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2020 - 06 - 18
最近,朋友发来了一条信息,说不知道罗茨真空泵和水环真空泵的区别,请记住,今天小编普及了这方面的知识。  1 .原理不同  罗茨真空泵(简称:罗茨泵)是指泵内内置有两个相反方向同步旋转的叶状转子,转子之间、转子与泵壳内壁之间有微小间隙,相互不接触的可变容量真空泵。  水环真空泵内置有带固定叶片的偏心转子,将水(液体)投向定子壁,水(液体)形成与定子同心的液环,液环与转子叶片一起构成可变容积的旋转可变容积真空泵。  2 .适用范围不同  罗茨真空泵在石油、化工、塑料、农药、涡轮转子动平衡、航空宇宙空间仿真等装置上经过了长期运行的考验,应在国内广泛普及和应用。 同时也广泛应用于石油、化工、冶金、纺织等工业。 真空泵附件是一种真空泵消音器,用于真空泵的噪音对策。  水环真空泵主要应用于煤矿(放气)、化工、制药、矿山、造纸、食品、啤酒、建材、塑料、冶金、电气等行业。  3 .特征不同  罗茨真空泵的特征是:的启动快,耗电少,运转维持费低,吸引速度大,效率高,对被吸引的气体中含有的少量水蒸气和灰尘不敏感,在100~1的压力范围内有大的吸引速度,可以迅速排除突然放出的气体。 这个压力范围正好在油封式机械真空泵和扩散泵之间。 因此,多被串联连接在扩散泵和油封式机械真空泵之间,用于提高中间压力范围的吸引量。 在这种情况下,也称为机械增压泵。  水环真空泵的优点是结构简单,制造精度不高,加工容易,结构...
2020 - 06 - 22
罗茨真空泵通常采用真空机组的形式,因为一般罗茨真空泵在常压和高压下不能直接启动和排放空气,所以需要配备前置泵。然而,并不是所有的罗茨真空泵都需要启动前置级泵,如风冷罗茨真空泵,湿罗茨真空泵和多级罗茨真空泵。  通用罗茨真空泵需要在6000帕的压力下启动,在1333Pa和1Pa之间保持稳定的大吸气速度。因为罗茨真空泵没有内部压缩特性,它是通过气体放电形式的外部压缩来实现的。过高的压力和高压操作会使真空泵的负载过高。转子在压缩过程中不能散发太多热量,导致过度膨胀。转子和泵室之间的间隙消失,即被堵塞。  为了解决这个问题,采用冷却气体的直接冷却来降低转子和泵室之间的温差,以避免转子的过度膨胀,并实现高压和高压缩比运行。它可以在大气压下单独使用,也可以增加多个串联单元的真空度。  风冷罗茨真空泵的结构原理与普通罗茨真空泵没有太大区别。泵的主出口与冷却器相连,冷却气体两侧的泵冷却转子。在这种结构下,罗茨真空泵的实现可以在大气压下直接启动并独立工作。独立的直接空冷罗茨真空泵约为1104帕,可串联获得下限压力。工作压力可达88千帕。  根据上述变化,风冷罗茨真空泵不仅可以在大气压下直接工作,而且在高压水平下有稳定的泵速曲线,大大缩短了泵送阶段的泵送时间。与其他直接空气密封泵相比,罗茨泵的进给速度快,风冷罗茨真空泵在高压下具有良好的节能特性。
2020 - 06 - 28
你知道这些色彩鲜艳的iPad背面壳的“秘密”吗? 说到真空行业的应用,这是众所周知的工厂真空泵抽真空搬运的应用,搬运的主要应用之一是生产这些彩色iPad的壳体。  平板电脑作为现代科技界的重要产业之一,对传统计算机产业产生了很大的影响,现在平板产品很多,从产品工作的成形方面来看,主要分为注射成形、冲压成形和CNC成形三种。 其中,mo属CNC技术最复杂,成形后的产品一般以较高端的姿态登场。  什么是CNC?  CNC通称“数控机床”,控制系统具有控制代码,可以通过刀具切削将坯料加工成半成品零件。  背壳采用CNC技术的iPad代背壳触摸有一定的粒感。  CNC成形技术的成本更高,出自不可思议的精确度和精度,所有的成品都是精制而成的。 目前,CNC成形技术还应用于航空航天和赛车行业的精密零件生产中。 这也是为什么高端平板产品采用了这个技术?  外观上,该技术制作的产品为“苗条”,后盖提高了整体视觉感觉的冲击感,产品的外观更美(当然,与画面升级的改善有关),但周围的框更圆,不是没有灵活性的“框”设计  CNC背壳内部的改良,现在CNC在背壳内部变得“漂亮”,螺钉固定处也变得“紧凑”,在位置面接近边界线,没有设计的突然感,整体设计大幅度提高,对CNC的真空夹具提出了更高的要求  阿特拉斯科普科真空技术部通过精密测量和气体介质分析,独自设计了适合CNC加工行业的真空解决方案  使用逆变器喷...
