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2021 - 04 - 28
半导体工艺真空主要用在真空干法刻蚀,真空吸附,测试设备,真空清扫,蒸发,溅射,PECVD等键合工序,半导体生产制造过程中容易产生易燃易爆以及有毒的物质气体,会对生产及人员安全造成威胁。根据半导体真空工艺的应用,深圳真空泵厂家恒才机电设备公司讲讲半导体真空泵应用时需要注意的几个安全事项,欢迎查阅。半导体真空泵应用的4大注意事项:第一、有效稀释有害气体的浓度:半导体易产生前面所说的易燃易爆、有毒的有害气体。所以半导体真空泵应用中在抽取这些介质时就必须防止它们在真空泵内或者排气过程中发生一些不可控的反应。比如AsH3、B2H6、SiH4、PH3等物质,在与空气或氧接触的时候,会引起燃烧甚至爆炸;氢气在空气中的混合比例达到一定程度与温度时也会发生燃烧。这些都取决于该物质的量以及与环境的压力、温度的关系。因此半导体真空泵在抽取这些介质时,需要用氦气之类的惰性气体,在压缩前即将这些气体稀释到当时条件下的安全范围。第二、定期清洗真空泵及其他附件、管道,过滤、避免超压:半导体真空泵应用时,抽取介质过程中经过反应室与真空泵,其成分可能极为复杂,如SiH4与O2在泵口形成SiO2,TiCl4水解会形成HCI;假设是油封式机械泵,这些气体物质还可能与泵油发生化反。这些变化假设形成颗粒、可凝物或者腐蚀性介质,就可能堵塞真空泵或管路系统,影响真空泵性能,造成压力上升或超压,一点中提到的危险性也更大。因此需要...
2021 - 05 - 17
为了节省成本,旋片式真空泵的某些用户使用常规油代替真空泵的专用油。实际上,这不仅在一定程度上增加了使用和维护真空泵的成本,而且严重影响了真空泵的使用寿命。在旋转叶片真空泵中,来自真空泵的油不仅用作获得真空的介质,而且还起到润滑,冷却和密封机械摩擦点的作用。作为旋片式真空泵不可缺少的物质,真空泵油的存在为真空泵带来很多好处。  然后有人会问液压油可以替代真空泵油吗?答案是否定的。每种类型的油都有其特性。由于液压油必须始终承受一定的压力,因此它将产生更多的热量,因此它必须能够承受高温。真空油在真空泵中起润滑和密封的作用。因此,真空泵油必须具有良好的润滑效果。在真空泵的工作过程中,泵还会通过压缩空气来产生热量。因此,真空泵油必须承受一定的温度,同时,泵油必须与真空环境接触,因此要求泵油不得挥发。  此外,还有用汽油绝对不可以汽油容易弄脏和着火,它是汽车和摩托车的动力燃料,没有润滑功能。可以用轻机油或20号变压器油代替真空泵的内部,即绝缘,润滑和散热。  使用真空泵油的注意事项:  1.为确保真空系统的正常运行,在使用,储存和运输过程中,防止机械杂质和水等污染物进入,以免影响真空油的使用寿命和系统的正常运行。  2.废油中通常含有大量污染物和老化产物,会严重影响新油的质量和寿命,因此,在更换机油时,必须清洁油箱和油路。从泵的吸入口倒出新油,然后用手缓慢旋转泵轴以清洁泵腔并排干所有残留的油,...
