咨询热线 HOTLINE
400-862-5533
13928410990
行业资讯 了解行业的最新资讯
2025 - 04 - 23
在塑胶造粒行业中,干式无油真空泵凭借其独特的技术优势,已成为提升生产效率、保障产品质量、实现绿色制造的关键设备。以下从集中抽真空、粉尘处理、环保合规、真空性能四大核心优势展开分析:一、集中抽真空:多产线协同,资源高效利用优势说明多产线联动:干式无油真空泵可同时连接多条生产线,通过集中式真空系统实现统一抽真空,减少设备重复配置,降低初期投资成本。动态调节:支持变频控制,根据不同产线的真空需求实时调整抽气量,避免资源浪费。案例:某塑胶企业采用集中抽真空系统后,真空设备数量减少30%,能耗降低25%,同时提高了产线切换的灵活性。价值体现提升设备利用率,降低单位产量的能耗成本。简化设备维护管理,减少停机时间。二、粉尘处理:干式过滤,免人工维护优势说明干式过滤技术:内置高效滤芯或旋风分离装置,直接拦截塑胶粉尘、挥发物等杂质,避免粉尘进入泵体造成磨损或堵塞。零人工清理:滤芯寿命长(可达数千小时),支持在线反吹或脉冲清灰,无需停机人工清理,降低劳动强度。对比传统油封泵:油封泵需定期更换油品并清洗油路,否则油品易乳化失效,导致粉尘排放超标。价值体现保障真空系统稳定运行,减少非计划停机。降低粉尘污染风险,符合职业健康安全标准。三、环保合规:无油无水,零排放优势说明零油污染:干式设计彻底杜绝油雾、油蒸汽排放,避免塑胶颗粒表面油斑、异味等问题,提升产品纯度。无水消耗:无需冷却水循环,减少水资源浪费及水处...
2019 - 10 - 25
罗茨真空泵广泛用于化学,食品和制药行业中的冶炼,脱气,真空冶金轧制以及真空蒸馏,真空浓缩和真空干燥。真空泵配件是用于真空泵噪音管理的真空泵消音器。罗茨真空泵应用这么广泛,它的操作方法大家应该熟记于心,下面我们再来看看它的操作方法,小伙伴们可要记住啦!  一,罗茨真空泵操作准备工作  1.操作员必须阅读产品说明手册。  2.在使用产品之前,请确保长时间没有产品因环境因素引起的影响。  3.如果在工作期间发现异常噪音和振动,请停止操作。  4.电气设备外壳必须接地或连接到零。  二,罗茨真空泵操作开始前的准备  1.检查水泵(前级泵)的水位是否达到水箱的3/4。如果不足,请补上。  2.检查水箱中使用的水是否干净。禁止使用含沉淀物的污水,以免堵塞管道,增加泵叶轮的磨损,增加电机造成的负荷,并影响水泵的使用寿命。  3.检查中间泵和主泵中润滑油的油位。它必须达到油窗的3/4。检查润滑油的颜色。如果乳白色或黑色杂质更多,请通知机器以更换润滑油。  4.检查中间泵和主泵循环冷却水通道是否完好,打开循环冷却水的进,出口阀,检查循环冷却水的进,出口是否正常。  5.检查中间泵底部缓冲罐的排水阀是否关闭。  6.检查真空泵机组的电路是否完好,控制柜的说明是否正常。  7.检查真空泵机组电极接触压力表的中间泵和主泵的启动压力是否正常(中间泵的入口压力大于0.065Mpa,主泵的入口压力大于0.065...
2019 - 11 - 05
