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  • 发布时间: 2019 - 08 - 13
    序号型号总机功率引水高度抽速真空度(mbar)控制方式说明01YSV 12Z-211KW9.5米460m³/h33本地自动一用一备02YSV 12Z-2H11KW9.5米460m³/h33人机界面控制一用一备03YSV 11Z-27KW9.5米210m³/h33本地自动一用一备04YSV 11Z-2H7KW9.5米210m³/h33人机界面控制一用一备05YSV12Z-2H4KW9.5米246m³/h33人机界面控制一用一备备注:引水高度是以标准大气压状态下的引水高度,因海拔等各种因素影响,具体会有所不同。需要与我们的专业技术人员或销售工程师确认。真空引水装置原理:(1)真空引水装置启动前关闭水泵出口电动阀,给气水分离器内供清水,打开分离器与真空系泵之间供水阀门,选择真空泵并启动,(2)需启动泵及吸入管路内的气体经过阀门、管路及真空泵排至大气,(3)当系统检测到水泵壳内形成真空,充满水时,则停真空泵,给出启动水泵信号;
    真空引水装置说明1、真空引水装置的组成真空泵2台(1用1备,也可以同时启动),气水分离器1个、液位自动控制系统1套、PLC电控箱1个、前置分离器1个(主要是用于防止水进入真空泵内)及深圳恒才真空泵厂家配套的相应阀门、管件等,如详情图所示。2、真空引水装置原理(1)真空泵主机,两台(一备一用),电机:宽频50HZ/60HZ通用,宽电压200-480V。;(2)真空引水时,真空泵启动,管路顶部的空腔形成真空,水被吸入空腔内,空腔上部安装有液位自动控制系统,当其感应到液位时,水已经充满空腔,液位自动控制系统发信号给集控系统,集控系统启动主水泵,开始引水,水泵引水时,真空泵停止运行,处于待机状态;(3)空腔抽真空过程中可能会有少量的水被带出,为防止进入到真空泵里,在真空泵前加装前置分离器,并配有高液位开关,可检测高液位,高液位报警;(4)真空泵停止运行,程序设定前置分离器排水,即打开排水电动阀,同时打开破真空电动阀,进行排水,排水时间设定的较长,保证前置分离器的水完全排掉;(5)汽水分离器配有低液位开关,检测其液位过低并报警;(6)就地PLC控制箱有远程/本地/停止选择按钮,当选择远程时具有锁定功能;(7)提供两台泵的运行点、故障点、远程点、启停点、手自动启停点等给集控系统;(8)提供前置分离器高液位信号给集控系统,并报警;(9)提供汽水分离器低液位信号(缺水)给集控系统,并报警;(10)...
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2020 - 05 - 25
简而言之,无油旋片真空泵(简称旋片泵)是一种油封式机械真空泵。其工作原理是利用真空泵油来维持运动部件的密封,并通过改变泵室的容积来实现抽气。其工作压力范围为101325-1.33×10-2(Pa)属于低真空泵。它可以单独使用,也可以作为其他高真空泵或超高真空泵的前置泵。旋片真空泵是真空技术中最基本的真空获取设备之一。旋片真空泵大多是中小型泵。旋片真空泵有两种类型:单级和双级。所谓双级是将两个单级泵在结构上串联起来,以获得更高的真空度。  旋片真空泵应用广泛。以油封旋片真空泵为例,它以真空采集速度快、效率高、噪音低、维护方便等优点,被广泛应用于冶金、机械、军工、电子、化工、轻工、石油和医药生产及科研部门。  然而,旋片真空泵对工作环境仍有一定的要求。它可用于泵出空气和其他干燥、无毒、无腐蚀性、不易燃易爆的气体,但不能用于泵出含有与泵油发生化学反应的微粒灰尘的气体。(如果安装了气体镇流装置,也可以去除一定量的可冷凝气体)。  旋片真空泵的工作原理,旋片真空泵主要由缸体、转子、叶片、端盖、电机等组成。在缸体中,转子通过端盖的偏心孔安装固定,并在左侧附近与缸体的腔壁紧密接触。叶片安装在多个转子槽中。当转子开始转动时,叶片由于离心力被甩出后沿缸体内部滑动,从而将缸体和转子之间的空间分成多个工作室。当工作室与进气口连接时,气体被吸入。随着转子继续旋转,吸入的气体被压缩,然后排入油箱。...