2021 - 06 - 01
往复式真空泵、旋片式真空泵、滑阀真空泵和罗茨真空泵使用往复式或旋转活塞吸入、压缩和排出气体。它的优点是刚投入使用的泵真空度比较高,但活塞是运动部件,所以活塞磨损是不可避免的。随着检查次数的增加,工作间隙会不断缩小,直至无法满足生产要求。这类泵运行噪音大、油耗高、故障率高,也是致命的不足。一般需要开一个更换,无形中增加了设备的投资和运行成本。此外,如果这种类型的泵用于泵送水蒸气等可冷凝气体,它会使润滑油乳化。因此,它只能用于泵送不可凝气体(空气),不能用于泵送颗粒。用颗粒也限制了它的应用范围。  水环真空泵是以安装在泵壳内的带有多个叶片的偏心转子旋转,将水抛入泵壳内形成与泵壳同心的水环。水环和转子叶片形成体积的周期性变化以吸入气体、压缩和排出。它的优点是可以直接在低真空下泵送蒸汽等可凝性气体。其缺点是真空度低;不能吸出颗粒状介质;转子在高速旋转时不易进行防腐处理,因此不能吸入腐蚀性介质。
2021 - 06 - 16
随着干式真空泵的使用率越来越普遍,其质量也在不断提高。由于其特点和优点,被大家广泛使用。为了给大家更好的应用,我们来了解一下干式真空泵的腐蚀修复方法有哪些?  干式真空泵由于长期在空气中或腐蚀性环境中工作,很容易受到腐蚀,所以遇到这种情况一定要及时维修。首先,彻底清洁表面氧化层,并用丙酮清洁表面。严格按比例调和,搅拌均匀至无色差。首先涂上一层薄薄的材料以确保附着力和完全覆盖,然后将材料均匀地涂在修复表面上,以达到所需的修复厚度。材料温度为24小时/24,材料温度每升高11固化时间减半,但温升不得超过材料强度温度。干式真空泵是在泵壳内高速同步反向旋转产生的具有吸排气功能的抽气装置。为防止其功能下降,必须做好日常维护保养,做好防腐工作,减少其他问题的发生。  以上就是干式真空泵腐蚀修复方法。希望您在以后的交易过程中参考以上方法,避免盲目交易造成的损失。如果您需要,您可以联系我们。我们是专业生产厂家根据公司的具体需求推荐合适的,避免盲目选择造成损失。
2021 - 06 - 30
罗茨真空泵故障检修  一、极限压力达不到  1. 管道系统漏气,系统检查即可。  2. 泵体部分漏气,检查泵。  3. 前级泵极限压力下降,修理或更换前级泵。  4. 油封磨损,更换油封。  5. 进气温度过高,影响极限压力。  二、抽速不足  6. 管道通道能力不足,增大管道通道能力。  7. 前级泵抽速下降,修理或更换前级泵。  三、电机过载  8. 入口压力过高,调整控制入口压力。  9. 转子端面与端盖单面接触,调整转子端面间隙。  10. 前级泵返油或水进罗茨泵腔,加装或更换单向阀。  11. 采用机械式自动调压旁通阀。  12. 采用液力联轴器。  13. 采用真空电气元件控制泵入口压力。  四、泵体过热  14. 选择前级泵抽速不够,造成的压缩比过大,重新选用前级泵。  15. 入口压力过高,调整控制入口压力。  16. 冷却不足,畅通加大冷却水。  17. 转子与泵壳接触,检修。  18. 齿轮润滑油过多,调整油量。  19. 齿轮轴承油封润滑不足,保证油量适当,润滑良好。  五、声音异常  20. 装配不良,返修。  21. 同步齿轮与转子位置偏移,转子互相接触。调整位置,保证间隙。  22. 入口压力过高,调整控制入口压力。  23. 过载或润滑不良,造成对齿轮的损伤,更换同步齿轮。  24. 轴承磨损,更换轴承。  25. 齿轮箱油量不够,按要求加油。  26...
