真空系统是真空泵、真空计以及各种部件经由配管适当连接，以达到一定的真空度的装置。 真空系统的基本要求是什么?

　　1.在被吸引设备或工作室内得到必要的极限真空和工作真空度

　　极限真空度是指设备没有泄漏时到达的真空度，动作真空度是指设备进行真空处理时能够维持的真空度。 真空处理时多释放大量的气体，此时的工作真空度显着低于极限真空度。 极限真空度和工作真空度分别重要，从不同的方面影响器件的质量。 例如，在使用氧化物阴极器件的排气真空系统中，大量排气电10-2极脱气和阴极分解，如果工作的真空度差，则有可能导致电极被氧化，阴极不被活性化的结果。 但是，当器件最后被密封时，几乎没有气体泄漏，器件内的真空度取决于排气真空系统的极限真空度。

　　2.为了得到某工作的真空度所需要的时间

　　这个时间由真空系统的吸引速度的大小决定。 加快速度就可以缩短这个时间。 大工作室显然需要很大的速度。 工作室可能不大，但是泄漏气体很严重，真空系统也需要很大的吸引速度。 否则，大量的泄漏气体会大大降低真空度，系统将无法工作。

　　3.提取的设备和工作室内有适当的残留气体成分

　　实践证明，单纯提高极限真空度和工作真空度是不够的，残留气体成分也有一定的要求。 例如，为了在一年的寿命中抑制灵敏度的降低，真空摄像装置要求在能够承受装置内的残留气体的氧量为10-2Pa以下的高压的真空开关管内不包含烃分子等。 真空系统的残气成分，如果系统没有其他气体源，主要取决于泵的特性。

　　4.真空系统需要结构简单、性能可靠、操作维护容易、价格便宜等

　　要满足这些要求，必须从泵的选择、管道尺寸的确定和配置、装配工艺等多方面进行综合考虑。 这些基本要求总是相互关联的。 例如，真空系统总是有微小的泄漏现象，所以采用吸引速度大的泵的话，比吸引速度小的泵能得到更好的工作真空度，但大的泵价格高，水和消耗电力多，所以存在合理选择的问题。 机器和小型真空系统应该选择小型真空泵，成本低，效率高，噪音小。 有些用户选择流量大的工业真空泵是不合适的。

　　5.自动化要求

　　随着计算机技术的发展，用户对真空系统的自动化要求也在提高。 在真空系统中，自动控制主要是真空泵流量和真空度的调节。 真空度多通过调节真空泵流量，安装节流阀、安全阀来控制。 由于节流导致能量损失大，会产生多馀的噪音，所以最好直接调节真空泵的转速。 工业真空泵的调速方法有多种，主要分为两种。 第一种是电机的转速不变，用附加装置改变真空泵的转速，例如变速器调速，第二种是直接改变电机的转速，例如晶闸管串联调速、变频调速等。 目前工业真空泵常用的方法是变频调速，节能效果好，能实现无级调速，调速比大，调速准确，速度稳定。

　　适用于小型真空泵系统的微真空泵，以往主要采用降压调速，但降压运行的优点有利于延长泵和马达的寿命。 如果泵的负荷大，降压后马达无法启动，马达温度上升，容易发生安全问题。 目前，最先进的国产“气海”调速微真空泵配置了进口无直流电机，具有PWM (脉冲宽度调制)线，可以简单可靠地调节流量，输出电机转速反馈信号(FG )，可以实时监控电机情况，实现自动控制具有完全的自我保护功能，可以在泵的固定、过热等意想不到的情况下自动停止。 调速微真空泵是小型真空系统自动化的理想选择。

　　总而言之，在气密性良好的真空系统中，如果总是没有排气，内部也没有蒸汽源，就可以采用小的、极限真空度好的泵。 但是，在系统漏气很多的情况下，必须用提高吸引速度的方法来确保工作真空度。 在这种情况下，采用大吸引速度的泵，尽量增大配管的传导，选择短而粗的配管。