2020 - 07 - 03
当旋片真空泵的安装高度增加时,旋片真空泵内的压力就会降低,泵压力的最低点一般位于叶轮叶片入口的后点附近。 这里的压力在输送液体的温度下下降到饱和蒸汽压力后沸腾,随着液体从入口向外周流动,压力急剧上升,产生的蒸汽泡急速凝结。 这种液体以较大的速度从气泡周边流入气泡中心,引起高频的过渡压力,称为气穴。  1.在选定基准平面的转子真空泵的情况下,基准平面是真空泵的轴中心线,在往复式真空泵的情况下,基准平面是柱塞中心线。  2.对容积式真空泵进行计算,该装置的NPSH与旋翼真空泵的NPSHa的计算方法相同。 在容积式往复式真空泵中,该装置的NPSH也应包含在加速压子Hacd中。 使头损失加速的原因是吸入管流动的不均匀性。 如果吸入缓冲罐安装在吸入道路上,则不计算加速头的损失。 Hacc可以用公式计算: Hacc可按公式计算:Hacc=Lp1LN2D2ρ/109K1D2P1  公式中LP1-----吸入管道实际长度,m;  L-----行程,mm;  N----泵往复次数,r/min;  D----活塞或柱塞直径,mm;  ρ----液体密度,Kg/m3  K1----系数,单.双缸泵K1=1.5;三缸泵,K1=4;  DP1----吸入管道直径,mm  3.汽蚀的危害性汽蚀对旋片真空泵造成危害性:  1.噪音和振动  2.性能降低  3.过流部件的腐蚀破坏  汽蚀对容积式真空泵的危害性: ...
2020 - 07 - 08
在我们的经济发展过程中,干式真空泵的应用场景非常广泛,如石油气回收.压电石英化学工业.太阳能应用.排瓦斯气体处理.半导体应用.教育科学研究和真空镀膜等行业处于蒸镀阶段。 作为干式真空泵选用的一环,干式螺杆真空泵一直是人们的选择,今天真空泵介绍了干式螺杆式真空泵的原理和选用。  一.干式螺杆真空泵原理介绍  干式螺杆真空泵的原理是利用一对螺杆,在螺杆真空泵的泵室内同步反向高速运行,由两个转子.泵体和侧盖组成几个室,实现吸排气作用的泵机械设备。 这些个的气室定期地从真空泵的吸气口侧向排气口侧“移动”,气体以低速旋转的方式被输送。 即使真空泵继续运转,气体的流动也不会改变,所以能在一定程度上引出可能被气体夹住的细微粒子和蒸汽。  干式螺杆真空泵工作时,两螺杆相互间不产生直接摩擦力,泵室内不需润滑油,运行中机械平稳,发出的声音小。 与等长螺杆真空泵相比,改变螺距结构的真空泵极限真空度高,有良好的间隙设计和连续压缩方式,单泵可达到0.0075torr(0.01 hpa )的极限真空。 能耗更低,变螺距螺杆真空泵的节能型设计理念,可使能耗降低30%,是油封式真空泵的好替代品。 在半导体行业,油封式真空泵可以取代干式螺杆式真空泵,大幅度提高了工作环境的质量,提高了生产的产品品质和性能。  干式螺杆真空泵  二.干式螺杆真空泵的选型特点  干式螺杆式真空泵具有良好的制冷方式,市售的干式真空泵多使用...