2021 - 08 - 09
罗茨螺杆真空机组也可称为螺杆三罗茨真空机组,这是因为罗茨螺杆真空机组是由康斯顿品牌的螺杆真空泵、及三台罗茨真空泵组合而成,选用罗茨真空泵的优势是在较低的入口压力时仍具有较大的抽气速率;而康斯顿新一代高品质螺杆真空泵,解决了对介质和环境造成污染的问题,同时回收物还能创造附加经济效益;可应用于化工行业应用、或是有机溶剂行业。上述为罗茨螺杆真空机组的概述及配置选用的原因,下面简单介绍下螺杆三罗茨真空机组工作原理、其他真空系统基本配置。罗茨螺杆真空机组工作原理:1.打开冷却水、冷冻液供应阀门,确保冷凝器和回收器工作条件具备后,先启动螺杆真空泵,在系统内建立真空;2.打开被抽反应釜阀门,被抽气体经反应釜本身自动的冷凝器和回收分离后,到达真空系统的前置综合处理器,再进行充分冷凝、捕集、分离、压缩后,被螺杆真空泵抽出;3.被抽气体排出螺杆真空泵后,再经过排气冷凝、分离、回收后进一步降低排放气体中的可凝气体含量,环保节能的真空机组解决方案。罗茨螺杆真空机组配置:罗茨真空泵、螺杆真空泵、冷凝器、热交换器如需了解更多真空泵系统、真空泵应用行业、真空解决方方案设计制定等,可致电深圳恒才机电设备有限公司,将为您提供真空设计方案、真空泵设备、真空系统安装、真空泵售后维保等一站式服务。
2021 - 09 - 10
选择油旋片真空泵作为罗茨泵的前级泵,可发挥哪些优势,罗茨旋片真空机组搭配应用特点是什么?1.配置GVS油润滑旋片真空,具有0.1-1mbar的极限真空度,16-840立方米每小时的高抽速,旋片泵温度低于其他设备,有优化保油能力,润滑油寿命更长等特点2.选用JRP150-2000罗茨真空泵,具有大抽速优势(153-2050每立方每小时),罗茨真空泵真空度可达0.05pa,结构紧凑,易于安装,搭配各类真空机组及真空系统。3.罗茨旋片真空机组应用范围广,可用于食品、电子元件真包装、玻璃板的吊运、木板/塑料板吸持、造纸和印刷行业,纸板装卸输送等等4.罗茨旋片真空机组采用了JSP罗茨泵+GVS旋片泵,以达到所需真空度要求,相比于单独真空泵使用,罗茨旋片真空机组的搭配适用行业也更多。深圳恒才机电设备有限公司专注于真空泵领域,是深圳真空泵生产厂家之一,恒才机电拥有技术团队研发生产真空泵产品,所研发的真空泵(水环真空泵、罗茨真空泵、旋片真空泵、螺杆真空泵)、真空系统、真空机组等产品广泛应用于食品、制药、医疗、化工、家居、电子电池、水环境等行业,并为客户量身定制行业应用解决方案。
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发布时间: 2025 - 08 - 22
来源: 1288
将玻璃精雕机的真空发生器改造成集中抽真空系统,需从系统整合、管路优化、真空源升级、智能控制、密封与维护五个方面进行系统性改造,以实现多工位集中抽真空、压力精准调节及高效运行,具体改造步骤如下:一、系统整合:构建集中真空源核心设备选型:选用大流量真空泵(如水环式或螺杆式)作为集中真空源,其流量需覆盖所有工位需求。例如,若单台精雕机真空流量为50m³/h,改造后需支持4台同时运行,则真空泵流...
发布时间: 2020 - 02 - 27
来源: 50
液环真空泵(简称水环泵)是一种粗真空泵,可获得2000-4000帕的极限真空,液环真空泵与真空泵组成的机组真空度可达1-600帕。水环泵适用于输送气液混合物。这种泵也可以用作空气泵和空气压缩机。它产生高绝对真空。压缩比取决于旋转水环的压力以及侧壁上排放口的大小和形状。水环泵也可用作压缩机,称为水环压缩机,属于低压压缩机,其压力范围为1 ~ 2× 10 5pa表压。  水环泵最初用作自吸泵,然后逐渐用于许多工业部门,如石油、化学工业、机械、采矿、轻工业、医药和食品。在许多工业过程中,如真空过滤、真空引水、真空进料、真空蒸发、真空浓缩、真空回潮和真空脱气,水环泵被广泛使用。由于真空应用技术的迅速发展,水环泵在获得原油真空方面受到了重视。由于水环泵中的气体压缩是等温的,易燃易爆气体以及含尘和含水气体都可以去除。因此,水环泵的应用日益增多。其他合适的液体也可以用作水环真空泵的工作流体。无论使用哪种工作流体,都统称为液环真空泵。水环真空泵是最常见的液环真空泵。  最广泛使用的泵。泵体充满适量的水作为工作流体。当叶轮在图中顺时针旋转时,水被叶轮甩来甩去。由于离心力的作用,根据泵室的形状,水形成厚度大致相等的闭合环。水环下部的内表面正好与叶轮轮毂相切,水环上部的内表面正好与叶片的尖端接触(事实上,叶片在水环中具有一定的插入深度)。此时,在叶轮轮毂和水环的内界面之间形成新月形空间,并且该空间被叶轮叶片分成几个与叶片数量相等的小腔。如果以叶轮的下部为起点,当叶轮旋转180度前,小室的容积由小变大,小室与端面上的吸入口连通,此时吸入气体,当吸入结束时,小室与吸入口隔离;当叶轮继续旋转时,小室由大变小,使气体被压缩;当小室与排气口连通时,气体从泵中排出。综上所述,水环泵通过改变泵腔的容积来实现吸入、压缩和排出,因此属于变容积真空泵。液环真空泵结构简单,不需要抽排气阀,工作稳定可靠,泵内...
