验研究应用，如电子仪器和医疗仪器。由于直接耦合泵不会因皮带摩擦而产生粉尘污染，因其体积小，重量轻，节省材料，功能完善而得到广泛应用。
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噪音的原因和减少措施
旋片真空泵的噪音通常是指当温度稳定时，泵在极端真空下测量的噪音水平。它包括泵本身的噪音和电机的噪音。它还关注启动阶段的噪音，当泵温度不稳定时，不同入口压力下的噪音，以及开放天然气镇运行期间的噪音。因此。有许多因素需要考虑。
就声音的位置而言，真空泵的噪音具有以下可能的方面：
（1）旋片对气缸的影响，泵的剩余容积和排气死区内的压力油的声音;
（2）排气阀板对阀座和支撑件的冲击;
（3）盒子里的回声和泡沫破裂;
（4）轴承噪音;
（5）大量油气冲击导油板引起的噪声;
（6）其他。如变速器引起的噪音，风冷泵的风扇噪音等。
（7）电机噪声，这是一个关键因素。