2020 - 07 - 14
以500吨级多功能真空感应炉为例,对真空泵应提出以下几点作用要求:  (1)使用油封式机械泵时,如果真空室和泵之间没有冷阱,则不能用机械泵直接抽真空至13Pa以下,因为在压强低于13Pa时,油燕气分子将返流到真空室造成污染;  (2)在启动机械泵之前,要检查泵油的状态,看是否被污染,泵油的油位是否合乎要求;  (3)罗茨泵启动之前,前级压力应在水环真空泵最大允许压强范围之内,若是该罗茨泵具有过载保护装置.则罗茨泵可以启动得稍早一些;  (4)油增压泵在启动之前一定要检查确定前级压力在最大允许压力范围内;  (5)如果油增压泵接人系统以后,真空度抽不上去,则先检查泵所在的系统的翻气率是否超过允许值,同时检查泵的电炉工作是否正常、泵的冷却是否正常,若已经排除真空容器密封、阀门工作都正常,则有可能是泵本身的旋片真空泵问题,需要和泵的生产厂家进行交流,可能存在着泵油变质、泵冷却不好、泵油不足或泵过热等问题;  目前的研究结果表明,阀芯式真空泵的主要振动是由泵阀体运动系统产生的不平衡惯性力引起的。目前,有几种解决不平衡惯性力的方法。  一,使用动态平衡。通常,先进行分析和计算,然后再添加游丝摆轮,再在滑轮上添加重量和游丝摆轮,由此可以均衡地减小偏心轮和卷轴的惯性力。实罗茨真空泵践证明,这是一种有效的阻尼方法。  二,也可以安装和安装机械减振装置。当然,该装置主要用于具有大吸引速度的高速泵和泵...
2020 - 07 - 17
今天我要和大家谈谈真空泵,它是层压机和正负压机的标准部件,主要用于抽真空,也就是产生负压。接下来,让我们了解一下它的基本知识和维修保养常识。  1.基础知识:目前贴面机械中使用的真空泵为单级旋叶耦合结构。其优点是转速高、噪音低、泵速快、效率高。该泵配有排气过滤器,能有效消除油雾,运行平衡,振动小,可在任何压力下工作。  二.日常维护:保持真空泵处于无尘环境,定期检查油位(保证油量的2/3),定期检查真空泵是否漏油,清洗或更换过滤装置。  三、常见故障排除:  1.真空泵不工作:电机损坏/真空泵或电机卡住/保险丝熔断/  2.异常噪音:轴承、连接轴或风扇叶片损坏。  3.吸烟或排气时漏油:排气过滤器安装不正确。  4.突然达不到工作压力或抽真空时间过长:检查真空系统管道是否有停滞漏气,排气过滤器或滤油器是否堵塞,进气滤网是否堵塞等。  5.机油发黑:机油使用时间过长,环境温度过高,进气温度过高。  深圳恒才机电设备有限公司是一家集生产,销售,售后服务为一体的销售性企业。公司主导产品有:水环真空泵,旋片真空泵,螺杆真空泵,罗茨真空泵,离心泵,高温油泵。公司通过与阿特拉斯、SPECK、NASH、CNST等国际知名品牌的合作。为客户提供多种真空设备和真空系统的设计、工程、售后等服务。http://www.cnst-pumps.com/
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发布时间: 2025 - 08 - 22
来源: 1289
将玻璃精雕机的真空发生器改造成集中抽真空系统,需从系统整合、管路优化、真空源升级、智能控制、密封与维护五个方面进行系统性改造,以实现多工位集中抽真空、压力精准调节及高效运行,具体改造步骤如下:一、系统整合:构建集中真空源核心设备选型:选用大流量真空泵(如水环式或螺杆式)作为集中真空源,其流量需覆盖所有工位需求。例如,若单台精雕机真空流量为50m³/h,改造后需支持4台同时运行,则真空泵流...