2020 - 06 - 01
干式真空泵需要定期维护,特别是耐腐蚀干式真空泵的使用环境特殊,可以进行日常维护,提高工作效率,增加企业利润。  一、干式真空泵为什么要定期维护:  1.定期维护干式真空泵可以减少和避免计划外停机  目前企业多为按单生产,产品交货期一般明确。 对企业来说,按单生产,定时化、零化库存可以降低企业经营成本和库存压力。 真空泵系统的设备一旦停止,必定会影响到某些生产工序,这个订单会受到影响,对企业的利益、信用造成很大的损害。 通过预防性维修,避免大量计划外停机,保证按时交货,意义重大。  2.干式螺杆真空泵的定期维护可以减少设备的连锁破损,延长设备寿命  设备损坏通常从局部或某个部件开始,该局部或部件影响其他局部或部件,最后设备严重损坏或废弃。此时,真空设备某些部件的质量发生变化或破损,不仅会导致真空设备系统故障,还会传递给应用环节的设备。 因此,预防性维护减少或避免轻微损坏,及时消除小风险,不扩大影响,结果导致更严重的故障损坏。  3.能降低维护成本的定期维护是有计划的,必须根据自己的状况和设备的使用情况决定维护周期。不同企业没有同行业务,使用时间因情况而异。 要根据自己的情况分析和解决问题。 可事先研究真空泵的维护方案,有效完成维护工作。 相反,如果是后续的修理,人们会突然停止急剧的诊断原因,寻找工具、用品、材料,真正的修理需要半天的时间,但是前期的准备可能是1天半到2天,时间效率明显...
2020 - 06 - 08
所谓真空热处理,是用10-1~10-2Pa的真空介质将工件加热到必要的温度,然后,对每个介质以不同的冷速进行冷却的热处理方法。 那么真空泵系统的热处理有什么问题呢?  1.用真空泵处理钛合金时,不得使用氮气作为冷却气体。 钛和氮在高温下反响,构成金黄色的氮化钛。  2.真空泵的活动联络部分全部用o型橡胶圈联络,该部分全部通水冷却。  3.真空泵工件在真空状态下淬火,使用真空淬火油,该油具有较低的饱和蒸气压。  4.真空炉的保养必须在真空或纯氮填充的状态下,防止平时不使用时的进气。  5.国内真空炉的压力上升率应在1.33Pa/h以下,国外某些企业的规范为0.67Pa/h。  6.真空加热以辐射为主,工件应在炉内保持间距。  7.真空泵升温过程中,工件和炉内的资料被排出,真空度下降。  8.真空回火.真空退火.真空固溶处理及真空时效的加热温度通常与通常处理时的加热温度相同。  9.真空炉需要快速冷却设置。 请将冷却水的压力调整至0.2Mpa 流量以上。  10.冷却气体:钢一般采用99.995%纯度氮气,高温合金采用99.999氮气或氩气,钛合金采用99.995%氩气。  11.把真空泵放入工件后,通常抽至6.67Pa后再进行升温加热。  真空热处理在现代热处理界被称为高效.节能.无污染的清洁热处理。 真空热处理零件具有无氧化.脱碳.脱气.脱脂.表面质量好.变形小.综合力学性能高.可...
2020 - 06 - 12
真空系统是真空泵、真空计以及各种部件经由配管适当连接,以达到一定的真空度的装置。 真空系统的基本要求是什么?  1.在被吸引设备或工作室内得到必要的极限真空和工作真空度  极限真空度是指设备没有泄漏时到达的真空度,动作真空度是指设备进行真空处理时能够维持的真空度。 真空处理时多释放大量的气体,此时的工作真空度显着低于极限真空度。 极限真空度和工作真空度分别重要,从不同的方面影响器件的质量。 例如,在使用氧化物阴极器件的排气真空系统中,大量排气电10-2极脱气和阴极分解,如果工作的真空度差,则有可能导致电极被氧化,阴极不被活性化的结果。 但是,当器件最后被密封时,几乎没有气体泄漏,器件内的真空度取决于排气真空系统的极限真空度。  2.为了得到某工作的真空度所需要的时间  这个时间由真空系统的吸引速度的大小决定。 加快速度就可以缩短这个时间。 大工作室显然需要很大的速度。 工作室可能不大,但是泄漏气体很严重,真空系统也需要很大的吸引速度。 否则,大量的泄漏气体会大大降低真空度,系统将无法工作。  3.提取的设备和工作室内有适当的残留气体成分  实践证明,单纯提高极限真空度和工作真空度是不够的,残留气体成分也有一定的要求。 例如,为了在一年的寿命中抑制灵敏度的降低,真空摄像装置要求在能够承受装置内的残留气体的氧量为10-2Pa以下的高压的真空开关管内不包含烃分子等。 真空系统的残气成分,...