真空泵的作用是从除了气体分子的真空室抽真空,以减少在所述真空室中的气体压力,以便达到所需的真空度。广义地从大气中高真空具有大的范围内,到目前为止还没有一个真空泵可以覆盖该范围。  因此,为了实现不同的产品的过程指标,和工作的设备的工作寿命要求效率,不同的真空部分需要选择真空泵的不同的配置。  为了获得最佳的配置,选择了真空系统,真空泵的选择应考虑以下几点:  1,真空泵的最终压力应满足工艺的操作压力。通常选择的泵压力低于极限过程需要约一个数量级的。  2,每个泵具有一定的工作压力范围内,因此,泵的工作点应该在此范围内选择,但不能得到它的工作的允许工作压力以外长时间。  3,在其工作压力的真空泵,应能排走设备过程中产生的真空的总气体量。  4,选择真空机组:  (1)当一个不能满足排气泵和真空要求,它需要多个泵组合,以满足工艺要求相互补充。  (2)一些真空泵不能在大气压力下工作,需要预先真空;一些泵出口压力低于大气压,前级泵所需的泵需要组合使用古都。通过结合使用真空泵,我们称之为真空泵机组,它能使真空系统得到较好的真空度和位移。我们应该选择真空泵,真空泵的正确组合,因为不同的气体对泵送要求不同的要求,例如:一般罗茨 - 不适用于旋转叶片机系统包含更多的冷凝性气体。  5,当你选择一个泵的密封,你应该先找出如果油污真空系统的要求。如果无油设备的严格要求,应选择各种无油泵,如:水环泵,...
2019 - 11 - 06
在人们的通常意识中,工业行业中的机械设备通常都是可以单独使用的,就有很多客户对于罗茨真空泵不能单独使用的问题询问了我们,大家都充满了疑问,那么,导致其不能单独使用的原因是什么呢?详细分析如下。  罗茨真空泵一般在使用的时候,需要配置前级泵,可以起到提高抽速和真空度的作用。  工作条件:该真空泵的启动一定要待前级泵抽到罗茨泵的允许启动压力时才可启动,直接启动或者未达到气压要求启动,将会导致泵负载过大,烧毁电机。  这种泵的启动压力为其较大压差的1.5倍左右。如:罗茨真空泵的较大压力差是6000pa=60mbar,那么,它的启动压力就是水环泵将系统压力抽到90mbar时才可启动,如果前级泵为水环泵,为了防止水环泵的循环水反流进入罗茨泵的油箱,那么,罗茨泵和水环泵之间就一定要安装止回阀。  相信从以上的工作条件中就能让你们了解到罗茨真空泵不能单独使用的原因了,它在工作过程中一定要与前级泵相互配合,才能保证正常安全地工作效果。同时我们也要注意,罗茨真空泵在工作过程中的启动压力也是十分重要的,一定要控制好。  好了现在罗茨真空泵的不能单独使用的原因也找到了,那我们就来介绍一下罗茨水环真空机的工作原理  对于较高的罗茨水环真空机组不能直接排放大气,例如直接排气会导致罗茨水环真空机组的吸气口和排气口压力差太大,从而使罗茨真空泵超负荷,例如简单地增加020 -2电动机的电源将导致罗茨水环真空机组过...
2019 - 11 - 08
光伏是太阳能光伏系统的缩写。它是一种新型的发电系统,利用太阳能电池半导体材料的光电效应将太阳辐射能直接转换为电能。它是一种可再生资源。  近年来,光伏发电是国家鼓励的绿色电力发展能源项目。光伏的普及在环境保护中起到了非常好的作用。按年发电量2224万千瓦时计算,年均节约7398.7吨标准煤,减少二氧化碳排放量约22353.1吨,减少二氧化硫排放量672.6吨,减少氮氧化物排放量336.3吨,环境效益非常明显。  光伏发电与真空泵之间有什么关系?  晶体硅,CdTe,CIGS或硅薄膜技术的各种工艺用于生产捕获日光并将其转换为能量的光伏电池,这与真空技术的发展密不可分。从拉晶硅到太阳能电池的生产,再到太阳能电池组件的层压,在制造过程中不可能没有真空。无论是专注于结晶还是薄膜涂覆,都没关系,提供量身定制的真空解决方案是光伏生产的关键因素。  