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2020 - 04 - 07
双重喜讯!双重喜讯!  top1——根据国家《高新技术企业认定管理办法》和《高新技术企业认定管理工作指引》的相关规定,深圳恒才机电被认定为国家级高新技术企业。近日,公司也已收到了由深圳市科技创新委员会、深圳市财政局、国家税务总局深圳市税务局联合颁发的“国家高新技术企业”认定证书,由此正式迈入国家高新技术企业行列。  top2——我们的技术总监陈勇先生在全国铸造机械标准备化技术委员会-金属热成形分技术委员会中(TH186/SC2)标准化工作中被评为-标准化工作新锐奖!  国家高新技术企业认定政策是一项引导政策,目的是激发企业自主创业和持续发展道路,提高企业科技创新能力。据了解,能够获得认定的企业是国家重点支持的具有高成长性的企业,具有非常好的潜在经济效益。经认定的高新技术企业,可享受企业税收优惠、项目招投标和政府资助方面提供了有利的政策支持,有效降低企业税负,提高企业经营利润。  高新技术企业认定是对公司在核心自主知识产权、科技成果转化能力、研究开发的组织管理水平、成长性指标和人才结构的综合评估和认定,需经过层层筛选,审查颇为严格。由国家科技部审核认定的“国家级高新技术企业”称号,是中国科技企业最高的荣誉之一,是对企业科研实力一个最权威的肯定。  本次被评定为国家高新技术企业,必将进一步推动公司自主创新、自主研发的进程,同时也是我司发展史上又一个重大里程碑!  今天!我们的技术陈总监...
2019 - 10 - 22
单级水环真空泵通常用于造纸厂,以提供全方位的真空能力。现代造纸机使用真空辅助造纸脱水,因此真空系统是造纸机的重要组成部分。  随着酸性造纸向中性造纸的发展,造纸水环真空泵的结垢成为每个造纸企业经常遇到的问题。无论是在南部还是北部形成,它都不是立即生成的,而是结的过程。氧化皮的生产,其对造纸机的影响正在逐渐显现,因此,从一开始就不能掉以轻心,要始终如一地防止氧化皮的控制,这将具有长期的利益。  (1)水环真空泵结垢的原因:  1.水质影响:高ph值和高硬度。  2.造纸水的增白程度增加,不溶物含量高,并且垢离子积累。  3.大量填充物。  4.温度:水温升高,冷却系统使用不充分。  5水循环系统没有定期的清洁和维护,这将增加造纸水环真空泵结垢的可能性。  (2)水环真空泵对造纸的不利影响  1.严重降低真空度和抽气量。  2.电动机电流上升,导致功耗增加。  3.经常导致真空泵卡住,难以启动,造纸机停止并且真空泵不敢停止。  4.频繁的酸洗或手动拆卸不仅会损坏设备,还会破坏设备的精度,导致形成真空或降低真空度。  (3)水环真空泵解决方案  长期以来,传统的清洁方法(例如机械方法(刮擦,刷牙),高压水,化学清洁(酸洗)等)在清洁设备时会遇到许多问题:无法完全清除积垢,例如水垢,酸腐蚀会导致设备腐蚀。残留酸可能会导致材料发生二次腐蚀或水垢腐蚀,从而可能导致设备更换。另外,清洁废液是有毒...
2019 - 11 - 04
众所周知,对于各种真空泵的性能,都有规定的测试方法来测试该性能的性能,主要性能是极限压力,流量和抽速。这次,小编打算讨论螺杆真空泵的流量,例如如何控制其流量,流量不足的原因以及如何消除此问题。相信许多用户对这些问题感到困惑,不用担心,请跟随螺杆真空泵厂家进行了解。  首先,让我们简单介绍一下真空泵主要性能的概念。  1.极限压力。真空泵与检测容器相连,放置待测气体后,连续长时间抽气。当容器的气压不再降低并且压力保持在一定值时,次级压力就是泵的极限压力。  2.流量。在真空泵的吸入口,每单位时间的气体流量称为泵的流量。在真空技术中,流量单位以压力*体积/时间表示,即Pa.m3/s或Pa.m3/h。通常,泵会给出流量与入口压力的关系图。  3.抽速。