2020 - 06 - 17
螺杆真空泵正确安装很重要,不注重安装要求将会导致机器不能正常运行,甚至带来额外的高额维修费用。因安装不良所产生的机器故障不属于保修范畴。  本片收集的安装实例,从多个方面介绍了螺杆真空泵的正确安装方法。  真空泵到货前安装注意事项  1.安装平面示意图介绍。  2.真空泵机房环境。  3.真空泵机房通风系统安装要求。  4.真空泵进、排气管道安装要求。  5.真空泵供电系统安装要求。  6.真空泵供水系统安装要求。  1.1 参照真空泵说明书安装平面示意图进行安装。  2.1 真空泵机房应安装起吊设备。  起吊设备的限吊重量必须大于真空泵主机的重量。  移动、起吊设备前请详细阅读说明书中的操作说明,以免损伤机器。  2.2 真空泵机房选择应宽敞、通风良好。  3.1 真空泵不能安装在没有通风设施的机房内。  如果真空泵机房没有通风设计,机器排出的热量会促使机房温度迅速升高,机房高温将导致真空泵高温;  3.2真空泵的各方向要预留足够的空间。  预留空间是用做安全、日常巡检和保养之用,具体数据请参照各机型安装图纸。  4.1系统到真空泵之间的管道安装。  管道要尽可能短和减少弯头。  从系统到真空泵之间的真空度压降要小于10%。  4.2真空泵进口需要安装真空截止阀。  每一台真空泵前都需要安装一个真空截止阀,将真空泵与系统隔开,便于检修和测试。  真空泵前需要安装真空罐,真空罐的选...
2020 - 06 - 20
使用中的各种旋片真空泵所需的流量扬程与其选型设计的参数相差太多。例如,使用低扬程和高扬程将导致功耗增加,或者在用水高峰时选择旋片真空泵流量,如果在用水高峰时不采取相应的变频措施,将会损失大量电能。旋片真空泵的具体节能措施如下,供您参考。  1.叶轮的切割  泵站规划设计中旋片真空泵的额定扬程值,由于情况的一些变化,往往与扬程供水厂的实际情况不一致。旋片真空泵的叶轮切割是解决旋片真空泵的类型和品种与供水对象要求多样性之间矛盾的一种选择方法。它扩大了旋片真空泵的应用范围,通过切割叶轮来调整旋片真空泵的工作特性,使其工作在合理的范围内。  根据旋片真空泵额定扬程值与实际运行扬程,值的差异,通过减小工作轮外径、减小扬程值流量使其与实际扬程,值一致、改变旋片真空泵的设计运行点,是提高旋片真空泵运行效率的有效途径。  2.旋片真空泵的调速  为了保证旋片真空泵在高效区的运行,保证旋片真空泵节能的措施之一。为了适应不同的工作条件,改变旋片真空泵的性能曲线,除了叶轮切割外,调速也是一种常用的方法。  3.减少旋片真空泵本身的机械损失  如轴封与轴承的摩擦损失,应采用注射式软密封垫片,并应注意减少旋片真空泵的传动损失。此外,科学和经济的管理将提高前池的水位。注意高峰期产水与供水的平衡,及时对泵房机组进行综合分析,优化组合,使旋片真空泵机组在最佳运行点运行。  4.降低旋片真空泵流动部件的粗糙度,减少...