发布时间: 2020 - 02 - 25
来源: 67
如果旋片真空泵运行不正常,往往会出现问题,如旋片真空泵真空度下降、喷油、冒烟、油封漏油、噪音等情况,以及真空泵油在泵内乳化等。如果出现这种情况,首先不用担心,今后就按照故障逐一等待关机扫描。这里有一些解决问题的方法。  1.旋片真空泵吸油和喷油:这意味着旋片真空泵在工作时在排气口吸油或喷油。  1、吸烟时,如果泵刚刚开始工作,有冒烟现象,恢复正常,如果长时间吸烟不正常。如何处理:烟雾表示修理泵进气口外的管道、阀门和容器。泄漏检测将在未来处理,吸烟将结束。涡街流量米  2、燃油喷射,说明进气口外有许多泄漏点,甚至进气口都暴露在大气中。如何处理:密封泵的进气口,使泵工作,如果没有油注入,澄清泄漏点;排气阀片损坏,检查排气阀片是否损坏,更换损坏的排气阀片。  2.旋片真空泵的噪声:这里指的是泵的噪声。  1.当钢瓶被敲击时,泵发出不规则的噪音,像金属撞击金属的声音。这是转子撞击泵体时发出的声音。这种情况主要是由于配套旋转板之间的拉簧断裂造成的,可能是收缩或弹出故障造成的。处理方法:翻转泵,看看螺旋弹簧是否损坏。更换弹簧。  2、排气阀片发出噪音,首先是泵排气阀片损坏。如何处理:更换排气阀片。  3.旋片真空泵真空度下降:指目前测得的旋叶真空泵真空度低于工厂目标或以前使用的真空度。真空度低有很多原因。以下是一些基本条件。  1.这次添加的旋片真空泵油的商标与原来的不同。不同品牌的真空泵油有不同的结果,因为不同品牌的油的全蒸汽压不同。处理:根据货物的型号标准更换正确的新真空泵油。  2.另一个原因是由真空泵油形成的真空度低,即真空泵油被乳化和脱色,并且可能太脏。处理:排空泵内的所有真空泵油,更换同类型的真空泵油,并处理泵内泵送气体进入中的水蒸气和杂质。  3.泵送气体的温度可能过高。处理方法:降低泵送气体的温度或增加相应的热交换器。  4.泵中的油道可能不平滑,并且一定量的油没有保留...
发布时间: 2020 - 02 - 25
来源: 78
离心泵出口的止回阀的作用就是防止出口管路中的液体倒流形成水锤造成泵内叶轮损伤。  止回阀的安装与泵的多少无关,止回阀主要为了在泵停止运行后,防止液体回流,使泵倒转,从而造成损坏泵的事故,并且为了防止液体倒流对其他储罐等的损坏(从高位罐倒流会造成罐补抽坏)。因此最好加上止回阀。  如果能保证停泵前先关闭出口阀,且出口阀不内漏或损坏,也可以不安止回阀。  离心泵出口止回阀门'止回阀'的选型  一般的泵站工程情况,对于泵出口止回阀的选择,应遵循以下原则;  1、对泵出口管路口径较小的管路,即DN ≤50mm时,应选用升降式止回阀。  2、对泵出口管路口径DN50mm的管路,应选用旋启式止回阀旋启式止回阀可以水平或垂直安装。旋启式止回阀阀瓣绕转轴作旋转运动,其流体阻力一般小于升降式止回阀,它适用于较大口径的场合,安装位置不受限制,通常安装于水平管路,它适用与较大口径的场合。根据阀瓣的数目可分为单瓣旋启式、双瓣旋启式及多瓣旋启式三种。单瓣旋启式止回阀一般使用与中等口径的场合。大口径管路选用单瓣旋启式止回阀时,为减小水锤压力,最好采用能减小水锤压力的缓闭止回阀。双瓣旋启式止回阀适用与大中口径管路。对夹双瓣旋启式止回阀结构小、重量轻,是一种较快的止回阀;多瓣旋启式止回阀适用与大口径管路。  离心泵出口止回阀的安装  ① 旋启式止回阀一般安装在水平管道上:对于口径DN~80mm的止回阀,也可安装在垂直或向上倾斜的管道上。  ② 直通式升降式止回阀应安装在水平管道上;立式升降式止回阀必须安装在垂直管道上,介质为自下而上流动。  ③ 由于止回阀容易损坏,因此,应靠近泵出口安装止回阀,在止回阀上部设有切断阀(一般用球阀或闸阀),方便检修。  ④ 为便于止回阀拆卸前泄压,对于止回阀本身不带放净阀的,应在止回阀与切断阀之间加装泄压用放净阀。  防止水力冲击对止回阀密封面损坏的保护措施...