在真空泵的吸入口,每单位时间流动的气体量称为泵的抽气速率。即,通过将流量QA(Pa.m3/s)除以测试罩中的气体A的分压pA而获得气体A的泵送速度sA(m3/s)。典型的真空泵的抽气速率与气体类型有关。给定的抽气速率表示某种气体的抽气速率。如果没有特殊指示,则使用多指抽吸。  正确控制螺杆真空泵流量不仅可以为设备提供良好的保护,还可以提高使用率。那么,该怎么做呢?  1,速度控制  叶轮速度的变化会改变螺杆真空泵的流量曲线,并且曲线的特性不会改变。随着速度降低,曲线变平,扬程和流速降低。  2,旁通阀调整  使用与泵并联的中间阀。实际效果就...
2019 - 11 - 06
在水环真空泵的正常使用中,它要达到正常的吸水和排水工作,并且还需要更好的吸力,否则会影响其吸水效果。然后,我们需要解决真空泵不能吸水的现象,以免造成更大的经济损失。因此,让我们分析一下水环真空泵不能吸水的原因。  1、在安装过程中水环真空泵的入口和出口方向相反或电动机接线不正确,从而导致旋转不正确。解决方案:沿入口和出口的方向更改电动机的方向。请勿更改两条电线中的任何一条以改变旋转方向。  2、底部阀生锈,进水口或叶轮通道被堵塞。解决方案:修理底阀,清除内部杂物,然后在进水口添加一个拦污栅。  3、 水环真空泵的入口管过长,吸入冲程过大。解决方案:降低泵的安装高度,或减少吸水管路上的弯头阀并缩短管道的长度。  4、叶轮严重损坏,并且减漏环间隙很大。解决方案:更换叶轮和减漏环。  5、实际工作条件所需的压头太高,而工作条件低的压头。解决方案:用更高的扬程更换泵。  6、 吸水管路或密封装置严重泄漏。解决方案:阻塞或修复泄漏,按或更换密封件。  以上是水环真空泵的原因和解决方案的详细说明。相信它可以帮助您及时有效地解决此类故障,并确保水环真空泵设备可以长期有效地工作。这种泵设备的压缩气体温度非常低,排气温度仅比进气温度高10〜15°C。由于此功能,它适用于水环泵送易燃易爆气体,并且现在已经发展得很好。
2019 - 11 - 08
罗茨真空泵长时间使用后,会发生不同的故障。一旦发生故障,我们需要及时解决,以防止进一步的恶化和更多的麻烦。气蚀现象对真空泵有一定的影响。对于气蚀现象,让我们教您解决方案:      1、降低设备的工作流体温度以防止气蚀。  2、降低进气温度可以间接降低水循环液的温度,防止发生气蚀,还可以提高物料的干燥速度并提高设备的利用率。  3、在罗茨真空泵中发生气蚀时,主要损坏是气泡破裂时叶轮和泵壳表面的点蚀。  4、由于罗茨真空泵气蚀的原因,众所周知,可以更换具有低饱和蒸气压的工作流体(要求工作流体具有良好的流动性以及与泵送气体的良好相容性),以减少气蚀和增加真空度。这样做的缺点之一是工作流体的后处理问题,因此很少使用更换工作流体的做法。  以上是罗茨真空泵气蚀解决方案的介绍。如果将来在使用机器的过程中出现气穴现象,可以参考本文中描述的方法进行处理。注意正确的操作过程。如果您自己无法解决问题,则需要找到专业人员来及时处理。希望对您有所帮助。
2019 - 11 - 11
为化工与制药工艺应用选择合适的真空技术往往并非易事。首先,真空系统必须在工作压力下提供所需泵速,确保所需抽真空时间。其次,它不能对工艺气体敏感,在用于 CIP(在位清洗)清洗和气体回收时必须满足所有要求。此外,在确定要使用哪种真空技术时,稳定性和经济效率也起着重要作用。 在本文中,我们将讲述化工与制药加工技术中最常用的三种真空技术。 水环真空泵, 干式螺杆真空泵, 油润滑旋片真空泵。  水环真空泵  水环真空泵适用于多种应用。它们属于旋转正排量泵,叶轮偏心放置在圆柱形外壳中(图 2)。一般用水充当工作液。叶轮旋转时,会在密封各叶片空间的外壳内形成水环。气体在中心、各叶片和液体环间形成的空间中输送。由于叶轮安装于偏心位置,这部分空间的体积会增大,从而经进气口吸入介质。