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2019 - 09 - 16
世界上每天平均消费大约4000万包意大利面食,使用可靠稳定的真空设备和无油机器设备是制造商为客户提供始终如一的高品质产品的重要保证。面食包装操作需要两个关键部件:旋片真空泵和无油空气压缩机。 spaghetti这个词在意大利语中意为“粘贴”。它指的是由面粉,水或蛋制成的面团。虽然许多人认为最好的意大利面是新鲜的,但备受推崇的意大利厨师和家庭厨师都认为意大利面或干意大利面也同样好吃。这就是面食如此受欢迎的原因。旋片真空泵在制作意面的哪些过程中使用呢?旋片真空泵是油封机械真空泵。其工作压力范围为101325~1.33×10-2(Pa),属于低真空泵。可以单用,也可以作为前级泵使用。广泛应用于冶金,机械,电子,化工,轻工,石油等生产和科研部门。旋片真空泵不适用于去除氧含量过高,爆炸性,腐蚀性和多尘的气体。如果有必要在这种情况下工作,应采取相应的措施,如防爆,防腐和防尘。使用旋片真空泵的意面制作过程:1、处理原料2、制作面坯3、挤出成型4、干燥处理5、裁断6、包装环节7、质量检查环节在旋片真空泵的应用中,除了从包装中提取氧气之外,它还可以干燥面食以延长保质期并改善面食的颜色和气味。真空泵用于对整个生产设施进行抽真空。无油压缩空气为动力传输,清洁设备,压力容器和运输产品提供动力。所使用的无油空气压缩机能够生产零级无油压缩空气,确保没有油与最终产品接触并导致质量问题。
2019 - 09 - 19
实验室真空泵从水循环泵,旋片油泵,到干式无油真空泵,该泵应用非常广泛,高校,科研院所,制药和生化研究,精细化工,生命科学,实验室污水处理,食品检验,石油化工,工业设备,环境工程和使用该设备最常用产品设备。为什么水循环泵和油泵不适合实验室泵,因为传统的水循环泵需要接水源,它定义了泵只能在水槽附近使用,而在水箱中的水也有可能吸;您需要添加泵油,泵油也有可能吸,而泵油需要经常更换,对方就会有一些油雾污染。这两种产品都需要插电源工作。而且无论是在空气,油或废污水排放挥发会影响到实验室环境。实验室的干式无油真空泵与两个常规产品,其特征在于由一个完整的干式操作相比,不需要连接或添加抽水,只是插上电源可以工作,但没有任何污染,可移植性和其它优点,干式无油真空泵具体说明1可以在任何地方使用,而不是限制。如果您使用携带,油泵,水泵会明显限制。无油真空泵可以直接连接到便携式移动电源,所以不受空间的限制。2.更换油泵的需求也消除了将来的维护烦恼。例如,使用的油泵用旋转蒸发器或真空蒸馏装置时,腐蚀性气体污染油泵,并损坏内部部件。例如,使用耐腐蚀的隔膜型的,由于不需要改变泵,机器和接触构件内的气体由聚四氟乙烯材料制成的,具有强的耐化学性,它不改变流体使用烦恼,使用寿命更长。3.无油雾污染,可以在更高的洁净室的使用要求。如果在生物实验室使用的细胞室。格室不能提供水,同时禁止任何油雾污染,无油产品是合适的选择。...