发布时间: 2020 - 02 - 25
来源: 52
性价比高、技术可靠性强、使用寿命长是旋片真空泵多年来得到广泛应用的重要因素。旋片真空泵具有油润滑和密封结构,因此影响旋片真空泵可靠性和使用寿命的最重要因素是泵内蒸汽和化学物质的侵蚀以及润滑剂的老化。  1.蒸汽提取  大多数旋片真空泵制造商将详细解释设备在百帕时的蒸汽容差或克/小时时的蒸汽容量。这些信息指的是水蒸气。当气动阀打开且真空泵处于工作温度时,如果入口压力低于给定值,泵送的水蒸气不能冷凝。在干燥过程中,泵的尺寸不是由根据蒸汽量的泵速决定的,而是由每单位时间收集的水量决定的。因此,必须用关闭的真空侧阀和打开的空气压力阀预热泵约15至30分钟,以达到其最佳工作温度(油)(约70-80℃)。只有在正确的操作温度下,蒸汽才能通过打开的气动阀泵出。高真空阀门的延迟开启可以很容易地集成到控制系统中。  泵压过程完成后,建议打开气动阀,让真空泵继续运行约15分钟,这样泵体内剩余的蒸汽可以通过排气装置排出。该过程再生工作流体,以防止停滞腐蚀和可能的泵故障。  必要的泵前和泵后操作可通过定时工具轻松集成到控制器中。如果系统需要低于1至2百帕极限压力的空气压力,则需要两级旋片真空泵。值得注意的是,两级旋叶真空泵的蒸汽容限和蒸汽容量将低于单级泵。  2.工作流体  使用旋叶式真空泵时,工作流体(即真空泵油)主要负责三个重要功能:密封、润滑阀门和轴承、传导铝壳上的压缩和摩擦热以冷却泵体。  用传动装置和润滑剂保持油位是所有油封旋转叶片泵和真空泵的重要预防性维护和日常维护。如果油位下降过低,泵系统将无法再润滑。由于缺乏润滑,泵系统的运行将被阻塞,最终导致泵故障。油位过低也会妨碍压缩热的最佳消散。泵过热会导致工作流体快速老化。缺乏润滑和形成油碳最终会导致泵故障。因此,必须确保泵的油位不能低于观察镜的中间位置。  需要定期检查工作流体的颜色、粘度和污染物。如果工作液中的水分含量超过5%,就会呈现...