当叶轮继续旋转时,空间体积减少,气体介质被压缩,然后通过排气口被再次排出。水环真空泵既可作为单一的连续流系统运行,也可作为部分或全循环系统运行。  多年来,经实践证明,这些真空泵在化学工艺中是坚固耐用、质量可靠的真空发生器。压缩室内的工作液不断耗散压缩热,因此真空泵的运行几乎是等温的。这意味着工艺气体不会明显升温,真空泵在相对较低的温度下运行。这将显著降低不必要的反应或爆炸的风险。低工作温度还有利于蒸汽和气体的冷凝,提升真空泵的额定泵速。  一般用水来作为水环。在实际应用中,还经常使用乙二醇、矿物油或有机溶剂。真空泵的极...
2019 - 11 - 13
真空泵的分类  01 按性能特点和用途分类  (1)低真空泵  泵的极限压力高于102Pa的真空泵属于低真空泵。常见的低真空泵有往复式真空泵、旋转式真空泵、液环式真空泵、喷射式真空泵以及吸附式真空泵。  (2)中真空泵  极限压力在102~-10-1Pa的真空泵属于中真空泵。常见的有罗茨真空泵、多级喷射式真空泵、多级旋转机械真空泵以及高速旋转式机械真空泵等。  (3)高真空泵  极限压力在10-1~10-5Pa的真空泵属于高真空泵。常见的高真空泵有各种扩散泵及分子泵等。  (4)超高真空泵  极限压力低于10-5Pa的真空泵属于超高真空泵。超高真空泵主要有各种离子泵、低温泵等。  02 按工作原理和结构特点分类  (1)机械式容积真空泵  靠机械运动使泵腔工作容积周期变化来实现抽气作用的是机核式容积真空泵。属于这类泵的有往复式真空泵、旋转式机械泵(包括旋片式、螺杆式、罗茨式、液环式等)。这类泵中除机械增压泵外,一般均可单独使用。  (2)射流式真空泵  没有机械运动部件,主要靠通过喷嘴的高速射流来抽真空的是射流式真空泵。属于这类泵的有水蒸气喷射泵、空气喷射泵、水喷射泵以及各种扩散泵等。这类泵结构简单,工作可靠,寿命长,易于维修,应用比较普遍。  03 各类真空泵的工作压力范围及特征  真空泵的选择  01 依据和条件  (1)系统对真空度的要求  根据系统对真空度的要求,选择相应极...
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2018 - 07 - 21
2018年6月30号,恒才真空泵公司年召开了年中工作汇报和下半年计划,本次会议的主是,总结上半年“战况”并提出下半年工作计划、改进、目标和解决方案!        出席会议的人员有总经理陈总,销售、行政、财务、技术等部门领导及员工。会议由办公室主任莫主任主持。会议开始,莫主任组织大家跳舞,让公司全体员工进入轻松而热烈的氛围中。开展会议,公司办公室主任莫主任向大会作了《2018年上半年度公司工作报告》报告中总结了公司2018上半年取得的优异成绩。特别是螺杆真空泵、水环真空泵、真空系统机组、离心泵、高温磁力泵几款产品保持快速发展势头,销售同比增幅均超过56%,实现了公司规划战略性的突破,同时客户反馈好评,莫主任并对售后安装部门的耐心进行了表扬。        接下来各部门代表处和项目经理列序负责人依次发言,大家分别通过认真统计和仔细回顾后,对上半年辛勤工作和各项工作数据内容进行了详细的总结,分析工作中遇到的问题,并对2018年下半年的自我考核标准作计划。项目经理总结的内容包括各地区上半年的各项工作完成情况和团队管理工作经验。肯定了公司在市场开拓、企业文化建设以及队伍建设和市场定位等方面所做出的成绩。销售总监王经理在《2018公司工作部署》全面分析了2018年上半年的工作和取得的成绩,深刻...
2025 - 04 - 23
