螺杆真空泵是容积式真空泵的新成员，出现于上世纪90年代前后，发展缓慢。 但是，作为理想的干式泵，螺杆真空泵问世后，得到了迅速的发展。 现在就来理解一下小编和基本知识吧!

　　一、螺杆真空泵特点

　　螺杆真空泵起源于螺杆式压缩机和螺杆式液体输送泵，是容积式真空泵中理想的干式真空泵。 由于能够清洁无油真空环境，对含有腐蚀性气体、凝缩性蒸汽、粉尘粒子的气体有很强的适应性，在电子半导体、制药、石油化学等清洁真空环境的要求严格、气体成分复杂的行业中，螺杆真空泵受到欢迎，是传统的油封机械泵、液体环泵的模型

　　螺杆真空泵通过一对非对称螺杆转子的相对运动，周期性地改变齿间容积来输送气体，实现抽出的目的。 这些特征包括：

　　1、清洁无油，多相混输，适应性广。 螺杆真空泵转子之间有严格的间隙，泵室内无油，能吸入腐蚀性气体、有毒及粉尘、凝结性蒸汽等复杂气体。

　　2、结构简单，动平衡好，可靠性高。 螺杆真空泵零件少，核心零件没有易损件，没有不平衡惯性力，运转可靠，寿命长。

　　3 .结构简单，零件少，操作、维护简单。

　　4、强制输送空气，能在大压力范围内保证大的吸引速度，排气量几乎不受排气压力的影响。

　　二、螺杆真空泵的结构

　　螺杆真空泵一般为双轴结构。 螺杆真空泵是经由一对非对称螺杆转子在泵室同步、高速反转，使齿间容积周期性地变化而产生进气和排气作用的排气设备。

　　其主要结构有螺杆转子、轴承、泵体、密封件等。 螺杆转子经精密动平衡校正，支承在轴承上，安装在泵室，螺杆与螺杆之间保持着严格的一定间隙。 泵工作时，彼此没有摩擦，工作顺利，噪音低，室内不需要润滑油。 因此，螺杆真空泵在能够吸引含有大量水蒸气和粉尘的气体的情况下具有极限真空高、功耗低、节能、免维护等优点。

　　螺杆真空泵主要结构

　　从上图可以看出，螺杆真空泵在结构上很简单。 形式上，根据螺杆真空泵有卧式和立式区别的螺杆转子型生产线，分为单头螺杆真空泵和多头螺杆真空泵。单头螺杆真空泵根据转子的间距，等间距螺杆。

　　多头型线可以在一个导线内完成进气、压缩、排气的过程，导线少，能有效减少泵的体积和重量，适用于大吸引速度区域，但其型线复杂，需要特殊工具和专用机床，加工费用高，而且由于三角泄漏的原因，真空度不高，所以在市场上

　　单头型生产线适用于小型螺杆真空泵，市场上单头式真空泵也很多。 其中等间距螺杆真空泵室内没有压缩，可以简单地排出固体粒子和凝缩性气体，但排气温度和能量消耗度高的可变间距螺杆真空泵室内有压缩，排气温度低，能量消耗低，但对粉尘粒子和凝缩性气体的耐性等间距差。

　　三、螺杆真空泵的工作原理

　　由于是由螺杆式压缩机产生的，所以螺杆真空泵的工作原理也与螺杆式压缩机相似。 我们用近似的多线描述。

　　1 .进气过程

　　a .进气过程开始

　　b .进气中

　　c .进气过程结束

　　2 .压缩过程

　　a .压缩过程开始

　　b .正在压缩

　　c .压缩过程结束排气开始

　　3 .排气过程

　　a、排气中b、排气中结束

　　螺杆真空泵的排气过程。 齿间容积与排气口连通后，排气过程开始。 随着齿间容积的缩小，有排气压力的气体通过排气口排出。

　　四、螺杆真空泵的应用

　　螺杆真空泵不仅适应性宽，而且能在苛刻的条件下排气，同时能实现高真空度(0.1~1Pa )。 因此，随着半导体、石油化学行业的迅速发展，螺杆真空泵作为理想的干式泵开始广泛应用于电子半导体、医药化学工业领域，如半导体行业的蒸镀、蚀刻、医药化学工业行业的蒸馏干燥、中间体、溶剂回收、石油气回收等。

　　由于型线技术和加工成本，螺杆真空泵厂家的购买费用比较高，但从长期来看，其宽度适应、高效节能环保特性和低故障修理率，在运行周期内能给企业带来较高的综合利益和社会环境利益，使用的更广泛性是未来的趋势。