2020 - 06 - 24
一、水环真空泵的腐蚀  水环真空泵在化工行业使用时,经常会遇到腐蚀问题。对于高腐蚀性气体或液体,最好的处理方法是使用耐腐蚀材料制造泵。然而,目前国内产品一般由铸铁和碳钢制成。在这种情况下,当输送腐蚀性气体或液体时,可采用以下两种方法:  1.采用真空罐法  真空罐也称为分离罐和缓冲罐。主要用于泵送腐蚀性液体。为了防止液体流入泵中,可以在入口前的真空管道上安装一个真空罐,这样液体在流经管道时可以流入罐中,而不会流入泵中进入。  2.采用涂覆防腐层的方法  轴、叶轮等腐蚀部位用环氧树脂和玻璃纤维包裹,再涂一层环氧树脂和玻璃纤维。用这种方法把它涂上三层,让它自然干燥2-3天,然后在通向蒸汽管的炉子里干燥。从40开始,每2小时升温20,烘烤至120后出炉。以这种方式制作的防腐数据称为玻璃钢,然后根据图纸要求停止缠绕玻璃钢的轴和叶轮的加工。  采取这种防腐处理后,取得了很大的效果。例如,一些工厂交付的带有腐蚀性液体的叶轮仅在20天内被腐蚀,并且在使用玻璃钢数据后至少可以使用一年。然而,博瑞钢不应该抗硝酸和浓酸(浓度超过70%)的腐蚀,这需要改进。  二、水环真空泵的规模  真空泵结垢在水环,非常普遍,尤其是在选煤厂和化工厂。  含有钙盐和镁盐的水在工业上被称为硬水。海水、井水、泉水等。由于与土壤和岩石接触,自然界中溶解了许多杂质。这些杂质大部分是碳酸钙和碳酸镁、硫酸盐和氯化物,所以它们是硬水...
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Hot News / 热点新闻
发布时间: 2026 - 07 - 24
来源: 3852
PCB层压车间的“隐形利润”:从分散旋片泵到集中真空系统的蜕变在竞争日益激烈的PCB制造行业,利润往往隐藏在每一个生产细节中。对于许多PCB工厂而言,层压机配套的真空系统曾是一个被忽视的“成本黑洞”。过去,工厂普遍采用一对一的旋片式真空泵,这种看似简单的配置,却在长期运行中吞噬着企业的利润。传统旋片泵的痛点不仅在于漏油和噪音,更在于其高昂的隐性成本。由于层压过程涉及高温,原材料挥发物极易导致真空油...
发布时间: 2025 - 08 - 14
来源: 999
00号真空泵油的优势主要体现在以下几个方面:高真空度与高效抽气能力100号真空泵油具有较低的饱和蒸汽压,即使在高温环境下仍能维持高极限真空度(如50微米汞柱至商用真空泵最高真空范围),并保持较快的抽气速率。这一特性使其成为高真空系统(如旋片式真空泵)的理想选择,可显著提升设备运行效率。优异的热稳定性与抗氧化性采用深度精炼矿物油或合成油基底,100号真空泵油具备出色的化学和热稳定性。它能有效抵抗高温氧化,防止油泥和沉积物生成,从而延长油品使用寿命,减少设备维护频率。例如,美孚真空泵油100通过特殊白油配方,在连续运行中仍能保持初始粘度和抗乳化性能。卓越的抗乳化与分水性能真空系统中水蒸气冷凝是常见问题,100号真空泵油通过良好的抗乳化性设计,可快速实现油水分离,防止乳液形成。这一特性不仅避免了水分对金属部件的腐蚀(如抗海水和酸性水保护),还能确保润滑效果持久稳定,特别适用于潮湿或多水蒸气环境。良好的粘温性能与低温启动性100号真空泵油具有适宜的粘度指数,在低温下仍能保持流动性,确保真空泵快速启动;高温时则形成稳定油膜,提供可靠密封和润滑。例如,斯卡兰100号油通过天然原油减压蒸馏工艺,实现了粘度与温度的平衡,适应宽温域工况。抗泡沫与耐磨保护在高速运转或溢流工况下,100号真空泵油通过优良的抗泡沫性减少空气混入,避免泵体磨损。同时,其抗磨损添加剂可在启动和临界状态下形成保护膜,延长设备寿命。这一特性在需要频繁启停的包装机、冻干机等设备中尤为重要。环保与兼容性100号真空泵油符合环保要求,废弃处理简便,且与黑色/有色金属(如钢、铝)及密封材料兼容性极佳,不会堵塞过滤器或腐蚀部件。例如,长城100号油通过精选添加剂调和,在腐蚀性环境中仍能保持稳定性能。高性价比与广泛适用性相比其他高粘度真空泵油,100号油在性能与成本间实现了良好平衡。其适用于各类机械真空泵(如往复式、旋片式、油封式)...