发布时间: 2020 - 02 - 25
来源: 51
旋片真空泵的噪声通常是指当泵的温度稳定时,在极限真空下测得的噪声水平。它包括泵本身的噪音和电机的噪音。对于用户来说,它还关注旋片真空泵温度不稳定时的启动阶段的噪声、不同入口压力下的操作噪声以及气体开启镇流器的操作噪声。因此,应该考虑许多因素。  根据声音产生的位置,旋片真空泵的噪音可分为以下几个方面:  (1)转子对缸体的冲击,泵的剩余容积和排气死区中的压力油的声音产生;  (2)排气阀片对阀座和支架的冲击;  (3)箱内回声和气泡破裂;  (4)轴承噪声;  (5)大量气体和油冲击挡油板产生的噪音;  (6)其他。如传动噪声、风冷泵风扇噪声等。  (7)电机噪声,这是一个关键因素。  对旋片真空泵设计和处理方案的建议如下:  1.旋转板对气缸壁的影响  如果使用不当的设计、制造或材料导致转子板滑动不顺畅,或者因为存在死气隙,不可压缩的油导致转子板头部不总是靠近气缸壁,这将导致转子板撞击气缸壁。因此,采用圆弧面分隔进出口的结构是合适的。用排气导槽消除死区。采用线分离结构时,排气终点到切点的距离应尽可能缩短。对于70l/s以下的旋叶泵,考虑到旋叶的实际厚度,建议取7 ~ Lomm,大泵取大值。当其过近时,由于转子转子槽的存在和只有一条窄条与转子头接触,一旦转子旋转到切点,密封效果不好,这将影响泵送速度甚至泵的极限压力。可以看出,这种结构不能完全消除排气死区,限制了降噪水平。  应该指出,转子和槽之间的间隙过大会降低性能。因此,必须保证合理的公差配合和形位公差值,注意转子板的热膨胀,避免转子板与槽之间的擦伤,注意油的冷油粘度,设计足够的转子板弹簧力。采用圆弧面分离时,转子中心的附加偏心值不宜过大。否则,当转子穿过两个圆弧时,它将倾向于在交点处脱离气缸壁,从而产生冲击噪声。一般来说,小泵只有0.20 ~ 0.25毫米,而大泵可以适当增加。  排气死区中的压力油和剩余容积中的压力油...
发布时间: 2020 - 02 - 25
来源: 47
疫情还没完全结束,  复工安全管理你知道怎么做吗?  关注人的问题  一是员工安全问题。员工复工,疫情防控压力也随之增大。企业应给员工提供复工指南,办公室防疫手册,要提醒员工做好4个防疫准则,戴口罩、勤洗手、勤通风、同事之间保持距离。  二是岗位缺员问题。受疫情影响,假期延长,停工企业外地员工返回后不能立即到岗,导致一线生产职工人力不足。建议企业组织人资、生产、设备、安全部门对岗位人力满足情况和人员安全生产能力进行一次评估,按照关键岗位员工到岗情况,确定复工时间。  三是人员心理问题。许多员工复工返岗后自由散漫的心还没有收回来,心思并没有真正回到工作岗位上,容易发生“三违”行为。建议企业在复工复产期间,安全管理人员要经常深入生产现场提醒与监督,同时严格落实领导干部带班制度,抓好反“三违”管理。  关注员工的复产问题,  还有我们的生产“复工设备”  一起来了解吧~  关注设备,实施管理  对装置开泵前的设备调试和吹扫、置换、气密试验等重要作业,以及装置开停泵流程、设备运转、公用工程启动等重要步骤,实施责任人签字确认制度,进行安全条件审核确认。  加强设备设施的管理。  一是检查设备的检验周期是否符合要求,  二是对管道、弯头减薄等设备腐蚀要进行一次风险识别判断;  三是动静设备存在的隐患是否得到消除;  四是报警联锁等是否完备在用、好用、管用。  看完泵的实施管理  还有泵的正确“操作方式”  一起记住它吧~  关注机械泵的维护  ①真空泵设备的启动,停用多日的真空泵启动时,请不要直接启动,应该先转动电机风叶至少三圈后再启动。如果连续启动三次后还停止机器,并用手盘动主机 ,再次启动机器!这样操作,可有效避免开机时供油不及时机头卡死的现象。  ②真空泵设备的停车,真空泵设备在进行停车的时候,要注意(如进气管有阀门)关闭进气管上的阀门,之后也就应该要关闭供水管,且要注意疾速关停...