在塑胶造粒行业中,干式无油真空泵凭借其独特的技术优势,已成为提升生产效率、保障产品质量、实现绿色制造的关键设备。以下从集中抽真空、粉尘处理、环保合规、真空性能四大核心优势展开分析:一、集中抽真空:多产线协同,资源高效利用优势说明多产线联动:干式无油真空泵可同时连接多条生产线,通过集中式真空系统实现统一抽真空,减少设备重复配置,降低初期投资成本。动态调节:支持变频控制,根据不同产线的真空需求实时调整抽气量,避免资源浪费。案例:某塑胶企业采用集中抽真空系统后,真空设备数量减少30%,能耗降低25%,同时提高了产线切换的灵活性。价值体现提升设备利用率,降低单位产量的能耗成本。简化设备维护管理,减少停机时间。二、粉尘处理:干式过滤,免人工维护优势说明干式过滤技术:内置高效滤芯或旋风分离装置,直接拦截塑胶粉尘、挥发物等杂质,避免粉尘进入泵体造成磨损或堵塞。零人工清理:滤芯寿命长(可达数千小时),支持在线反吹或脉冲清灰,无需停机人工清理,降低劳动强度。对比传统油封泵:油封泵需定期更换油品并清洗油路,否则油品易乳化失效,导致粉尘排放超标。价值体现保障真空系统稳定运行,减少非计划停机。降低粉尘污染风险,符合职业健康安全标准。三、环保合规:无油无水,零排放优势说明零油污染:干式设计彻底杜绝油雾、油蒸汽排放,避免塑胶颗粒表面油斑、异味等问题,提升产品纯度。无水消耗:无需冷却水循环,减少水资源浪费及水处...
2018 - 07 - 20
真空烘箱是将干燥物料处于负压条件下进行干燥的一种箱体式干燥设备。仪器专为干燥热敏性、易分解和易氧化物质而设计,能够向内部充入惰性气体,特别是一些成分复杂的物品也能进行快速干燥。其原理是物料内水分 在负压状态下溶点沸点都随着真空度的提高而降低,同时辅以真空泵间隙抽湿降低水汽含量,使得物料内水等溶液获得足够的动能脱离物料表面。真空干燥由于处于负压状态下隔绝空气使得部分在干燥过程中容易氧化等化学变化的物料更好的保持原有的特性,也可以通过注入惰性气体后抽真空的方式更好的保护物料。常见的真空干燥设备有:真空干燥箱,连续真空干燥设备等。仪器具有干燥物品速度快、污染小、不对被干燥物品的内在质量造成破坏的优点。目前,被广泛用于医药、食品、轻工、化工、电子等行业用作干燥之用。真空干燥的过程就是将干燥物料置放在密闭的干燥室内,用真空系统抽真空的同时对被干燥物料不断加热,使物料内部的水分通过压力差或浓度扩散差到表面,水分子在物料表面获得足够的动能,在克服分子间的相互吸引力后,逃逸到真空室的低压空间,从而被真空泵抽走的过程。   在真空干燥过程中,干燥室内的压力始终低于大气压力,气体分子数少,密度低,含氧量低,因而能干燥容易氧化变质的物料、易燃易爆的危险品等。对药品、食品和生物制品能起到一定的消毒灭菌作用,可以减少物料染菌的机会或者抑制某些细菌的生长。    因为水在汽化过程中其温度与蒸汽压是成...
2018 - 09 - 20
真空泵选型有哪些知识点参数呢?下面我们一起来学习了解一下吧。1、真空泵的抽气速率:真空泵的抽气速率单位是m³/h、l/min或l/s,是指泵装有规范尝试罩,并按规程条件作业时,从尝试罩流过的气体流量与在尝试罩指定地位测得的失调压强之比。简称泵的抽速。2、真空泵的极限压强:泵的极限压强单位是Pa,是指泵在出口处装有规范尝试罩并按规程条件作业,在不引入气体畸形作业的状况下,趋势稳固的最工业气压强。3、真空泵的蒸气容许量:蒸气的容许量单位是kg/h,它是指泵在畸形条件条件下,气镇泵在陆续作业时能抽除的蒸气品质流量。4、真空泵的抽速系数:泵的理论抽速与泵出口处按分子泻流划算的实践抽速之比。5、真空泵的返流率:泵的返流率单位是g/cm2.s。它是指泵按规程条件作业时,经过泵出口单位面积的泵流品质流率。
2018 - 11 - 30