发布时间: 2020 - 02 - 27
来源: 50
液环真空泵(简称水环泵)是一种粗真空泵,可获得2000-4000帕的极限真空,液环真空泵与真空泵组成的机组真空度可达1-600帕。水环泵适用于输送气液混合物。这种泵也可以用作空气泵和空气压缩机。它产生高绝对真空。压缩比取决于旋转水环的压力以及侧壁上排放口的大小和形状。水环泵也可用作压缩机,称为水环压缩机,属于低压压缩机,其压力范围为1 ~ 2× 10 5pa表压。  水环泵最初用作自吸泵,然后逐渐用于许多工业部门,如石油、化学工业、机械、采矿、轻工业、医药和食品。在许多工业过程中,如真空过滤、真空引水、真空进料、真空蒸发、真空浓缩、真空回潮和真空脱气,水环泵被广泛使用。由于真空应用技术的迅速发展,水环泵在获得原油真空方面受到了重视。由于水环泵中的气体压缩是等温的,易燃易爆气体以及含尘和含水气体都可以去除。因此,水环泵的应用日益增多。其他合适的液体也可以用作水环真空泵的工作流体。无论使用哪种工作流体,都统称为液环真空泵。水环真空泵是最常见的液环真空泵。  最广泛使用的泵。泵体充满适量的水作为工作流体。当叶轮在图中顺时针旋转时,水被叶轮甩来甩去。由于离心力的作用,根据泵室的形状,水形成厚度大致相等的闭合环。水环下部的内表面正好与叶轮轮毂相切,水环上部的内表面正好与叶片的尖端接触(事实上,叶片在水环中具有一定的插入深度)。此时,在叶轮轮毂和水环的内界面之间形成新月形空间,并且该空间被叶轮叶片分成几个与叶片数量相等的小腔。如果以叶轮的下部为起点,当叶轮旋转180度前,小室的容积由小变大,小室与端面上的吸入口连通,此时吸入气体,当吸入结束时,小室与吸入口隔离;当叶轮继续旋转时,小室由大变小,使气体被压缩;当小室与排气口连通时,气体从泵中排出。综上所述,水环泵通过改变泵腔的容积来实现吸入、压缩和排出,因此属于变容积真空泵。液环真空泵结构简单,不需要抽排气阀,工作稳定可靠,泵内...
发布时间: 2020 - 02 - 25
来源: 67
如果旋片真空泵运行不正常,往往会出现问题,如旋片真空泵真空度下降、喷油、冒烟、油封漏油、噪音等情况,以及真空泵油在泵内乳化等。如果出现这种情况,首先不用担心,今后就按照故障逐一等待关机扫描。这里有一些解决问题的方法。  1.旋片真空泵吸油和喷油:这意味着旋片真空泵在工作时在排气口吸油或喷油。  1、吸烟时,如果泵刚刚开始工作,有冒烟现象,恢复正常,如果长时间吸烟不正常。如何处理:烟雾表示修理泵进气口外的管道、阀门和容器。泄漏检测将在未来处理,吸烟将结束。涡街流量米  2、燃油喷射,说明进气口外有许多泄漏点,甚至进气口都暴露在大气中。如何处理:密封泵的进气口,使泵工作,如果没有油注入,澄清泄漏点;排气阀片损坏,检查排气阀片是否损坏,更换损坏的排气阀片。  2.旋片真空泵的噪声:这里指的是泵的噪声。  1.当钢瓶被敲击时,泵发出不规则的噪音,像金属撞击金属的声音。这是转子撞击泵体时发出的声音。这种情况主要是由于配套旋转板之间的拉簧断裂造成的,可能是收缩或弹出故障造成的。处理方法:翻转泵,看看螺旋弹簧是否损坏。更换弹簧。  2、排气阀片发出噪音,首先是泵排气阀片损坏。如何处理:更换排气阀片。  3.旋片真空泵真空度下降:指目前测得的旋叶真空泵真空度低于工厂目标或以前使用的真空度。真空度低有很多原因。以下是一些基本条件。  1.这次添加的旋片真空泵油的商标与原来的不同。不同品牌的真空泵油有不同的结果,因为不同品牌的油的全蒸汽压不同。处理:根据货物的型号标准更换正确的新真空泵油。  2.另一个原因是由真空泵油形成的真空度低,即真空泵油被乳化和脱色,并且可能太脏。处理:排空泵内的所有真空泵油,更换同类型的真空泵油,并处理泵内泵送气体进入中的水蒸气和杂质。  3.泵送气体的温度可能过高。处理方法:降低泵送气体的温度或增加相应的热交换器。  4.泵中的油道可能不平滑,并且一定量的油没有保留...