发布时间: 2025 - 08 - 12
来源: 1111
选择真空泵油需综合考虑设备类型、工况条件、性能参数及成本效益,以下为具体选择步骤及关键要点:一、明确设备类型与工作要求真空泵类型旋片式真空泵:需选择低蒸汽压、高粘度指数的油(如100号真空泵油),以维持高真空度和密封性。罗茨真空泵:通常与前级泵(如旋片泵)配套使用,需选择与前级泵兼容的油品。干式真空泵:无需油润滑,但若为油封式干泵,需选择专用低蒸汽压油。扩散泵/分子泵:需超高真空油(如硅油或聚菲油),蒸汽压需低于10⁻⁸ Torr。工作真空度范围低真空(10³-10⁻¹ Torr):普通矿物油(如32号或46号)即可满足。中真空(10⁻¹-10⁻³ Torr):需选择低蒸汽压油(如100号或150号)。高真空(:必须使用超低蒸汽压油(如硅油或合成油)。二、分析工况条件温度范围高温环境(80℃):选择合成油(如PAO、酯类油)或高粘度指数矿物油,避免油品氧化分解。低温环境(:选择低倾点油(如-30℃以下),确保低温启动性。宽温域工况:优先选择粘度指数高的油(如100号真空泵油),适应温度波动。气体成分腐蚀性气体(如酸性、碱性气体):选择抗化学腐蚀油(如含抗腐蚀添加剂的合成油)。含水蒸气:选择抗乳化性强、分水性能好的油(如100号油),避免乳液形成。含颗粒物:需定期更换滤芯,并选择抗磨损性能好的油。运行时间与负荷连续运行:选择抗氧化性强、寿命长的油(如合成油或深度精炼矿物油)。间歇运行:可适当降低油品等级,但需确保启动时润滑充分。三、关键性能参数匹配粘度选择粘度过高:增加启动扭矩,降低抽气效率。粘度过低:无法形成稳定油膜,导致密封性下降。参考标准:根据泵制造商推荐粘度(如ISO VG 32、46、100)选择。蒸汽压蒸汽压越低,极限真空度越高。高真空需求:选择蒸汽压中低真空需求:蒸汽压在10⁻³-10⁻⁵ Torr的油(如100...
发布时间: 2025 - 08 - 08
来源: 1454
在液冷工艺中,德国SPECK品牌磁力泵凭借其无泄漏设计、耐极端工况、高可靠性、低维护需求以及广泛适配性,成为输送冷却介质的理想选择,具体优势如下:1. 无泄漏设计:保障液冷系统安全与介质纯净磁力驱动技术:SPECK磁力泵通过磁场传递动力,传动轴无需穿透泵壳,彻底消除传统机械密封泵的泄漏风险。这一特性对液冷工艺至关重要,可防止冷却介质泄漏导致系统污染、设备损坏或安全隐患(如短路、腐蚀)。密封性能稳定:隔离套设计确保介质与外界完全隔离,尤其适用于输送有毒、易燃或昂贵的冷却介质(如特殊导热油),避免泄漏造成的经济损失和安全风险。2. 耐极端工况:适应高温高压液冷需求高温性能:SPECK磁力泵可输送介质温度高达350℃的导热油或180℃的水基冷却液,满足高温液冷系统(如工业模具温控、激光设备冷却)的需求。例如,其EY-4281-MK.0009型号工作温度达350℃,扬程200米,流量110m³/h,适用于高压高温场景。高压能力:部分型号(如CY-4282.0067)扬程可达120米,支持高压循环液冷系统(如大型数据中心冷却、高压反应釜温控),确保冷却介质高效循环。耐腐蚀材质:泵体材质可选不锈钢、钛合金或特殊合金,适应不同冷却介质的化学特性(如酸性、碱性或含杂质液体),避免腐蚀导致的性能下降或泄漏。3. 高可靠性与长寿命:降低停机风险与维护成本无接触传动:磁力泵无机械密封摩擦,减少磨损和发热,延长使用寿命。SPECK产品经过严格测试,可在连续运行工况下保持稳定性能,减少液冷系统因泵故障导致的停机风险。双重防护设计:高端机型配备压力监控和双层隔离套冗余系统,进一步增强安全性。例如,碳化硅轴承+钛合金隔离套组合可耐受280℃高温和1.6MPa压力,适配浓硫酸、液氯等高危介质。模块化设计:SPECK磁力泵采用模块化结构,用户可根据需要轻松更换部件(如隔离套、轴承),降低维护成本和...