医疗负压吸引系统是恒才机电设备有限公司的环保真空设备机组,它投入使用为临床提供了安全保障,提高了医疗部门的管理效率,也为医院在服务中减少成本的投入。那在使用过程中会偶尔遇见一些问题,那如何去解决呢?今天,恒才机电分析医疗负压吸引系统问题的三个重点。1.负压吸引系统出现压力不足的问题。一般压力不足的原因①吸引管道出现长时间腐蚀导致漏气②吸引终端长时间插拔出现漏气解决办法:定期打扫管道周边卫生,保持干燥环境。更换吸引瓶或更换吸引瓶端口的橡胶垫等。2.负压吸引系统出现漏水情况。一般水泵漏水原因①铸件有砂眼②粘合胶老化③金属老化出现裂纹④水质问题解决办法:应及时更换零部件、进行重新粘合、封堵砂眼、进行拆卸清除水垢。 3.应对医用中心负压吸引出现的问题时应制定应急处理措施。如遇到一些机器故障不能够及时排除时,第一时间给厂家售后联系,及时沟通确保负压设备的安全运行。名操作人员,通过电话、微信等通讯手段处理简单故障。机械情急状况,公司会立刻派工程师携带备件直接上门服务。 最后重点提醒,负压吸引系统要一备一用,医疗行业一定要确保安全运行,机械设备要有备用,加强医院医用中心负压系统建设和管理,一方面为临床救治安全提供了保障;另一方面,系统的稳定运行,一般都要做到一备一用,或者一用多备。
2019 - 03 - 27
磁力泵(热煤油泵)接纳自热散热布局,转变了传统的水冷却布局,使布局俭朴,体积小,节省运行用度,性能好,利用可靠,是我国消化吸取外洋油泵的底子上研制的第二代产物,泵的入口为轴向吸入,出口为中间垂直向上,和电机同装于底座上。 导热油泵选型依据,应凭据工艺流程,给排水要求,从五个方面加以思量,既液体运送量、装置扬程、液体性子、管路部署以及操纵运转条件等。 一、高温磁力泵的扬程,装置体系所需的扬程是选泵的又一重要性能数据,通常要用放大5%-10%余量后的扬程来选型。 二、高温磁力泵的液体特性,液体特性,主要指液体介质名称,物理特性,化学特性和其他特性,物理特性有温度c密度d,粘度u,介质中固体颗粒直径和睦体的含量等,这涉及到体系的扬程,有用气蚀余量盘算和符合泵的范例:化学特性,重要指液体介质的化学腐化性和毒性,是选用高温导热油泵质料和选用那一种轴封型式的重要依据。三、高温磁力泵的流量,流量是选导热油泵的重要性能数据之一,它直接影响到整个装置的的生产本领和运送本领。如计划院工艺计划中能算出泵正常、最小、最大三种流量。选择泵时,以最大流量为依据,分身正常流量,在没有最大流量时,通常可取正常流量的1.1倍作为最大流量。 四、高温磁力泵的操纵条件,操纵条件的内容许多,如液体的操纵T饱和蒸汽力P、吸入侧压力PS(绝对)、排挤侧容器压力PZ、海拔高度、情况温度操纵是间隙...
2019 - 06 - 18
随着抽气真空泵的使用范围越来越宽广,客户需要选型这一块的知识也迫切需求工业上跟据不同情况下的压力规模和不同工业使用上的需求,运用的真空泵类型参数也不一样,那么,真空泵选型的参数到底有哪些呢?深圳恒才张工总结了10点重要参数,跟着一起来看一下吧! 1、真空泵的蒸汽允许量,蒸汽的允许量单位是kg/h,它是指泵在畸型标淮标淮下,气镇泵在相继作业时能抽除的蒸汽品质流量。2、真空泵抽真空效率,泵的抽真空速率单位是m3/s或l/s,泵装有标准实验罩并按照规定标淮工作时,从实验罩流过的气体压力与在实验验罩上指定位置侧得的平衡工作压力之比,简称真空泵抽速,单位为m3/a或L/s.3、真空泵抽气量,流过泵入口的气体流里.单位为Pa.m3/s或Pa.L/s,4、真空泵极限工作压力,泵装有标准实验罩并按照规定标淮工作时,在不引入气体正常工作的情形下,趋向稳定的最低工作压力,在不引入气体畸型作业的情况下,趋势稳固的   工业气压强,压强单位是Pa ,5、真空泵启动工作压力,真空泵无损坏启动并有抽真空作用时的工作压力,Pa,6、真空泵前级工作压力,排气工作压力低于一个大气压力的真空泵的出口工作压力.单位为Pa,7、真空泵最大前级工作压力,.超过此值泵将不能正常工作的工作压力称最大前级工作压力,单位为Pa,8、真空泵最大工作压力,对应最大抽真空且的入口工作压力.此工作压...
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CNC精雕机行业螺杆真空泵替代旋片真空泵串联抽真空