太阳能电池层压工艺包括在连接前后保护板的同时包装太阳能电池。为了获得最佳效果,干式螺杆真空泵可提供真空抽速,是此应用的理想选择。  该膜是一层材料,其厚度范围从纳米到几微米。在过去的几十年中,薄膜技术得到了改进,需要可靠的产品才能达到最佳质量。对于薄膜沉积工艺,可以使用高性能的干螺杆真空泵来提供一流的真空设备,以满足该应用的要求。  进口干螺杆真空泵的性能特点  1、工作室中没有介质可以产生干净的真空。  2、工作室和螺杆转子的表面均涂有防腐涂层,以...
2019 - 11 - 12
概述螺杆真空泵设备是一种大批量产品,它是真空工程必不可少的基本组件。近年来,随着真空技术应用的不断扩大,各种螺杆真空泵设备的增长也非常迅速。为了满足真空应用发展的需要,特别是老产品不断更新,新产品不断出现,真空设备的开发进入了一个新时代。其特点是:减少泵的振动和噪音,提高长期运行的可靠性,处理大量的可凝性和挥发性气体,减少能耗和运行成本,消除废液处理和环境污染;需要耐腐蚀,耐灰尘和清洁,无油的真空环境。  根据上述要求,获得真空,以使设备制造商不断改进旧产品的特性。例如,滑阀泵具有抽速大,性能稳定和耐用的特点,但是其运动部件的惯性力和惯性矩引起的振动一直引起人们的关注。 罗茨泵在清洁或腐蚀过程中的应用在半导体,平板显示器,薄膜太阳能电池和其他工作条件非常恶劣的行业中,大多数设备都使用由罗茨真空泵和干式螺杆真空泵组成的真空装置。一方面,可以减小干式螺杆真空泵的尺寸,可以提高中真空范围内装置的抽速,并且可以将极限真空度提高一个数量级。  根据罗茨泵的泵送机构,原则上应无油,但是罗茨泵的转子必须由轴承和精密同步齿轮支撑,这需要润滑系统。当真空系统去除腐蚀性气体或蒸气时,润滑油也可能被腐蚀。  该密封件具有五点机械密封件,也就是说,除了电动真空机输入处的机械密封件外,其他四个机械密封件也用作泵室和燃油箱之间的密封件。完全机械密封的罗茨真空泵特别适合工艺气体具有高腐蚀性的应用。为了防止腐蚀,...
2019 - 11 - 13
进口真空泵作为一种基本的抽气装置,在各个行业中都有广泛的应用,其类型众多,无论是在生活中还是在生产过程中,真空泵用户都钟爱该领域,包括塑料机械,农药化工,染料化工,制砖机械,低温设备,造纸机械,制药和化工,食品机械,工业电炉,电子工业,真空设备,石油化工,冶金,采矿和地基处理等,由于其结构简单紧凑,因此对抽气中的粉尘和水蒸气不敏感,因此它在石油产品中起着重要的作用。小编通过本文引导大家了解进口真空泵在石油产品中的应用。  什么是石油?石油是易燃的液体矿物,在公元初期被中国劳动人民发现并使用。颜色主要是黑色,棕色或深绿色,偶尔是黄色。通常,油比水轻。石油的密度大部分为0.77至0.96 g/cm3。石油是碳氢化合物的复杂混合物。在石油的成分中,碳含量为约84-85%,氢含量为约12-14%,并且存在少量的包含硫,氧和氮的有机化合物。另外,在石油中发现了少量的铁,镍,铜,铅,钒,砷,镁,磷,钾,硅,钙,锰和其他元素。  石油产品通常是指通过炼油厂加工获得的各种产品。  进口真空泵的结构特点,主要有以下几点:  1、在较宽的压力范围内有较大的抽速;  2、转子具有良好的几何对称性,故振动小,运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙,不用润滑,摩擦损失小,可大大降低驱动功率,从而可实现较高转速;  3、真空泵腔内无需用油密封和润滑,可减少油蒸气对真空系统的污染;  4、真空泵腔内无压缩,无排...