发布时间: 2020 - 02 - 25
来源: 78
离心泵出口的止回阀的作用就是防止出口管路中的液体倒流形成水锤造成泵内叶轮损伤。  止回阀的安装与泵的多少无关,止回阀主要为了在泵停止运行后,防止液体回流,使泵倒转,从而造成损坏泵的事故,并且为了防止液体倒流对其他储罐等的损坏(从高位罐倒流会造成罐补抽坏)。因此最好加上止回阀。  如果能保证停泵前先关闭出口阀,且出口阀不内漏或损坏,也可以不安止回阀。  离心泵出口止回阀门'止回阀'的选型  一般的泵站工程情况,对于泵出口止回阀的选择,应遵循以下原则;  1、对泵出口管路口径较小的管路,即DN ≤50mm时,应选用升降式止回阀。  2、对泵出口管路口径DN50mm的管路,应选用旋启式止回阀旋启式止回阀可以水平或垂直安装。旋启式止回阀阀瓣绕转轴作旋转运动,其流体阻力一般小于升降式止回阀,它适用于较大口径的场合,安装位置不受限制,通常安装于水平管路,它适用与较大口径的场合。根据阀瓣的数目可分为单瓣旋启式、双瓣旋启式及多瓣旋启式三种。单瓣旋启式止回阀一般使用与中等口径的场合。大口径管路选用单瓣旋启式止回阀时,为减小水锤压力,最好采用能减小水锤压力的缓闭止回阀。双瓣旋启式止回阀适用与大中口径管路。对夹双瓣旋启式止回阀结构小、重量轻,是一种较快的止回阀;多瓣旋启式止回阀适用与大口径管路。  离心泵出口止回阀的安装  ① 旋启式止回阀一般安装在水平管道上:对于口径DN~80mm的止回阀,也可安装在垂直或向上倾斜的管道上。  ② 直通式升降式止回阀应安装在水平管道上;立式升降式止回阀必须安装在垂直管道上,介质为自下而上流动。  ③ 由于止回阀容易损坏,因此,应靠近泵出口安装止回阀,在止回阀上部设有切断阀(一般用球阀或闸阀),方便检修。  ④ 为便于止回阀拆卸前泄压,对于止回阀本身不带放净阀的,应在止回阀与切断阀之间加装泄压用放净阀。  防止水力冲击对止回阀密封面损坏的保护措施...
发布时间: 2020 - 02 - 25
来源: 52
性价比高、技术可靠性强、使用寿命长是旋片真空泵多年来得到广泛应用的重要因素。旋片真空泵具有油润滑和密封结构,因此影响旋片真空泵可靠性和使用寿命的最重要因素是泵内蒸汽和化学物质的侵蚀以及润滑剂的老化。  1.蒸汽提取  大多数旋片真空泵制造商将详细解释设备在百帕时的蒸汽容差或克/小时时的蒸汽容量。这些信息指的是水蒸气。当气动阀打开且真空泵处于工作温度时,如果入口压力低于给定值,泵送的水蒸气不能冷凝。在干燥过程中,泵的尺寸不是由根据蒸汽量的泵速决定的,而是由每单位时间收集的水量决定的。因此,必须用关闭的真空侧阀和打开的空气压力阀预热泵约15至30分钟,以达到其最佳工作温度(油)(约70-80℃)。只有在正确的操作温度下,蒸汽才能通过打开的气动阀泵出。高真空阀门的延迟开启可以很容易地集成到控制系统中。  泵压过程完成后,建议打开气动阀,让真空泵继续运行约15分钟,这样泵体内剩余的蒸汽可以通过排气装置排出。该过程再生工作流体,以防止停滞腐蚀和可能的泵故障。  必要的泵前和泵后操作可通过定时工具轻松集成到控制器中。如果系统需要低于1至2百帕极限压力的空气压力,则需要两级旋片真空泵。值得注意的是,两级旋叶真空泵的蒸汽容限和蒸汽容量将低于单级泵。  2.工作流体  使用旋叶式真空泵时,工作流体(即真空泵油)主要负责三个重要功能:密封、润滑阀门和轴承、传导铝壳上的压缩和摩擦热以冷却泵体。  用传动装置和润滑剂保持油位是所有油封旋转叶片泵和真空泵的重要预防性维护和日常维护。如果油位下降过低,泵系统将无法再润滑。由于缺乏润滑,泵系统的运行将被阻塞,最终导致泵故障。油位过低也会妨碍压缩热的最佳消散。泵过热会导致工作流体快速老化。缺乏润滑和形成油碳最终会导致泵故障。因此,必须确保泵的油位不能低于观察镜的中间位置。  需要定期检查工作流体的颜色、粘度和污染物。如果工作液中的水分含量超过5%,就会呈现...