日期: 2025-06-20
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在CNC精雕机行业中,螺杆真空泵替代旋片真空泵串联抽真空的方案具有显著优势,主要体现在效率提升、维护成本降低、环保性增强及稳定性提高等方面。以下是对该替代方案的具体分析:CNC精雕机行业螺杆真空泵替代旋片真空泵串联抽真空

一、螺杆真空泵的优势

  1. 清洁无油:螺杆真空泵为干式真空泵,泵腔内无润滑油,因此不会产生油雾或油蒸汽污染被抽气体,有利于获得清洁真空环境,特别适用于对真空度要求较高的CNC精雕机行业。

  2. 高真空度与大抽速:螺杆真空泵通过优化转子型线设计和精密加工,能够实现高真空区的大抽气量,提高工作效率。同时,其强制输气特性使得在宽压力范围内都能保证较大的抽速,排气量几乎不受排气压力影响。

  3. 耐腐蚀与适应性强:螺杆真空泵的泵腔及螺旋转子表面可进行防腐涂层处理,能够适应含有腐蚀性气体、可凝性蒸气及少量粉尘的气体环境,这在CNC精雕机加工过程中可能遇到的复杂气体环境中尤为重要。

  4. 低噪音与低振动:螺杆真空泵的转子经过精细动平衡校正,运转平稳,噪音低,振动小,有利于改善工作环境。

  5. 维护简便:螺杆真空泵结构简单,零部件少,且核心部件无易损件,因此维护简便,降低了维护成本。

二、旋片真空泵串联抽真空的局限性

  1. 油污染问题:旋片真空泵需要机油才能运行,长时间使用后机油会与被抽气体中的水汽、煤油等混合,导致油污染,需要定期更换机油,增加了维护成本和环境污染。

  2. 维护复杂:旋片真空泵的旋片和排气阀等部件容易磨损,需要经常更换,维护复杂且成本较高。

  3. 性能下降:随着使用时间的增长,旋片真空泵的性能会逐渐下降,特别是当被抽气体中含有腐蚀性介质或粉尘时,性能下降更为明显。

三、螺杆真空泵替代旋片真空泵串联抽真空的可行性

  1. 效率提升:螺杆真空泵的高真空度和大抽速特性能够显著提高CNC精雕机的抽真空效率,缩短加工周期。

  2. 维护成本降低:由于螺杆真空泵无需换油且维护简便,因此能够显著降低维护成本。

  3. 环保性增强:螺杆真空泵无废油排放,对环境无污染,符合当前环保要求。

  4. 稳定性提高:螺杆真空泵的运转平稳、噪音低、振动小等特点能够提高CNC精雕机的加工稳定性,减少故障率。


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发布时间: 2025 - 07 - 23
高效抽气能力:旋片真空泵通过转子与旋片的协同运动,周期性改变泵腔容积,实现气体的快速吸入与压缩排放。其抽速范围通常为0.5-150升/秒,单级泵极限压力可达1帕,双级泵更可低至6.5×10⁻²帕,能满足电子晶圆吸附等工艺对真空度的严苛要求。结构紧凑设计:机组小车采用一体化撬装结构,将泵体、电控系统、过滤器等部件集成于紧凑空间内,占地面积小,便于在实验室或生产线灵活布局。其轻量化设计(如电机直联驱动)进一步减轻了设备重量,提升了便携性。移动灵活便捷:小车底部配备移动轮,支持快速搬迁与多工位切换,尤其适用于需要频繁调整设备位置的晶圆加工场景。部分机型还支持手自动模式切换,确保在PLC损坏等紧急情况下仍能维持最低限度运行。运行稳定可靠:旋片真空泵通过油膜密封与强制进油润滑设计,确保运动部件间的完美气密性与恒定润滑,同时减少有害空间对极限压力的影响。其内置的自动防返油双重保险装置与金属丝网粗过滤器,可有效防止油返入被抽系统与固体尘粒吸入泵腔,保障设备长期稳定运行。维护简便经济:机组小车结构简单,维护成本低。用户可通过定期检查油位、更换真空泵油(首次工作满150小时后换油,之后每500小时换油)与油过滤器、清洁进气口滤网等常规操作,确保设备性能。其低成本、高性能的特点使其成为空间有限或预算敏感场景的理想选择。安全防护完善:设备配备双重密闭系统(充气式电磁阀+机械止回阀)与排气过渡器,可防止气体倒流与油雾排放,避免晶圆污染或设备损坏。同时,其内置的吸气阀可在停泵时自动隔离泵与被抽系统,防止油返入被抽系统,保障操作安全。适应性强:旋片真空泵机组小车可单独使用,也可与其他高真空泵(如分子泵)组成真空机组,以应对不同工艺对真空度的差异化需求。例如,在晶圆键合工艺中,可先通过旋片泵快速抽至低真空,再切换至分子泵实现超高真空环境,提升工艺效率。经济性高:机组小车采用无油设计(...
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