最新资讯 了解公司的最新活动及打折促销
2023 - 05 - 19
橡塑挤出机配套用什么真空设备?该怎么挑选真空泵应用于挤出机?先来看看许多橡塑行业挤出机使用遇到的问题:你是否遇到过以下问题:橡塑挤塑机配套真空设备,使用液环泵系统产生大量废水,导致污染环境;使用螺杆真空泵,原材料过脏,导致油泵泵体内部卡死;使用干泵遇到树脂蒸汽凝结卡死,无法现场维修,返厂费用过高等问题。遇到这些问题,深圳恒才机电设备有限公司也有对应的真空解决方案。根据我们给客户做的真空改造方案反馈,推荐使用罗茨水环真空系统,主要由司倍克水环真空泵+康斯顿三叶罗茨真空泵组成,还可以根据实际情况配备水箱等,而真空泵机组参数、真空泵选型均是根据用户真实需求而定。罗茨水环真空系统应用于挤出行业的优势:罗茨水环真空系统为闭循环水设计,上偏心运作,更节能省水省电,且不锈钢材质耐腐蚀;三叶罗茨泵比二叶罗茨泵工作效率更高,更快速、真空度高且稳定。由于整套挤出机真空系统的独特设计原理,与市面的真空机组相比,更有优势,也是恒才机电主打的真空泵系统,多年来备受好评。深圳恒才机电设备有限公司专注于真空泵领域,提供专业的真空设备、根据需要改造真空泵系统,提供真空解决方案、真空泵售后维修保养等一站式服务,更多真空泵信息,欢迎致电了解。
2024 - 03 - 20
在真空泵的市场中,无油真空泵与油旋片真空泵是两种常见的类型。虽然它们都用于产生和维持真空环境,但在设计、性能、使用和维护等方面存在显著的区别。本文将详细探讨这两种真空泵的差异,以便读者能够更好地理解和选择适合自己应用的泵。1.从工作原理来看,无油真空泵通常采用干式运行,不依赖润滑油来密封和润滑泵的内部组件。相反,油旋片真空泵则需要润滑油来确保泵的正常运行。无油真空泵的设计通常更加简洁,减少了泵的维护要求,同时也降低了油污染的风险。无油真空泵、干式真空泵、爪泵2.在性能方面,无油真空泵通常具有较高的真空度,能够在较短的时间内达到所需的真空水平。而油旋片真空泵则需要更长的时间来达到相同的真空度。此外,无油真空泵还具有较低的噪音水平,使其更加适合需要安静运行的环境。在应用领域方面,无油真空泵因其无污染、低维护的特点,广泛应用于食品、医药、半导体等对环境要求较高的行业。而油旋片真空泵则更多地应用于一般工业领域,如真空包装、真空吸附等。深圳恒才机电设备有限公司的真空泵、真空系统在电子、水处理、引水、半导体工业、光电、制药工业、印刷行业、镀膜、橡塑成型、PET片材挤出、颗粒挤出、医疗器械、石材等工业领域应用,恒才真空泵厂家始终以稳定的真空系统为客户提供安全可靠的真空解决方案、定制化中央集成真空系统。
2024 - 06 - 11
造粒机真空泵设备怎么选型?在造粒机真空泵设备的选用过程中,恒才机电的干式真空设备凭借其高效、稳定、环保的特点,成为了众多企业的首选。干式真空设备采用先进的真空技术,能够在保证高效抽气的同时,实现无油、无水、无污染的真空环境。这种设备不仅提高了生产效率,降低了能耗,还为企业节省了大量的维护成本。恒才机电的干式真空设备在设计和制造过程中,充分考虑了不同客户的需求。从设备选型、配置到安装、调试,恒才机电都提供了一站式的服务。公司拥有一支专业的技术团队,能够根据客户的实际情况,量身定制最适合的真空解决方案。此外,恒才机电还提供了完善的售后服务,确保设备在使用过程中能够稳定运行,为企业创造更大的价值。