发布时间: 2025 - 08 - 06
来源: 1441
在液冷工艺中选择德国SPECK品牌磁力泵,主要基于其无泄漏设计、耐高温高压性能、高可靠性、低维护需求以及广泛的应用适配性,这些特性使其成为液冷系统输送冷却介质(如导热油、水基冷却液等)的理想选择。以下是具体分析:1. 无泄漏设计:保障液冷系统安全与介质纯净磁力驱动技术:SPECK磁力泵通过磁场传递动力,传动轴无需穿透泵壳,彻底消除了传统机械密封泵的泄漏风险。这一特性对液冷工艺至关重要,可防止冷却介质泄漏导致系统污染、设备损坏或安全隐患(如短路、腐蚀)。密封性能稳定:磁力泵的隔离套设计确保介质与外界完全隔离,尤其适用于输送有毒、易燃或昂贵的冷却介质(如特殊导热油),避免泄漏造成的经济损失和安全风险。2. 耐高温高压:适应液冷工艺的严苛工况高温性能:SPECK磁力泵可输送介质温度高达350℃的导热油或180℃的水基冷却液,满足高温液冷系统(如工业模具温控、激光设备冷却)的需求。高压能力:部分型号(如CY/TOE-6091-MK)扬程可达115-120米,适用于需要高压循环的液冷场景(如大型数据中心冷却、高压反应釜温控),确保冷却介质高效循环。3. 高可靠性与长寿命:降低停机风险与维护成本无接触传动:磁力泵无机械密封摩擦,减少磨损和发热,延长使用寿命。SPECK产品经过严格测试,可在连续运行工况下保持稳定性能,减少液冷系统因泵故障导致的停机风险。耐腐蚀材质:泵体材质可选不锈钢、铸铁或特殊合金,适应不同冷却介质的化学特性(如酸性、碱性或含杂质液体),避免腐蚀导致的性能下降或泄漏。4. 低维护需求:简化液冷系统运维维护工作量小:磁力泵无机械密封更换需求,维护频率显著低于传统泵型。SPECK产品的模块化设计进一步简化了维修流程,降低运维成本。避免空运转风险:虽需避免无介质空运转(以防滑动轴承和隔离套损坏),但通过液位监测或自动控制系统可有效规避此问题,确保安全运行。5. 广泛适配性:覆...
发布时间: 2025 - 08 - 01
来源: 1424
晶圆真空吸附选用德国Speck水环真空泵,主要基于其无油设计、高极限真空度、稳定抽气性能、耐腐蚀耐高温特性、低噪音与长寿命等核心优势,这些特性直接解决了晶圆加工对真空环境的严苛要求,并提升了生产效率与产品质量。以下为具体分析:一、无油设计,避免污染关键需求:晶圆加工对真空环境的清洁度要求极高,任何油污或杂质都可能污染晶圆表面,影响产品质量。Speck优势:Speck水环真空泵采用无油设计,彻底消除了润滑油对产品的潜在污染风险。这一特性在医药、电子等对清洁度要求极高的行业中尤为重要,确保了晶圆加工过程中的真空环境纯净无污染。二、高极限真空度,满足精细加工需求关键需求:晶圆加工过程中,如吸附、搬运、切割等环节,需要稳定的真空环境以确保加工精度。Speck优势:Speck水环真空泵能够实现较高的极限真空度,如某些型号可达到33mbar的低真空水平。这种高真空度能够确保晶圆在加工过程中被牢固吸附,防止因真空度不足导致的晶圆移动或脱落,从而保证了加工精度和产品质量。三、稳定抽气性能,适应大规模生产关键需求:晶圆生产线通常需要连续运行,对真空泵的抽气速率和稳定性有较高要求。Speck优势:Speck水环真空泵具有较高的抽气速率和稳定的抽气性能,能够迅速建立并维持所需的真空环境。例如,某些型号的总气量达到199m³/h,能够满足大规模生产线的需求,确保生产过程的顺利进行。四、耐腐蚀耐高温,适应多种工况关键需求:晶圆加工过程中可能涉及腐蚀性气体或高温环境,对真空泵的材质和性能提出挑战。Speck优势:Speck水环真空泵采用不锈钢等耐腐蚀材质制造,能够适应腐蚀性气体或高温环境。同时,其工作液温度范围广泛,最高可达80°C,进气温度(干)最高可达200°C,吸入气体(饱和)最高可达100°C,确保了在不同工况下的稳定运行。五、低噪音与长寿命,降低运营成...