2019 - 10 - 29
随着社会高新科技的发展,越来越多的行业对清理真空、环保等的需求更为严格,避免返油渗油的污染,因此干式螺杆真空泵得到了快速地发展。  干式螺杆真空泵主要用于高纯粹的真空加工工艺过程,可处理含可凝性蒸汽的气体,含细微细颗粒物的气体。螺杆真空泵具有低消耗能、抽速大、使用期长、免 检修等特性,因此广泛应用于石油化工、冶金工业、制药业、生物技术、造纸工业、电子光学工程等行业领域。  螺杆真空泵由电机定子、电机转子、旋片、发动机缸体、电动机等主要零部件构成,在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备。  由于螺杆真空泵没有真空泵物质(真空泵油、水等),通过螺杆真空泵的气体未受真空泵物质的污染。这样螺杆真空泵下冷疑部分转化成过热蒸汽下冷疑,进一步提高有 机溶剂类原材料的利用率,对螺杆真空泵下难冷疑的原材料特别有益。  通过该流程配备,螺杆真空泵排污的废气中已基本可含工业废气。另外,螺杆真空泵排尽气体通过列管式冷疑器的壳程后,噪音也大大降低。  螺杆真空泵与启动马达对比真空度低,抽供气量小,但容积精巧,便于安装,维护简单,移动方便,不环境污染,尤其在要求较高的场所使用也不错。  因此在购买螺杆真空泵时要先确定要求工作的真空度,如果需求的真度高,选的螺杆真空泵就要高过需求的真空度,不然会达不到工作标准。
2019 - 11 - 05
首先,真空泵本身泄漏  1,密封件泄漏。检查密封件,所述更换损坏的密封件的所有的密封件。  2,气镇阀垫片损坏,或拧紧。更换并拧紧垫圈气镇阀。  3,排气阀膜受损,密封不好,阀板应更换。  4,真空泵膜片推干扰的量过多,导致在真空室中泄漏的变形。应更换或修理的真空泵室。  5,由于由密封不良的真空泵油泄漏的端部表面。它应该是开放的端盖,检查有无凹凸不平杂物,清洗或修理。  其次,真空泵油问题  1,把油面高度过低,足够的油应加入到油标准中心线。  2,受污染的油,油质变坏。应该用新油更换。  3,油的等级不匹配,应该通过规定品牌真空泵油的更换。  4,油道屏障,真空室不能维持正确的油。单向阀进油通道和油,油是明确的。  5,过滤器的进气口被堵塞。拆卸过滤器应该是干净,然后把东西。  6,转子被变形或破裂失败弹簧和旋转叶片移动。整修或更换应春具有良好的产品转子旋转叶片的偏转。  7,真空泵温度过高。  1,中的溶液被抽气体温度过高。应该被允许进入加油站前冷却下来。  2,真空泵吸入体是很难磨损。拆卸硬物应该打开真空泵,修复或更换零件划伤。  3,真空泵冷却水是不够的。应该增加冷却水流量。  4,装配不当,转子轴的位移,导致片面的磨损。它应拆开检查和重新组装。  8,由于处理不良或磨损由间隙引起的过大。它应与泵室,转子,旋转叶片,罩板之间的间隙,流延预定的精度修理或更换进行检查。  9...
2019 - 11 - 07
什么是水环真空泵       水环真空泵是液体环真空泵是最常见的一种。液环真空泵是安装在泵壳体中的多叶片转子具有偏心。当它旋转时,液体抛出和泵壳体与所述泵壳的液体环同心,形成体积排量泵和所述转子叶片的液体环旋转周期变化。当工作流体是水,所述水环泵。  水环真空泵工作原理  水环真空泵的叶轮在泵壳内偏心安装。启动前在泵气缸内灌入脱氧水(工作液)。当叶轮顺时针方向旋转时,由于离心力的作用,将液体甩至泵体壁,叶轮的转动迫使工作液沿泵壳内壁形成一个决定于泵腔形状的近似于等厚度的封闭圆环。此时,会在两相邻叶片、叶轮轮毂和液环内表面之间形成一个被工作液密闭的“气腔”。由于叶轮在泵壳内是偏心配置的,所以水环的内表面与叶轮轮毂之间形成一个月牙形空间,它被叶片分成若干容积不等的小室,每个小室的容积随叶轮转动作周期扩大和缩小,当小室容积逐渐扩大,气体由外界吸入,当小室容积逐渐缩小,使原先吸入的气体被压缩而排出。这样,叶轮每转一周,叶片与叶片间的小室容积改变一次。每两叶片间的液体好像液体活塞一样往复运动,连续不断地抽吸气体,达到抽真空的目的。  水环真空泵选型  1、应尽量选择转速较低的规格  我国水环真空泵的使用最可能是2BE 系列,属轴向吸排气单作用泵,关于同一个规格都有多种转速供抉择,当进口压力在200 hPa~600 hPa,排气压力为800 hPa~10...