在造粒机真空泵设备的应用中,恒才机电的干式真空设备展现出了其卓越的性能。它能够快速抽除造粒机内的空气,实现高效、均匀的真空环境。这不仅有助于提升产品质量,还能延长设备的使用寿命。同时,干式真空设备的环保性能也得到了广泛认可,为企业创造了良好的社会形象。除了干式真空设备外,恒才机电还提供了其他多种类型的真空设备,以满足不同客户的需求。无论是水环真空泵、油旋片真空泵还是分子泵等,恒才机电都能够提供高品质的产品和专业的服务。这种多元化的产品线和全面的服务能力,使得恒才机电在激烈的市场竞争中脱颖而出,成为了行业内的佼佼者。总的来说,深圳恒才机电设备有限公司的干式真空设备在造粒机真空泵设备的选用上具有显著...
2024 - 08 - 14
热压工艺作为PCB制造中不可或缺的一环,对于保证电路板的性能与质量起着决定性作用。而热压机真空泵作为热压过程中的关键设备,其能效与稳定性直接影响到生产效率和成本。深圳恒才机电设备有限公司简述,一起看看PCB热压机真空机组的工作原理是怎么样的,节能效果怎么样。PCB热压机真空泵的工作原理PCB热压机真空机组一般由多台罗茨真空泵及多台水环真空泵组成,也叫罗茨水环真空机组,因为是集中抽真空的模式,也称为中央集成真空系统。PCB热压机真空机组在工作时,需要通过真空泵来创造并维持一定的真空环境,以确保热压过程中材料间的紧密贴合与均匀受热;通过机械或物理方法将容器内的气体排出,使内部形成负压,即真空泵工作原理。PCB热压机真空泵能耗分析这些真空泵在运行时,能耗主要来源于电机驱动、机械摩擦、气体压缩与排放等环节。尤其是在连续生产模式下,长时间的运行不仅消耗大量电能,还可能因过热导致性能下降,甚至损坏设备,深圳恒才机电的真空设备,做了很多改良设计,很好的规避了这些问题,使得真空机组更加节能、低噪音、耐用。PCB热压机真空泵一般采用集中式抽真空,具有环保节能效果,改造后对比,可节省50%能耗。深圳恒才机电设备有限公司的PCB热压机真空泵的节能降耗是一个系统工程,需要从设备选型、系统优化、智能控制、余热回收及日常维护等多个方面入手,如果需要定制化真空设备、pcb压合真空设备,欢迎来访咨询。
2024 - 11 - 14
罗茨水环真空机组作为一种高效、稳定的真空设备组合,在现代工业生产中扮演着至关重要的角色。特别是在电路板制造行业,其应用优势尤为显著。电路板集成真空系统的应用特点,建立独立泵房,集中抽真空模式。在电路板生产过程中,真空处理是一个不可或缺的环节。传统的真空处理方式往往采用分散式布局,即每个需要真空处理的工作站都配备有独立的真空泵。这种布局不仅占用空间大,而且能源效率低下,维护成本高昂。而罗茨水环真空机组则通过建立独立泵房,实现了集中抽真空模式。独立泵房的设置使得所有需要真空处理的工作站都可以通过统一的管道连接到真空机组上。这样一来,不仅可以大大降低能源消耗,提高能源利用效率,还可以确保真空度的稳定性和一致性。此外,集中抽真空模式还有助于减少管道泄漏的风险,从而进一步提高了真空系统的稳定性和可靠性。在实际应用中,某电路板制造企业引入了罗茨水环真空机组,并建立了独立的泵房。经过改造后,该企业的能源消耗降低了约30%,同时真空度的稳定性也得到了显著提升。这不仅为企业节省了大量的能源成本,还提高了生产效率,增强了市场竞争力。深圳恒才机电设备有限公司的真空泵、真空系统在电子、水处理、引水、半导体工业、光电、制药工业、印刷行业、镀膜、橡塑成型、PET片材挤出、颗粒挤出、医疗器械、石材等工业领域应用,恒才真空泵厂家始终以稳定的真空系统为客户提供安全可靠的真空解决方案、定制化中央集成真空系统。