发布时间: 2020 - 02 - 24
来源: 94
罗茨真空泵是一种机械真空泵,具有一对同步高速旋转的鞋底形转子。该泵不能单独泵送空气。前级需要配备油封、水环等。直接排放空气。其结构和工作原理与罗茨鼓风机相似。其吸入口与真空容器或真空系统的主泵相连。真空泵的转子和转子之间以及转子和泵壳之间没有接触。  间隙一般为0.1 ~ 0.8毫米;不需要用油润滑。转子轮廓包括圆弧、渐开线和摆线。渐开线转子泵体积利用率高,加工精度容易,因此转子型线多为渐开线。罗茨真空泵的转速可达3450~4100转/分。抽气速率为30-10000升/秒(1升=10-3米);  罗茨真空泵是一种机械真空泵,具有一对同步高速旋转的鞋底形转子。该泵不能单独泵送空气。前级需要配备油封、水环等。直接排放空气。其结构和工作原理与罗茨鼓风机相似。其吸入口与真空容器或真空系统的主泵相连。真空泵的转子和转子之间以及转子和泵壳之间没有接触。  间隙一般为0.1 ~ 0.8毫米;不需要用油润滑。转子轮廓包括圆弧、渐开线和摆线。渐开线转子泵体积利用率高,加工精度容易,因此转子型线多为渐开线。罗茨真空泵的转速可达3450~4100转/分。抽气速率为30-10000升/秒(1升=10-3米);单级的极限真空为6.5×10-2帕,双级为1×10-3帕。  罗茨泵的极限真空不仅取决于泵本身的结构和制造精度,还取决于前级泵的极限真空。为了提高泵的极限真空度,罗茨泵可以串联使用。罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的连续旋转,泵送的气体从空气入口被吸入转子和泵壳之间的空间v0,然后通过空气出口排出。由于v0空间在吸入后完全关闭,泵室内的气体不会被压缩和膨胀。然而,当转子的顶部围绕排气口的边缘转动并且v0空间与排气侧连通时,由于排气侧的高气体压力,一些气体冲回到空间v0中,导致气体压力突然增加。当转子继续旋转时,气体离开泵。罗茨泵在泵室中,有两个“8”形转子安装在一...
发布时间: 2020 - 02 - 24
来源: 85
半导体工艺真空主要用于键合工艺,如蒸发、溅射、等离子体化学气相沉积、真空干法刻蚀、真空吸附、测试设备、真空清洗等。半导体生产制造过程中容易产生易燃、易爆、有毒物质和气体,对生产和人员安全构成威胁。因此,半导体真空泵应用中的几个安全注意事项如下:  1.定期清洁真空泵和其他附件、过滤器和管道,以避免过压。  在半导体真空泵的应用中,当介质在介质提取过程中通过反应室和真空泵时,介质的组成可能极其复杂。例如,四氯化硅和氧气在泵口形成二氧化硅,而四氯化钛水解形成盐酸。假设是油封机械泵,这些气体物质也可能与泵油发生反应。这些变化假定形成颗粒、可冷凝物或腐蚀性介质,它们可能阻塞真空泵或管道系统,影响真空泵的性能,导致压力上升或过压,并造成更大的风险。因此,有必要及时清理,必要时设置过滤设备。  2.有效稀释有害气体的浓度  半导体容易产生上述易燃、易爆和有毒的有害气体。因此,在半导体真空泵的应用中,当提取这些介质时,有必要防止在真空泵或排气过程中发生一些不可控的反应。例如,当与空气或氧气接触时,SiH4、PH3、AsH3、B2H6和其他物质会引起燃烧甚至爆炸。当空气中氢的混合比例达到一定程度和温度时,也会发生燃烧。这些都取决于物质的数量及其与环境压力和温度的关系。因此,当半导体真空泵抽取这些介质时,在压缩之前,需要惰性气体如氮气将这些气体稀释到当前条件下的安全范围。  3.注意氧气的浓度  如果空气中的氧气浓度过高,也会发生燃烧和爆炸的危险。因此,在某些情况下,应注意氧气的浓度,并应使用惰性气体稀释氧气,以防止浓度过高。假设油封机械泵可能需要使用一些惰性氧兼容的真空泵油,并及时更换滤油器和油品。  4.防止温度过高  理解这一点更容易。在半导体在真空泵中的应用中,有许多有害气体。但是,无论是干式真空泵还是油封机械泵,如果泵腔内温度过高,易燃、易爆和有毒气体在高温下很容易产生危险。  当...