2019 - 11 - 08
真空泵是非常重要的机械设备,广泛用于生产中,类型很多。您对不同类型的真空泵的工作原理了解多少?以下是为真空泵设计的几种类型的真空泵的小系列。工作原理和适应范围介绍如下。  01.螺杆真空泵  螺杆真空泵的特点:除了容积泵的共同特点外,螺杆真空泵还具有连续轴向流,脉动小,内部速度低以及混合更多空气和其他气体的可能性。应用了液体搅拌和旋转的许多应用。  适用范围:广泛应用于石油,化工,化纤,电力,海上平台工程,造船,精密机床,食品等工业领域。  02.齿轮真空泵  齿轮真空泵的特点:1.结构简单,价格低廉; 2工作要求低,适用范围广; 3个端盖和齿轮之间的各个间隙凹槽构成了许多固定的密封工作室,只能用作定量泵; 4,重量轻,工艺性能好,价格低廉,自吸性强,对油污不敏感,转速范围大,负载抗冲击,易于维护,运行可靠; 5径向力不平衡,动脉流量大,噪音大,效率低,零件互换性差,磨损后不易维修,不能用作可变泵。  适用范围:一般运输石油,润滑油等润滑液体;在机械工业中用作辅助油泵,用于中速,低压力液压系统和润滑油系统;在化学工业中可用于输送高粘度材料,例如尼龙,聚乙烯,聚丙烯和其他熔融树脂。  03.叶片真空泵  叶片式真空泵的特点:输出流量比齿轮式真空泵均匀,运行稳定,噪音小;工作压力高,容积效率也高,单作用叶片真空泵易于实现流量调节,而双作用叶片真空泵受转子径向流体压力平衡。叶片真空泵的寿...
2019 - 11 - 12
一般情况下,水环真空泵以一定转速旋转工作,如果其转速等于或接近泵转轴系统振动频率的倍数,水环真空泵就会发生猛烈的振动,即产生共振。如果转速一直停留在临界转速附近,轴的变形就将速度增大,导致损坏泵的零件,甚至整个机器的破坏。  为了避免共振现象的发生,应首先计算水环真空泵泵轴的固有频率。由于共振时泵的转速等同于临界转速,所以实质的问题是计算水环真空泵的临界转速。第一阶临界转速下,振动激烈,最为危险,所以通常主要计算第一阶临界转速。  目前,计算临界转速的方法有:瑞利法、等效重量法以及邓克尔莱方程法等。对 于 实 际 中的水环真空泵转轴,都是多阶变径轴,使用瑞利法在计算挠度时会变得非常繁琐,单一运用等效重量法和邓克尔莱方程也不能有效的解决。同时现行计算临界转速都是将叶轮载荷简化为集中载荷,当叶轮轴向长度较长时将会严重影响计算准确性。  因此,针对以上问题,本文提出并使用一种新的有效的计算方法,以解决计算转轴系统的临界转速问题。  计算原理该计算首先将阶梯轴通过当量直径来等效转换为等径轴,计算出其临界转速,同时将叶轮等效为均布载荷,利用叠加原理计算挠度,通过瑞利法可计算 出 叶 轮 载 荷 下(不 计 轴 重)的 临 界 转 速。最后运用邓克尔莱方程计算出转动机构的临界转速。  计算结果  选用某型号水环真空泵的转轴系统进行分析,利用MATLAB对数据进行计算,由 于 系 统 材料为30...
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Hot News / 热点新闻
发布时间: 2025 - 12 - 13
来源: 901
在PCB线路板生产中,将分散的小泵集中起来抽真空可通过采用集中真空泵系统替代分散小泵实现,该方案在效率、能耗、稳定性、维护成本及环保性等方面均优于传统分散小泵串联方式,具体实施要点如下:一、集中真空泵系统的核心优势效率提升:多台真空泵组协同工作,通过优化管道设计,可在2-6分钟内将真空度稳定抽至10-30mbar的合格范围,远超单台旋片真空泵或串联泵组的工作效率。节能显著:集中控制与泵组优化运行使...