2025 - 01 - 08
阿特拉斯螺杆真空机组的优势。阿特拉斯螺杆真空机组,指的是阿特拉斯·科普柯螺杆真空泵系列,以高效节能著名,来了解一下具体有那些可圈可点的应用优势。面对传统真空泵的种种挑战,阿特拉斯螺杆真空机组以其独特的设计理念和卓越的性能,成为了食品包装罐装领域的优选方案。1. 高效节能:阿特拉斯螺杆真空机组采用先进的螺杆转子设计,能够在较低的能耗下实现高效的真空抽取。相比水环真空泵,其能耗可降低30%以上,大大节省了生产成本。2. 维护简便:螺杆真空机组无需使用水作为工作介质,避免了因水引起的腐蚀、结垢等问题,减少了维护工作量。同时,其结构紧凑,易于拆卸和检查,维护成本显著降低。3. 环保友好:由于没有废水排放,阿特拉斯螺杆真空机组更加符合现代企业的环保要求,有助于企业实现绿色生产目标。4. 高精度真空度:螺杆真空机组能够提供稳定且高精度的真空度,满足食品包装对真空度的严格要求,确保产品质量的稳定性和一致性。5. 智能化控制:现代阿特拉斯螺杆真空机组通常配备有智能控制系统,能够实时监测机组运行状态,自动调节工作参数,提高系统效率和稳定性。深圳恒才机电设备有限公司专注于真空泵领域,提供专业的真空设备、根据需要改造真空泵系统,提供真空解决方案、真空泵售后维修保养等一站式服务,更多真空泵信息,欢迎致电了解。
2019 - 02 - 25
过完年过来有听到X客户反馈不锈钢磁力泵生锈的情况,并质疑是否买了假的不锈钢?其实不是的,不锈钢没有正确使用唯护,它也会生锈的。不锈钢磁力泵是靠它表面形成的一层非常薄但是坚固又紧密的富铬氧化膜保护膜,防止氧原子的继续渗入和氧化,从而获得抗锈蚀的能力,但如果因为某些原因,使保护层的薄膜遭到了持续的破坏,空气或液体中氧原子就会不断渗入或金属中铁原子不断地析离出来,形成疏松的氧化铁,金属表面也就受到不断地锈蚀。不锈钢受到破坏的形式很多,我们常见的情况有。(1)、污染的空气中含有氧化碳、氧化氮的大气、大量硫化物,遇冷凝水,形成硫酸、硝酸、醋酸液点,引起化学腐蚀;(2)、不锈钢磁力泵表面粘附含有酸、碱、盐类物质,如装修墙壁的碱水、石灰水喷溅,从而引起局部腐蚀;(3)、不锈钢磁力泵表面存积着含有其他金属元素的粉尘或异类金属颗粒的附着物,在潮湿的空气中,附着物与不锈钢间的冷凝水,将二者连成一个微电池,引发了电化学反应,保护膜受到破坏,称之谓电化学腐蚀; (4)、不锈钢磁力泵表面粘附有机物汁液(如瓜菜、面汤、痰等),在有水氧情况下,构成有机酸,长时间则有机酸对金属表面的腐蚀。为确保金属表面永久光亮,不被锈蚀,我们建议:1、 必须经常对装饰不锈钢表面进行清洁擦洗,去除附着物,消除引发修饰的外界因素。2、 海滨地区要使用 316材质不锈钢,316材质能抵抗海水腐蚀。不锈钢316材质(18Cr-12Ni-...
联系我们 专注机电设备多年
  • 服务热线:
    400-862-5533
  • 公司传真:
    0755-23062775
  • 总机电话:
    0755-23062776
  • 移动电话:
    13928410990
  • 总部地址:中国 · 深圳
    深圳市宝安区福海街道富桥第三工业区A3栋301
  • 关注我们官方的微信