发布时间: 2025 - 07 - 31
来源: 1422
将分散的真空泵改造成中央真空泵系统,可通过设备选型与整合、系统设计优化、自动化控制升级、节能与环保措施、系统测试与维护等步骤实现,能显著提升真空系统的稳定性、节能性及生产效率。以下是具体改造步骤及要点分析:一、设备选型与整合核心设备选择:根据生产需求选择合适的真空泵类型。例如,罗茨水环真空机组适用于需要集中抽真空且对真空度稳定性要求较高的场景,如压机分散小泵的改造;变频油螺杆真空泵则因其节能空间大、维护成本低,常用于平板硫化机等设备的中央真空改造。设备整合:将原有的多台分散真空泵整合为中央真空系统,减少设备数量,降低占地面积。例如,将13台2.2KW的VC-100旋片式真空泵替换为1台15KW的阿特拉斯螺杆真空泵GHS 900 VSD+,实现节能率80%的同时,减少维护成本和人工成本。二、系统设计优化真空管道布局:合理设计真空管道布局,确保气体流动顺畅,减少压力损失。管道直径、长度和弯头数量等参数需根据实际工况进行优化。真空罐与储气罐配置:配置适当容量的真空罐和储气罐,以稳定系统真空度,减少真空泵启停频率。真空罐内真空度达到设定上限值时,真空泵自动停止运行;当真空度下降至下限值时,备用真空泵组自动启动。排水系统改造:对于水环真空泵,需优化排水系统以减少水资源浪费。例如,在入口加装限流孔板,控制轴密封液用量;在后路管线上增设“U”型管,增加介质流动阻力并起到水封作用,减少丙烯气等有害物质的排放。三、自动化控制升级PLC控制系统集成:采用PLC程序控制系统实现真空系统的全自动化控制。通过触摸屏人机界面,可设定真空度上下限值、监控系统运行状态、实现远程控制及报警保护等功能。智能控制策略:引入变频驱动(VSD)技术,根据实际负荷需求自动调节真空泵运行速度,实现节能降耗。例如,Edwards真空泵EOSi系列通过闭环压力控制和主动式能耗管理,提高系统效率。四、节能与环保措施节能技术应...