发布时间: 2020 - 02 - 17
来源: 47
制药业不仅是国民经济的一个部门,还是治疗,预防,保健和计划生育的社会福利事业。由于药物种类繁多,更新迅速,新药开发工作,要求高,难度大,成本高和周期长,因此制剂的生产需要合适的人员,工厂,设备,测试仪器和良好的卫生环境,以及各种必要的配方辅助材料与适用的内部和外部包装材料相匹配。以下编辑人员将分析常见真空设备和真空系统在制药行业中的应用。  真空技术是一种相对先进的技术,已在中国许多领域得到广泛应用。真空技术是中国医药工业发展中的一项重要技术,可以满足医药生产的需要,并可以保证较高的卫生标准。因此,研究真空技术在制药机械行业中的应用具有重要意义。  制药行业常用的真空设备有哪些?  ①真空微波干燥设备。它是一种广泛使用的真空设备。该设备具有药品生产过程中加热速度快,加热效率高的特点,物料的回收率可达到100%。  ②带式真空干燥设备。内径可以达到2400mm,最大长度可以达到19000mm,但也有一些缺点:药物生产的进料不均匀,干燥速度较慢,水含量控制不足等。  ③真空浓缩设备。它是药品生产中常用的机械设备。  在实际使用中,为了达到以下目的:一次提取大量物料,并且提取纯度高,提高了药品的生产质量和生产效果,提高了生产效率,节省了生产成本,促进了生产企业的发展。使用其真空系统产品可延长正常工作时间,并且由于可重复使用,因此可以提高产量并节省成本。它不仅安全,而且即使在相当苛刻的工作环境中也可以毫无故障地工作,并且需要投资收益。  温馨提示,对制药设备的要求:  1.设备的设计,选择,安装,改造和维护必须符合预期用途。应尽量减少污染,交叉污染,混乱和错误,以方便操作,清洁,维护以及必要时进行消毒和灭菌。  2.生产设备对药品不会有任何危害,与药品直接接触的生产设备的表面应光滑,稳定,易于消毒且耐腐蚀。请勿与药品发生化学反应或吸附药品或将物质释放到药品中,以免影响产品质量并造成...
发布时间: 2020 - 02 - 17
来源: 76
制药厂最初使用罗茨-水环真空装置。在生产过程中,系统的最佳真空度约为38Pa,整个装置的功率为62.6kw。现在它正在进行技术改造。即,使用罗茨螺杆真空机组的生产。在生产过程中,系统的最佳真空度为13P,整机功率为33.5kw。接下来,我将比较两者之间的区别以及干式螺杆真空泵在生物医学和化学工业中的优点是什么。  制药业和生物医学工程业是现代制药业的两大支柱。生物医学产业包括生物技术产业和制药产业。生物医学工程是生命科学和工程科学原理和方法的综合应用。从工程角度来看,它可以从分子,细胞,组织,器官和整个人体系统的多个层面了解人体的结构,功能和其他生命现象。用于医疗,人体功能辅助和保健的人造材料,产品,设备和系统技术的总称。生物医学工程行业包括:生物医学材料产品,(生物)人工器官,医学成像和诊断设备,医学电子仪器和监视设备,现代医学治疗设备,医学信息技术,康复工程技术和设备以及组织工程。  在生物医学和化学工业中,罗茨螺杆真空装置与罗茨-水环真空装置之间的比较有四个主要区别:  1、由于罗茨-螺杆真空装置与罗茨-水环真空装置相比降低了29kw,因此可以节省电费。  2、因为原始系统的真空度不够高,所以应该提高加热温度。该系统目前的真空度良好,可以增加投入量,增加月产量,提高产品产量,为公司带来可观的经济效益。  3、最初使用的水环泵,系统抽出的少量物料与水一起排出,这会消耗大量的水,污染水,并消耗大量水。螺杆真空泵无污水排放。排气口装有液气分离装置以回收一些物料。同时,螺杆泵本身耐腐蚀,可以去除酸和碱气体以及大量的水蒸气和粉尘气体。  4、罗茨螺杆真空装置运行非常平稳可靠,维护率极低,维护方便。它是制药,化学和产品蒸馏的理想泵送设备。 干式螺杆真空泵在生物医学和化学工业中的应用推广。  随着中国科学技术的不断发展和进步,我国各行各业不断重视科学技术的研究和探索,并一直侧重于医...