半导体工艺中干式真空泵的几种选择

日期: 2019-11-21
来源:
浏览次数: 85

  在过去的十多年里,有好几种不同类型的干式真空泵被设计生产出来,它们在机械结构设计上有明显差异,因此可以将干式真空泵归纳为以下几种类型:圆裂片式、爪式、组合式(罗茨+爪)、螺杆式,其中前三种被称为多级泵。因为它们的工作方式大致相同,都是利用多级真空腔对气体进行反复的压缩来产生真空。在多次反复压缩的过程当中,气体的温度和压力也产生比较复杂的变化,因而比较容易引起气体物理特性的变化。而螺杆式被称为单级泵,因为它只靠一个真空腔产生真空。根据其气体压缩方式的不同,又可将其分为内部压缩型螺杆泵和外部压缩型螺杆泵。以下就将这些不同类型的泵在物理特性上作一些探讨,希望能对大家有所帮助。

半导体工艺中干式真空泵的几种选择


  干式真空泵类型

  双圆裂片式

  双圆裂片式设计和目前最流行和广泛应用的罗茨泵非常相似。事实上,一些最早期的干泵设计思想就是将罗茨泵叠加起来。这种多级设计使得气体通路相当复杂,并且每一级都需要较大流量的氮气起到稀释和隔离作用。同时,为了达到好的真空度,对各级的间隙有非常严格的要求。当然,这种设计由于增加了内部的压缩比而使得其耗电量相对较低。

  三叶圆裂片式

  三叶圆裂片式设计和双圆裂片式设计的原理完全相同,只是在旋转一圈中将气体分为三份而不是像双圆裂片式分为两份。这两种设计有着相同的优点和缺点。为了进一步降低耗电量,在传动部分有的厂家选用两个直流马达,但这也会导致扭矩减小,重新启动的能力—下降。同双圆裂片式设计一样,三叶圆裂片式设计的每一级都需要较大流量的氮气来起到稀释和隔离作用。

  组合式(罗茨+爪)

  组合式(罗茨+爪)设计用罗茨来提高在较低压力下的抽气效率,用爪来提高在较高压力下的抽气效率。它的基本原理和气体通路同前面介绍的圆裂片式设计完全相同。也有些厂家将其最后一级改为星型设计,这样可以在旋转一圈中将气体分为五份,就像三圆裂片式设计可以将其分为三份。同样,在很多工艺中,组合式设计的每一级都需要较大流量的氮气来起到稀释和隔离作用。

  外部压缩型螺杆式

  在外部压缩型螺杆式设计中,使用一对等距螺杆。这使得内部压缩减到最小,同时使得气体通路最短也最简单。这样,气体在泵体内停留的时间也最短。虽然这种设计由于减少了内部的压缩比而使得其耗电量相对较高,但在很多复杂的半导体工艺中表现出极高的稳定性。这种单级设计使得其对氮气用量的要求也非常小而且简单,这样就使得其在不同工艺中有很好的互换性。在很多清洁的工艺中甚至可以不用氮气。

  内部压缩型螺杆式

  除了使用一对非等距螺杆以外,内部压缩型螺杆式设计和外部压缩型螺杆式设计的基本原理非常相似。螺杆间容积的不断减小使得其内部产生压缩。这种设计由于产生内部压缩而使得其耗电量降低到同多级泵相当的水平。但在很多工艺中,这种内部压缩同多级泵一样,极易造成气体在泵体内的物理化学变化而产生固化或液化。