发布时间: 2020 - 02 - 25
来源: 51
旋片真空泵的噪声通常是指当泵的温度稳定时,在极限真空下测得的噪声水平。它包括泵本身的噪音和电机的噪音。对于用户来说,它还关注旋片真空泵温度不稳定时的启动阶段的噪声、不同入口压力下的操作噪声以及气体开启镇流器的操作噪声。因此,应该考虑许多因素。  根据声音产生的位置,旋片真空泵的噪音可分为以下几个方面:  (1)转子对缸体的冲击,泵的剩余容积和排气死区中的压力油的声音产生;  (2)排气阀片对阀座和支架的冲击;  (3)箱内回声和气泡破裂;  (4)轴承噪声;  (5)大量气体和油冲击挡油板产生的噪音;  (6)其他。如传动噪声、风冷泵风扇噪声等。  (7)电机噪声,这是一个关键因素。  对旋片真空泵设计和处理方案的建议如下:  1.旋转板对气缸壁的影响  如果使用不当的设计、制造或材料导致转子板滑动不顺畅,或者因为存在死气隙,不可压缩的油导致转子板头部不总是靠近气缸壁,这将导致转子板撞击气缸壁。因此,采用圆弧面分隔进出口的结构是合适的。用排气导槽消除死区。采用线分离结构时,排气终点到切点的距离应尽可能缩短。对于70l/s以下的旋叶泵,考虑到旋叶的实际厚度,建议取7 ~ Lomm,大泵取大值。当其过近时,由于转子转子槽的存在和只有一条窄条与转子头接触,一旦转子旋转到切点,密封效果不好,这将影响泵送速度甚至泵的极限压力。可以看出,这种结构不能完全消除排气死区,限制了降噪水平。  应该指出,转子和槽之间的间隙过大会降低性能。因此,必须保证合理的公差配合和形位公差值,注意转子板的热膨胀,避免转子板与槽之间的擦伤,注意油的冷油粘度,设计足够的转子板弹簧力。采用圆弧面分离时,转子中心的附加偏心值不宜过大。否则,当转子穿过两个圆弧时,它将倾向于在交点处脱离气缸壁,从而产生冲击噪声。一般来说,小泵只有0.20 ~ 0.25毫米,而大泵可以适当增加。  排气死区中的压力油和剩余容积中的压力油...
发布时间: 2020 - 02 - 25
来源: 47
疫情还没完全结束,  复工安全管理你知道怎么做吗?  关注人的问题  一是员工安全问题。员工复工,疫情防控压力也随之增大。企业应给员工提供复工指南,办公室防疫手册,要提醒员工做好4个防疫准则,戴口罩、勤洗手、勤通风、同事之间保持距离。  二是岗位缺员问题。受疫情影响,假期延长,停工企业外地员工返回后不能立即到岗,导致一线生产职工人力不足。建议企业组织人资、生产、设备、安全部门对岗位人力满足情况和人员安全生产能力进行一次评估,按照关键岗位员工到岗情况,确定复工时间。  三是人员心理问题。许多员工复工返岗后自由散漫的心还没有收回来,心思并没有真正回到工作岗位上,容易发生“三违”行为。建议企业在复工复产期间,安全管理人员要经常深入生产现场提醒与监督,同时严格落实领导干部带班制度,抓好反“三违”管理。  关注员工的复产问题,  还有我们的生产“复工设备”  一起来了解吧~  关注设备,实施管理  对装置开泵前的设备调试和吹扫、置换、气密试验等重要作业,以及装置开停泵流程、设备运转、公用工程启动等重要步骤,实施责任人签字确认制度,进行安全条件审核确认。  加强设备设施的管理。  一是检查设备的检验周期是否符合要求,  二是对管道、弯头减薄等设备腐蚀要进行一次风险识别判断;  三是动静设备存在的隐患是否得到消除;  四是报警联锁等是否完备在用、好用、管用。  看完泵的实施管理  还有泵的正确“操作方式”  一起记住它吧~  关注机械泵的维护  ①真空泵设备的启动,停用多日的真空泵启动时,请不要直接启动,应该先转动电机风叶至少三圈后再启动。如果连续启动三次后还停止机器,并用手盘动主机 ,再次启动机器!这样操作,可有效避免开机时供油不及时机头卡死的现象。  ②真空泵设备的停车,真空泵设备在进行停车的时候,要注意(如进气管有阀门)关闭进气管上的阀门,之后也就应该要关闭供水管,且要注意疾速关停...