发布时间: 2020 - 02 - 17
来源: 55
目前新型肺炎肆虐,很多人受到影响。大家都希望这场疫情早点结束。恢复我们往日的生活秩序。恒才机电一直关注着疫情的发展,借这次机会向奋斗在一线的医护人员表示深深的敬意。  以诚为本,履行应尽的社会责任。恒才机电与您一起抗疫。公司为了医院和医疗机构的客户专门推出医院中心负压系统。  医用真空负压系统:医用中心吸引系统是由中心吸引站的真空泵机组作为负压源,通过真空泵的抽吸使吸引系统管路到达所需的负压值,在手术室、抢救室、治疗室和各个病房的终端处产生吸力,主要用于吸除病人的污秽物及其他污染物。  系统组成:  负压站,由真空泵机组和真空容器组成的独立操作间,一般包括真空泵、真空罐、分气缸、集污罐、真空仪表、控制柜和连接管道等;  中心吸引站到各病区、各楼层、各病房的管道系统;  吸引管路的末端,插拔式自封快速接头,连接吸引器和吸引瓶等吸引装置;  现有医用负压系统的问题  真空系统前段只配有一道细菌过滤器,且只关注0.2~0.5μm以上粒径的去除比例,对低于这个粒径过滤不佳,对细菌有一定过滤效果,难以过滤病毒。  未配备加热设备,进行病毒及细菌的灭活。  现有的医用真空系统都存在二次污染的情况。  恒才机电推荐医院负压系统方案  医用真空分两路供应,普通管线和ICU、产房及手术室等专用管线。  除菌思路:  灭活为主,灭而非防。  采取叠加灭活,广谱。  化学灭活是主要手段,高温是辅助。  高温灭活,真空泵起主要作用。  不对细菌过滤器过度依赖。  推荐适合肺炎疫情的真空泵:  主推:干爪式真空泵,干爪泵内高温可以有效去除病菌,维保周期长,且保养不接触泵腔,维护人员无病菌感染风险。  水环真空泵,我们可在现有基础上进行改良,将极大降低病菌感染风险。  旋片真空泵,运行温度下灭菌效果不好,需要频繁维保,维护人员存在病菌感染风险。可提供现有系统改造。  油螺杆真空泵,润滑油中有机物质会滋...
发布时间: 2020 - 02 - 17
来源: 67
当真空泵执行能量转换时,始终只有一小部分损耗转换成热量。它必须通过电动机外壳和周围的介质连续散发热量散发。 散发的这种加热过程称为冷却。此外,当真空泵工作时会产生一定量的热量。如果不及时散发热量,将会影响真空泵的内部部件,甚至随着时间的流逝而损坏真空泵。这会影响风扇的正常运行,甚至损坏风扇。以下是真空泵改造厂家对真空泵的散热和冷却技术的分析。  真空泵,每个人都不陌生,但是真空泵是否不能存在大量的油。实际上,真空泵已广泛用于许多行业。通常,将水环泵用作前级泵比其他真空泵更有利。这主要是因为它可以泵送大量的冷凝蒸汽,尤其是当气镇油封机械没有足够的能力去除冷凝蒸汽,或者,使用的溶剂会使泵油变差并影响性能,或者当真空系统不允许油污染。因此,不得给真空泵上油。  专业的真空泵改装厂家想告诉您,真空泵有多种类型的散热和冷却解决方案,并且根据身体不同部位的发热来确定适当的散热解决方案。例如,当真空泵的工作压力高时,温度迅速升高并且温度高。普通真空泵需要循环水进行冷却和冷却,以保护风扇不受损坏。  真空泵厂家在分析真空泵的冷却和冷却技术时有四个重要点:  一、空气冷却:  即,由级间泵或双级泵吸入的空气被压缩,然后通过组合吸收和相差组合消音器传输。  二、 转子内部冷却:  为了使真空泵在更高的压差下工作,可以采用更有效的冷却方法。即,转子通过循环油冷却。真空单元轴的两端有油孔和油径轴头。从另一端放电。  三、 转子油膜冷却:  这种冷却方法是在真空泵的入口处连接一个油管,并使用均匀滴下的冷却油除去转子的热量。  四、冷却:  真空泵由于气体的输送和压缩而产生热量,该热量必须从转子传递到外壳和散发。
发布时间: 2020 - 01 - 15
来源: 141
