2021
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干式真空泵主要在半导体行业、化学工业、薄膜产业得到应用与发展。国外的干泵市场正处于蒸蒸日上的阶段,如日本,半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵,而欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵,大大提高了产品的性能和质量。 为了满足不同应用领域和不同工况的要求,国外有螺杆式真空泵、多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、往复式活塞真空泵、涡旋式真空泵以及涡轮式无油真空泵等。干泵极限压力从10Pa~10-2Pa,抽速从20m3/h~500m3/h。 1、干式真空泵的介绍及原理 此为立式双螺杆干式真空泵,它的吸气和排气原理和大多数是一样的,是利用一对螺杆,在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备。 干式真空泵工作时,相互之间无摩擦,运转平稳,噪音低,工作腔无需润滑油,因此,干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘。由于螺杆制成变螺距结构,与等螺距结构相比,极限真空更高,而消耗功率更低,具有节能,免维修等优点。它是油封式真空泵的更新换代产品。 备品备件是标准的O型圈。从上至下的输送方式能可靠地处理夹带液体的湿气及粉尘,并且无需过滤器。最优化的螺杆外形设计使功率消耗降到最低,简单的设计可使泵腔在1小时内在现场全部解体,易于清洗维护。 2、独特的冷却方式 很多泵转子卡死的原因是吸入含有粉尘及结晶的物质、高温发生聚合的物质、热敏性物质的升华造成转子间的间...