发布时间: 2020 - 02 - 24
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当确定真空系统的配置时,设备能够达到的极限压力取决于从系统外部到系统内部的总泄漏率Qo和由虚拟泄漏形成的总“泄漏”率∑Q1以及泵送系统的有效泵送速度的总和。  真空技术中的泄漏孔指的是小孔、缺陷或间隙,以及可渗透元件或气体泄漏装置,当密闭容器内外的气体压力或浓度不同时,这些元件或气体泄漏装置允许气体从容器壁的一侧泄漏到另一侧。由于泄漏孔尺寸小、形状复杂,不能用几何尺寸来表示,因此其尺寸一般用等效电导或泄漏率(称为“泄漏率”)来表示,单位为pa·l/s。  焊缝是真空制造过程中最容易出现漏孔的区域之一。  常见的焊缝外观缺陷和其他缺陷,如未熔合、未焊透、夹渣、气孔、裂纹和内应力等,是超高真空系统中漏孔或虚漏源的隐患。为了最大限度地减少焊接缺陷并便于检查,超高真空要求焊接零件尽可能将焊缝放置在真空侧,大气侧焊缝仅用作断续强化焊缝,而最大数量的焊缝可在制造阶段单独测试,并在最终组装前进行校正。由于一些零件的横截面尺寸较小,内壁的焊接受到限制,一些零件只能使用大气侧焊缝。焊缝应一次焊接,以避免两次焊接造成的有害空间。因此,有必要保证单面焊和双面成形的良好效果。  此外,应该指出的是,由于压力差、振动、热循环和其他原因在接头中产生的应力和应变可能导致包含缺陷的焊缝中出现裂纹,从而对焊缝造成损坏,或者焊缝在使用过程中可能被腐蚀,这可能形成泄漏点。  因此,所采用的焊接方法必须能够使焊缝的泄漏率满足这些条件下的技术要求。  目前,不锈钢广泛用于超高真空容器。应该说不锈钢的可焊性和可焊性都很好。为什么要提出超高真空容器对焊缝的要求?原因是超高真空容器要求很低的泄漏率,这也对焊缝的密封性能提出了严格的要求。微小泄漏难以检测、修复和消除。实践证明,非超高真空容器常用的压力检漏方法不能满足超高真空容器的漏率要求,即在压力检测找不到漏点的情况下,氦质谱检漏仍可能发现漏孔,不能满足漏率要求...
发布时间: 2020 - 02 - 24
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旋片真空泵运行中的注意事项  旋片式真空泵的转子以一定的偏心距离安装在泵壳内,并靠近泵壳内表面的固定表面。两个(或更多)旋片安装在转子槽中。当转子旋转时,旋片可沿其径向槽来回滑动,并始终与泵壳内壁接触。旋片与转子一起旋转,将真空泵室分成几个可变容积。操作旋片真空泵时注意以下事项:  1、检查油位,停止油泵油至油标中心为宜。过低不能将油密封到排气阀上,影响真空度。如果过高,在大气中启动时会导致燃油喷射。在运行过程中,油位有所上升,这是正常现象。油应为指定品牌的清洁真空泵油,从注油孔加入。加注后,应拧紧螺塞。应过滤油,以避免异物进入堵塞油孔。  2.泵可以在大气压或任何真空度下一次启动。如果电磁阀安装在泵端口,则应与泵同时运行。  3.当环境温度过高时,油温将升高,粘度将降低,饱和蒸汽压将升高,这将导致极限真空降低,尤其是热电偶测得的全压力。如果加强通风和散热或提高泵油性能,极限真空可以得到改善。  4.应根据压缩水银真空计检查真空泵的极限真空。如果压力表经过充分的预测试,泵的温度达到稳定的水平,泵的端口直接连接到压力表,并且在运行的30分钟内将达到极限真空。总压力表测量的值与泵油、真空计和调节误差有关。有时误差甚至可能非常大,只能用于参考。  5.如果相对湿度较高,或者泵送气体中含有较多的可冷凝蒸汽,在连接泵送容器后,宜在移动20~40分钟后打开空气压力阀,关闭空气压力阀。停泵前,可打开气动阀空载运行30分钟,以延长泵油的使用寿命。  旋片真空泵的故障处理  如果旋片真空泵运行不正常,往往会出现故障,如旋片真空泵真空度下降、喷油、冒烟、油封漏油、噪音等。以及真空泵油在泵内乳化的现象等。在这种情况下,首先不要惊慌,关机后再逐一消除。以下是一些故障排除方法。  一、旋片式真空泵的烟雾和喷油:指运行中从旋片式真空泵排气口喷出的烟雾或喷油。  故障1,抽烟。如果泵刚开始运转时有烟,这...
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