1、首先了解泵的类型、特点、现状。了解使用要求并确定维修目标。维护前准备测试方法。  2.判断故障并确认故障。准确的判断可以省去麻烦。诊断必须得到验证。  3、故障排除,先简单后复杂,先简单后困难。不拆除就不要拆除。为了减少新损坏造成的专用工具的缺乏和操作不当,减少位置和运行时间的变化。一般来说,拼接转子是不可拆卸的,否则形状和位置公差将得不到保证,转子将报废。  4.对于有毒、有害和腐蚀性泵,应要求用户首先清洁它们,并告知它们必要的保护措施,以确保维护人员的健康。  5.故障分类。建议将故障分为运行故障和性能故障。操作故障可能包括泵不旋转;性能故障可能包括未能满足或未能满足要求,如极限压力、极限满压、提取效率、噪音、喷油、气体镇流器性能等。  6.故障判断和诊断示例  1)泵不旋转。如果情况不清楚,不能先启动泵,以免加重故障。能用手移动,不能用手移动。  (1)泵可以不转动地移动。原因可能是联轴器故障;皮带打滑;电机接线不正确;电机损坏;电源中断等。  (2)不能上盘或上盘很重,原因可能是启动泵温度过低,泵油粘度过高;由于设计和制造原因,泵关闭后返回的机油过多。由于油位过高,泵返回的油过多(添加的油过多,或泵中冷凝的水蒸气,或排气管中冷凝的水返回泵);泵内有异物(进气管内有焊渣和氧化物;螺旋弹簧等泵部件的碎片;旋转件变形卡住;发生堵塞(铜套管、转子、中间壁、泵盖、定子、轴承)。  2)双级旋片真空泵温度过高。在低位排气阀附近测得的最高油温超过了操作说明中规定的值。随着泵的温度升高,泵油的粘度将大大降低,泵油的饱和蒸汽压将增加,这将增加泵的极限压力并降低泵送效率。橡胶零件容易老化。热膨胀减小了工作间隙,特别是一些非金属旋转板的厚度方向和铜套内孔的间隙,影响了泵运行的可靠性。泵温度高的原因可能是泵的环境温度太高、进气温度太高、进气冷却装置失效以及泵长期连续运行的进气压力太高。...
发布时间: 2020 - 01 - 15
来源: 74
旋片真空泵的噪声通常是指当泵的温度稳定时,在极限真空下测得的噪声水平。  它包括泵本身的噪音和电机的噪音。对于用户而言,它还关注泵温度不稳定时的启动阶段噪声、不同入口压力下的运行噪声以及气体开启镇流器的运行噪声。因此。应该考虑许多因素。  旋片真空泵的噪声源如下  (1)转子对缸体的影响,泵的剩余容积和排气死区内压力油的发声。  (2)排气阀片对阀座和支架的影响。  (3)盒子里的回声和气泡破裂。  (4)轴承噪声。  (5)大量油气撞击挡油板产生的噪音。  (6)其他。如传动引起的噪音、风冷式泵的风扇噪音等。  (7)电机噪声,这是一个关键因素。  旋片真空泵的设计和处理建议如下:  1.旋片对气缸壁的影响  如果使用不当的设计、制造或材料导致旋片滑动不顺畅,或者因为存在死气隙,不可压缩的油会导致旋片头部不总是靠近气缸壁运行,这将导致旋片撞击气缸壁。因此,宜采用圆弧面分隔进出口的结构。用排气导槽消除死区。采用线分离结构时,排气端点到切点的距离应尽可能缩短。对于70l/s以下的旋片泵,考虑到旋片的实际厚度,建议取7 ~ Lomm,大泵取大值。当太近时,由于转弯  如果转子旋转到切点位置时密封效果不好,那么副转子槽的存在以及转子头仅与一个窄条的接触将影响泵的泵速,甚至泵的极限压力。可以看出,这种结构不能完全消除排气死区,限制了降噪水平。  应该指出,转子和槽之间的间隙过大会降低性能。因此,必须保证合理的公差配合和形位公差值,注意旋片的热膨胀,避免旋片和槽的磨损,注意冷油的粘度,设计足够的旋片弹簧力,当圆弧面用于分离时,转子中心的附加偏心值不应过大。否则,当转子通过两个圆弧时,它将倾向于在交点处脱离气缸壁,而不是产生冲击噪声。一般来说,小型泵只有0.20 ~ 0.25毫米,而大型泵可以适当增加。  排气死区压力油和剩余容积压力油的发声。当泵达到极限压力时,两处的压力油在与真空室...
