发布时间:
2021
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1.风冷 罗茨真空泵由于气体的传输和压缩而产生热量，这些热量必须从转子散发到壳体。然而，在低压下，气体的传导和对流性能极差，因此转子吸收的热量不易散发，这使转子温度始终高于壳体温度。 由于转子的热膨胀，减小了转子与转子之间，转子与泵壳之间的间隙，特别是当压差也很高时，这尤其严重，甚至使转子卡住并损坏泵。为了使罗茨泵在更大的压差下运行，以扩大使用范围并提高泵的可靠性，有必要尝试消散转子产生的热量，即对转子进行冷却。 为了了解空气冷却的本质，我们首先来看一下真空泵排气侧的气流。在罗茨真空泵中，吸入气体的压缩过程不是连续的，而是突然的。随着转子旋转，吸入气体被锁定在腔体中，并且随着转子旋转，腔体中的气体突然连接到排气口。 由于排气侧的较高气压，排气口中的气体返回到空腔，然后随着转子的旋转而离开泵。在这样的过程中，两个转子在每转中总共执行四个排气过程。 根据上述气流，可以假设，如果每次排放回到泵腔中的气体是冷的，则大量的热量会被吸收到高温泵腔中并吸收热量。气体在排气转子中不断压缩，以达到转子冷却的目的。 空气冷却采用上述原理。在泵的排气口安装密集的散热片。散热片用冷水管冷却，或者将冷却水管直接安装到泵的排气口中，从而冷却排气口中的气体。这种冷却方法可以有效地将罗茨泵转子产生的重量消散到压缩气体中。另外，当排气压力高时，由于气体分子的密度高，所以导热性能更好，冷却效果也更好。 使用此方法可以确保泵在较高的压差下工作。实验表明，罗茨泵运行6个小时，压力差为30托，转子与机壳之间的温差为22度。将其安装在冷却器后的排气口中时，可在85 Torr的压差下长时间工作，温度差不超过17度。一般说来，罗茨真空泵采用空冷后，压差可以增加80托，不带冷却器只能达到1530托。 该冷却方法与环境温度有关，并且当环境温度高时，吸入气体的温度较高。因此散热效果不好。另外，这种方法只能避免由...