发布时间: 2020 - 02 - 24
来源: 94
罗茨真空泵是一种机械真空泵,具有一对同步高速旋转的鞋底形转子。该泵不能单独泵送空气。前级需要配备油封、水环等。直接排放空气。其结构和工作原理与罗茨鼓风机相似。其吸入口与真空容器或真空系统的主泵相连。真空泵的转子和转子之间以及转子和泵壳之间没有接触。  间隙一般为0.1 ~ 0.8毫米;不需要用油润滑。转子轮廓包括圆弧、渐开线和摆线。渐开线转子泵体积利用率高,加工精度容易,因此转子型线多为渐开线。罗茨真空泵的转速可达3450~4100转/分。抽气速率为30-10000升/秒(1升=10-3米);  罗茨真空泵是一种机械真空泵,具有一对同步高速旋转的鞋底形转子。该泵不能单独泵送空气。前级需要配备油封、水环等。直接排放空气。其结构和工作原理与罗茨鼓风机相似。其吸入口与真空容器或真空系统的主泵相连。真空泵的转子和转子之间以及转子和泵壳之间没有接触。  间隙一般为0.1 ~ 0.8毫米;不需要用油润滑。转子轮廓包括圆弧、渐开线和摆线。渐开线转子泵体积利用率高,加工精度容易,因此转子型线多为渐开线。罗茨真空泵的转速可达3450~4100转/分。抽气速率为30-10000升/秒(1升=10-3米);单级的极限真空为6.5×10-2帕,双级为1×10-3帕。  罗茨泵的极限真空不仅取决于泵本身的结构和制造精度,还取决于前级泵的极限真空。为了提高泵的极限真空度,罗茨泵可以串联使用。罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的连续旋转,泵送的气体从空气入口被吸入转子和泵壳之间的空间v0,然后通过空气出口排出。由于v0空间在吸入后完全关闭,泵室内的气体不会被压缩和膨胀。然而,当转子的顶部围绕排气口的边缘转动并且v0空间与排气侧连通时,由于排气侧的高气体压力,一些气体冲回到空间v0中,导致气体压力突然增加。当转子继续旋转时,气体离开泵。罗茨泵在泵室中,有两个“8”形转子安装在一...
发布时间: 2020 - 02 - 24
来源: 85
半导体工艺真空主要用于键合工艺,如蒸发、溅射、等离子体化学气相沉积、真空干法刻蚀、真空吸附、测试设备、真空清洗等。半导体生产制造过程中容易产生易燃、易爆、有毒物质和气体,对生产和人员安全构成威胁。因此,半导体真空泵应用中的几个安全注意事项如下:  1.定期清洁真空泵和其他附件、过滤器和管道,以避免过压。  在半导体真空泵的应用中,当介质在介质提取过程中通过反应室和真空泵时,介质的组成可能极其复杂。例如,四氯化硅和氧气在泵口形成二氧化硅,而四氯化钛水解形成盐酸。假设是油封机械泵,这些气体物质也可能与泵油发生反应。这些变化假定形成颗粒、可冷凝物或腐蚀性介质,它们可能阻塞真空泵或管道系统,影响真空泵的性能,导致压力上升或过压,并造成更大的风险。因此,有必要及时清理,必要时设置过滤设备。  2.有效稀释有害气体的浓度  半导体容易产生上述易燃、易爆和有毒的有害气体。因此,在半导体真空泵的应用中,当提取这些介质时,有必要防止在真空泵或排气过程中发生一些不可控的反应。例如,当与空气或氧气接触时,SiH4、PH3、AsH3、B2H6和其他物质会引起燃烧甚至爆炸。当空气中氢的混合比例达到一定程度和温度时,也会发生燃烧。这些都取决于物质的数量及其与环境压力和温度的关系。因此,当半导体真空泵抽取这些介质时,在压缩之前,需要惰性气体如氮气将这些气体稀释到当前条件下的安全范围。  3.注意氧气的浓度  如果空气中的氧气浓度过高,也会发生燃烧和爆炸的危险。因此,在某些情况下,应注意氧气的浓度,并应使用惰性气体稀释氧气,以防止浓度过高。假设油封机械泵可能需要使用一些惰性氧兼容的真空泵油,并及时更换滤油器和油品。  4.防止温度过高  理解这一点更容易。在半导体在真空泵中的应用中,有许多有害气体。但是,无论是干式真空泵还是油封机械泵,如果泵腔内温度过高,易燃、易爆和有毒气体在高温下很容易产生危险。  当...