发布时间: 2020 - 01 - 15
来源: 79
半导体工艺真空主要用于蒸发、溅射、PECVD、真空干法刻蚀、真空吸附、测试设备、真空清洗等键合工艺。半导体生产制造过程中容易产生易燃、易爆、有毒物质和气体,对生产和人员安全构成威胁。因此,半导体真空泵应用中的几个安全注意事项如下:  1.定期清洁真空泵及其他附件、过滤器和管道,以避免过压  在半导体真空泵的应用中,当介质在介质提取过程中通过反应室和真空泵时,介质的组成可能极其复杂。例如,SiH4和O2在泵口形成二氧化硅,而四氯化钛水解形成氯化氢。假设使用油封机械泵,这些气态物质也可能与泵油发生反应。这些变化假设颗粒、可冷凝物或腐蚀性介质的形成,可能会堵塞真空泵或管道系统,影响真空泵的性能,导致压力升高或过压,并带来更大的风险。因此,有必要及时清理,必要时设置过滤设备。  2.有效稀释有害气体的浓度  半导体容易产生上述易燃、易爆和有毒有害气体。因此,在半导体真空泵的应用中,当抽取这些介质时,有必要防止真空泵或排气过程中发生一些不可控的反应。例如,当与空气或氧气接触时,SiH4、PH3、AsH3、B2H6和其他物质会引起燃烧甚至爆炸。当空气中氢气的混合比例达到一定程度和温度时,也会发生燃烧。这些都取决于物质的数量及其与环境压力和温度的关系。因此,当半导体真空泵提取这些介质时,在压缩前的当前条件下,需要惰性气体如氮气将这些气体稀释到安全范围。  3.注意氧气的浓度  如果空气中的氧气浓度过高,燃烧和爆炸风险也会发生。因此,在某些情况下,应注意氧气的浓度,并应使用惰性气体稀释它,以防止浓度过高。假设油封机械泵可能需要使用一些惰性氧兼容真空泵油,并及时更换滤油器和油品。  4.防止温度过高  这一点更容易理解。在半导体在真空泵中的应用中,有许多有害气体。然而,无论是干式真空泵还是油封机械泵,如果泵腔内的温度过高,易燃、易爆和有毒气体在高温下很容易造成危险。  当我们使用真空泵时,需...
发布时间: 2020 - 01 - 15
来源: 69
旋片真空泵运行中的注意事项  旋片真空泵的转子以一定的偏心距离安装在泵壳内,并靠近泵壳内表面的固定表面。两个(或多个)旋片安装在转子槽中。当转子旋转时,旋片可以沿着其径向凹槽来回滑动,并且总是与泵壳的内壁接触。旋片与转子一起旋转,将真空泵室分成几个可变容积。操作旋片真空泵时注意以下事项:  1、检查油位,以停止泵油至油标中心为宜。过低不能密封排气阀油,影响真空度。如果过高,在大气中启动时会导致燃油喷射。运行过程中,油位有所上升,这是正常现象。油应为指定品牌的清洁真空泵油,从注油孔添加。加注后,应拧紧螺塞。油应该过滤,以防止异物进入堵塞油孔。  2.泵可以在大气压或任何真空度下一次启动。如果电磁阀安装在泵端口,则应与泵同时操作。  3.当环境温度过高时,油温会升高,粘度会降低,饱和蒸汽压会升高,这将导致极限真空降低,特别是热电偶测得的全压力。如果通风和散热得到加强或泵油性能得到改善,极限真空可以得到改善。  4.真空泵的极限真空应根据压缩水银真空计进行检查。如果压力表经过全面的预测试,泵的温度会达到稳定水平,泵的端口会直接连接到压力表上,并且在运行30分钟内会达到极限真空。总压力表测量的值与泵油、真空计和调节误差有关。有时误差甚至可能非常大,仅供参考。  5.如果相对湿度高,或者泵送的气体含有更多的可冷凝蒸汽,在连接泵送容器后,宜在移动20~40分钟后打开气压阀,关闭气压阀。停泵前,气动阀可开启空载运行30分钟,以延长泵油的使用寿命。  旋片真空泵的故障处理  如果旋片真空泵运行不正常,经常会出现故障,如旋片真空泵真空度下降、喷油、冒烟、油封漏油、噪音等。真空泵油在泵中乳化的现象等。在这种情况下,首先不要惊慌,然后关机后逐一消除。以下是一些故障排除方法。  一、旋片真空泵的烟油喷射:指运行过程中旋片真空泵排气口的烟油喷射。  故障1、抽烟。如果泵刚开始运转时有烟,这是正常的。...