  发展趋势和选择

  在以上介绍的所有类型的干式真空泵,我们都渴望能够将其物理尺寸减小。但这与真空泵的抽气速率相矛盾,因为真空泵的抽气速率与真空泵的容积成正比,物理尺寸小意味着容积也小。当然,还有一个影响真空泵的抽气速率的重要因素,那就是转速。为了让小尺寸的真空泵的抽气速率与大尺寸真空泵的抽气速率相匹配,就需要提高它的转速。而想要改变真空泵的转速有两种方法,一是改变电源的频率,即采用变频器;二是改变齿轮箱的传动比。其中,采用变频器的好处是可以提供一个闭环控制,但在大负载下容易引起扭距的损失。而改变齿轮箱的传动比是一种非常经济的方法,当然,它只能提供不可控的单一转速。

  可以看到,干式真空泵有着如此多的不同设计,它们各自有着自己的特性和优缺点。一直以来,使用成本是影响人们选择真空泵的重要因素。越来越多的真空泵用户意识到也应该将真空泵运行的稳定性考虑进去。因为真空泵的意外出错会引起机器的使用效率降低,影响到晶圆的生产和交货期,甚至造成所加工晶圆的报废和机器其他部件的损坏。

半导体工艺中干式真空泵的几种选择


  由于螺杆式设计为单级设计,同多级泵如圆裂片式、爪式以及组合式相比,其在零件的使用数量上减少了百分之六十。这使得其在稳定性和将来的维修成本上有很大的优势。

  综合考虑,如果用户认为耗电量对他来说最为重要而氮气用量对他来说最不重要,那么内部压缩型螺杆式可以一个好的选择。但普遍说来,对尾气处理越来越严格的要求使得将来对减少氮气的用量变得更重要。如果你希望用单一类型的泵不经过改变宋处理各种不同的半导体工艺,而使你的库存控制简单化,那么外部压缩型螺杆式是你最好的选择。


推荐产品 / Products
德国spedk品牌水环式真空泵机组专用于塑胶造粒行业,直接过滤粉尘杂质,减免人工清理,真空度负98kpa,低噪音,水闭环循环利用,塑胶行业都在用的高科技水环真空泵机组
发布时间: 2025 - 05 - 27
PCB线路板行业热压机配套中央真空泵系统,集中式抽真空,水循环利用,节能省电60%,产线无油烟污染,水介质循环利用更加环保
发布时间: 2025 - 04 - 11
塑胶造粒产线配套干式无油真空泵系统,带动多条生产线进行集中抽真空,干式真空泵系统,其无油无水解决水油污染等问题,受到了工业产线的青睐,还可以直接过滤粉尘杂质,无需人工清理,解决管道堵塞问题,环保节能,是塑胶造粒行业的超能助手。
发布时间: 2025 - 02 - 28
干式无油螺杆真空泵替代旋片泵和水环泵,解决油水污染耗电等问题,其无油无水的优势深受工业生产的青睐,干式无油真空泵系统可带动多条产线集中起来抽真空,还可直接过滤粉尘杂质,无需人工清理,是工业行业中的配套好帮手,干式无油真空泵系统多种参数可供选择。
发布时间: 2025 - 02 - 28
深圳恒才新款真空泵机组,多台挤出机集中共用抽真空,带动多条生产线,真空度达负101kpa,无需人工清理,直接过滤粉尘杂质,水箱设计循环利用水资源,是目前塑胶行业新型真空泵系统方案
发布时间: 2025 - 02 - 19
联系我们
Contact
  • 扫描关注我们获取更多惊喜

Copyright ©2017 - 2021 深圳恒才机电设备有限公司 
犀牛云提供企业云服务
地址:深圳市宝安区福海街道富桥第三工业区A3栋301
电话: 86 0755-23062776
传真: 86 0755-23062775
邮编:518000
  • 400-862-5533

    电话联系
  • 二维码

    扫一扫咨询
  • 查看产品视频

    扫码看产品视频
  • 查看公司动态

    扫码看公司动态

top

展开