发布时间: 2020 - 02 - 24
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当确定真空系统的配置时,设备能够达到的极限压力取决于从系统外部到系统内部的总泄漏率Qo和由虚拟泄漏形成的总“泄漏”率∑Q1以及泵送系统的有效泵送速度的总和。  真空技术中的泄漏孔指的是小孔、缺陷或间隙,以及可渗透元件或气体泄漏装置,当密闭容器内外的气体压力或浓度不同时,这些元件或气体泄漏装置允许气体从容器壁的一侧泄漏到另一侧。由于泄漏孔尺寸小、形状复杂,不能用几何尺寸来表示,因此其尺寸一般用等效电导或泄漏率(称为“泄漏率”)来表示,单位为pa·l/s。  焊缝是真空制造过程中最容易出现漏孔的区域之一。  常见的焊缝外观缺陷和其他缺陷,如未熔合、未焊透、夹渣、气孔、裂纹和内应力等,是超高真空系统中漏孔或虚漏源的隐患。为了最大限度地减少焊接缺陷并便于检查,超高真空要求焊接零件尽可能将焊缝放置在真空侧,大气侧焊缝仅用作断续强化焊缝,而最大数量的焊缝可在制造阶段单独测试,并在最终组装前进行校正。由于一些零件的横截面尺寸较小,内壁的焊接受到限制,一些零件只能使用大气侧焊缝。焊缝应一次焊接,以避免两次焊接造成的有害空间。因此,有必要保证单面焊和双面成形的良好效果。  此外,应该指出的是,由于压力差、振动、热循环和其他原因在接头中产生的应力和应变可能导致包含缺陷的焊缝中出现裂纹,从而对焊缝造成损坏,或者焊缝在使用过程中可能被腐蚀,这可能形成泄漏点。  因此,所采用的焊接方法必须能够使焊缝的泄漏率满足这些条件下的技术要求。  目前,不锈钢广泛用于超高真空容器。应该说不锈钢的可焊性和可焊性都很好。为什么要提出超高真空容器对焊缝的要求?原因是超高真空容器要求很低的泄漏率,这也对焊缝的密封性能提出了严格的要求。微小泄漏难以检测、修复和消除。实践证明,非超高真空容器常用的压力检漏方法不能满足超高真空容器的漏率要求,即在压力检测找不到漏点的情况下,氦质谱检漏仍可能发现漏孔,不能满足漏率要求...
发布时间: 2020 - 02 - 24
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旋片真空泵运行中的注意事项  旋片式真空泵的转子以一定的偏心距离安装在泵壳内,并靠近泵壳内表面的固定表面。两个(或更多)旋片安装在转子槽中。当转子旋转时,旋片可沿其径向槽来回滑动,并始终与泵壳内壁接触。旋片与转子一起旋转,将真空泵室分成几个可变容积。操作旋片真空泵时注意以下事项:  1、检查油位,停止油泵油至油标中心为宜。过低不能将油密封到排气阀上,影响真空度。如果过高,在大气中启动时会导致燃油喷射。在运行过程中,油位有所上升,这是正常现象。油应为指定品牌的清洁真空泵油,从注油孔加入。加注后,应拧紧螺塞。应过滤油,以避免异物进入堵塞油孔。  2.泵可以在大气压或任何真空度下一次启动。如果电磁阀安装在泵端口,则应与泵同时运行。  3.当环境温度过高时,油温将升高,粘度将降低,饱和蒸汽压将升高,这将导致极限真空降低,尤其是热电偶测得的全压力。如果加强通风和散热或提高泵油性能,极限真空可以得到改善。  4.应根据压缩水银真空计检查真空泵的极限真空。如果压力表经过充分的预测试,泵的温度达到稳定的水平,泵的端口直接连接到压力表,并且在运行的30分钟内将达到极限真空。总压力表测量的值与泵油、真空计和调节误差有关。有时误差甚至可能非常大,只能用于参考。  5.如果相对湿度较高,或者泵送气体中含有较多的可冷凝蒸汽,在连接泵送容器后,宜在移动20~40分钟后打开空气压力阀,关闭空气压力阀。停泵前,可打开气动阀空载运行30分钟,以延长泵油的使用寿命。  旋片真空泵的故障处理  如果旋片真空泵运行不正常,往往会出现故障,如旋片真空泵真空度下降、喷油、冒烟、油封漏油、噪音等。以及真空泵油在泵内乳化的现象等。在这种情况下,首先不要惊慌,关机后再逐一消除。以下是一些故障排除方法。  一、旋片式真空泵的烟雾和喷油:指运行中从旋片式真空泵排气口喷出的烟雾或喷油。  故障1,抽烟。如果泵刚开始运转时有烟,这...
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