发布时间: 2020 - 01 - 15
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旋片真空泵长期使用后,会出现真空下降、密封处漏油、真空泵旋转停滞甚至“卡滞”、严重油污、真空泵腔生锈、旋片撞击声大、硬物落入真空泵腔划伤真空泵腔、真空泵过热等异常现象。  此时,真空泵必须拆卸和清洗。该方法包括以下步骤。  (1)切断电源,从真空系统中取出真空泵。  (2)用重力法或加压法排放和收集污油,避免环境污染。  (3)取下皮带和滑轮键(双级旋片真空泵包括皮带)。  (4)先拆下低真空端,拆下后端盖,然后拆下低真空转子、旋转板、弹簧等。  (5)拆下前端盖,取出高真空转子、转盘、弹簧等。  (6)拆下视镜、排气阀、排气盖等。  (7)用汽油彻底清洗去除的金属部件,并用酒精脱水。橡胶部件可以用15%氟化氢钠溶液煮沸除去油。对于有毛刺或铁锈的零件,可以使用油石或金相砂纸轻轻打磨以去除锈斑和毛刺。清洁过的零件必须干燥。  (8)组装时,先安装后级,托起弹簧和旋转板,安装到转子中,然后将前端盖安装到真空泵室内,安装定位销,均匀对称地拧紧螺钉。组装后,旋转应灵活均匀。安装前转子和后端盖后,安装排气阀(排气阀片应紧紧地附在阀座上)和其他部件,如气体镇流器装置等。  旋片真空泵维护注意事项,真空泵维护知识总结:  (1)定期检查油位是否低以及干油标记线。如果有低干油标记,应及时加油。杏会影响真空泵的真空度。油量不应太多,否则会导致起动困难和喷油困难等问题。  (2)应注意真空泵的正常运行、有无特殊噪音、机器过载运行以及电机真空泵温度过高。  (3)水冷真空泵应防止冷却水中断,真空泵温度不得超过70度。如果环境温度低且干燥5度,真空泵中的冷却水应在关闭后排出,以防止真空泵冻结和破裂。  (4)旋片真空泵应通过皮带保持清洁。真空泵上不得放置任何其他物体。  (5)注意皮带松紧是否合适。如有必要,进行调整或更换。  (6)真空泵油应每年定期更换1~3次。用于真空熔炼的机械真空泵每月可以...
发布时间: 2020 - 01 - 14
来源: 91
旋片真空泵主要用于获得中低真空度。它可分为油封泵和干式泵。根据所需真空度,也可分为单级泵和双级泵(更常用)。旋片真空泵主要由泵体、转子、旋片、端盖、弹簧等部件组成。转子偏心安装在旋片真空泵的空腔内,转子的外缘与空腔的内表面相切,两个带弹簧的旋片安装在转子槽内。当转子运行时,转子可以沿其径向凹槽往复滑动,并且总是与泵壳的内表面接触。转子与转子一起旋转,从而将真空泵腔分成多个可变容积空间。  使用旋片真空泵时,应注意以下事项  1.在使用旋片真空泵之前,必须保持泵的清洁,以避免泵体内的杂质进入。检查机油量,并将其加注到机油标记的中心。如果太低,排气阀将不起油封的作用,并将影响真空泵的真空度。如果过高,将发生燃油喷射反应。真空泵运行时,会有正常的机油增加反应。注油时,应使用符合指定真空泵品牌的清洁真空泵油。注油孔注满后,应过滤堵塞注油孔,防止真空泵油仓内有其它杂物进入。  2.当旋片真空泵的工作环境温度过高时,旋片真空泵的油温也会升高。这是因为热分子的运动加速,油的粘度降低,导致更大的饱和蒸汽压,并最终降低极限真空度。德尼尔真空泵制造商的技术人员指出,为了提高真空泵的真空度,可以增加风力,提高真空泵油的质量,从而降低温度,加速散热。  3.在使用旋片真空泵的操作过程中,提取的物质不应是含氧量高、水蒸气含量高、易燃易爆、对金属有腐蚀性的气体物质。有些物质不稳定,还会与真空泵油发生化学反应。这些气体也不应该被提取。  4.如果电磁阀要安装在旋片真空泵的端口,则可以在大气压或任何真空度下的下一次启动时启动与泵同时运行的泵。  5.在旋片真空泵正常运行期间,泵正常运行后,旋片真空泵的进气口与泵送容器连接,并通过缓慢旋转三通阀与外界大气隔离。
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