发布时间: 2025 - 07 - 25
来源: 1386
深圳恒才新型真空引水机组是一款集高效引水、智能控制与强大过滤功能于一体的先进设备,以下从核心配置、性能优势、应用场景及维护管理四个方面进行详细介绍:一、核心配置:德国工艺与智能控制的融合德国SPECK水环真空泵高效稳定:采用德国SPECK品牌水环真空泵作为主泵,利用水作为工作介质,通过叶轮旋转形成水环,实现气体的吸入、压缩和排放。其结构紧凑、运行平稳,适用于抽吸含水蒸气、腐蚀性气体或微小颗粒的混合气体,满足泥水、粉尘等复杂工况需求。耐腐蚀性强:泵体材质可选不锈钢或特殊合金,适应不同水质和化学环境,延长设备使用寿命。低噪音设计:通过优化水环形成与气体流动路径,降低运行噪音,改善操作环境。西门子触摸屏控制系统智能化操作:配备西门子触摸屏,实现设备启停、参数设置、状态监控、故障报警等功能的集成化操作。用户可通过界面直观查看真空度、流量、温度等关键参数,并一键调整运行模式(如手动/自动切换)。远程管理:支持与上位机或云端平台连接,实现远程监控与数据分析,提升运维效率。安全保护:内置过载、过热、缺相等多重保护功能,确保设备安全运行。二、性能优势:快速引水与高效过滤的双重保障1-3分钟快速引水高效抽气能力:水环真空泵在短时间内建立高真空度(通常可达-0.098MPa以上),迅速排除系统内空气,形成负压环境,实现快速引水。大流量设计:泵体流道优化,减少阻力损失,确保在引水过程中维持高流量,缩短引水时间。搅拌型过滤器配置直接过滤泥水混合物:过滤器内置搅拌装置,通过旋转叶片打散沉淀物,防止泥沙、粉尘等固体颗粒沉积堵塞,同时利用水环的剪切力将颗粒分散在水中,实现高效过滤。微粒状固体过滤:滤网精度可根据需求定制(如50-200目),有效拦截沙石、微粒等杂质,避免其进入泵体或管道,保护设备免受磨损。排水便捷:过滤器设计有反冲洗功能或快速拆卸结构,可定期清理滤网或排出沉积物,维护简单,降低停机时间。...
发布时间: 2025 - 07 - 24
来源: 1408
电子晶圆吸附过程中,真空泵的选型需综合考虑真空度、抽气量、气体成分、油污染控制、系统组合、环境适应性及经济性等因素,以下是具体选型要点及分析:一、真空度与工作压强核心要求:真空泵的极限真空度需高于设备工作真空度半个到一个数量级。例如,若工艺要求真空度为100Pa(绝对压力),则真空泵的极限真空度应至少达到50-10Pa。稳定性:泵的工作点需落在其稳定压强范围内。例如,某型号真空泵的极限真空度为0.1mBar,其稳定工作压强范围为1.0mBar至0.5mBar,因此工作点应选在此区间内。应用场景:晶圆减薄:需-90kPa以上真空度(约90%真空度),以抑制振动和热变形。晶圆键合:需5×10⁻⁴ mbar至5×10⁻⁸ mbar(约5×10⁻² Pa至5×10⁻⁶ Pa)超高真空度,避免气体杂质污染键合界面。砷化镓NEA光电阴极激活:需优于10 Pa真空度,防止残余气体在晶片表面形成污染物吸附层。二、抽气量与抽速定义:抽气量指真空泵在工作压强下排走气体的能力,单位通常为m³/h或L/s。计算方法:可通过公式 S=tV×ln(P2P1) 计算所需抽速,其中 S 为抽速(L/s),V 为真空室容积(L),t 为达到目标真空度所需时间(s),P1 为初始压强(Pa),P2 为目标压强(Pa)。应用场景:高精度加工:如光刻、键合等工艺,需高抽速(如>1000L/s)以快速建立真空环境。一般加工:如切割、研磨等工艺,70-90 kPa真空度下,抽速需求相对较低。三、气体成分与辅助设备气体类型:需了解被抽气体成分(如蒸气、颗粒、腐蚀性气体等),针对性选择泵型。含蒸气或颗粒:需在进气口安装冷凝器或除尘器,防止泵体堵塞或磨损。腐蚀性气体:需选用耐...
发布时间: 2025 - 07 - 22
来源: 1401
阿特拉斯螺杆真空泵在高效节能、高可靠性、环保性、智能控制、广泛适用性及低维护成本等方面具备显著优势,具体分析如下:1. 高效节能,降低运行成本变频驱动(VSD)技术:阿特拉斯螺杆真空泵(如GHS VSD+系列)采用变速驱动技术,可根据实际需求自动调节转速和功率。例如,GHS730VSD+在低负荷时功率可降至3千瓦,相比传统水环泵可节省50%以上能耗,年节省电费可达数万元。干式运行,无需冷却水:风冷设计省去了水环泵所需的冷却塔和水循环系统,进一步降低能耗和运行成本。高抽速与低功耗:在相同抽速下,阿特拉斯螺杆泵的功率消耗显著低于水环泵。例如,GHS1300VSD+功率为22千瓦,而同等抽速的水环泵需45千瓦,年节省电费超50万元。2. 高可靠性,延长使用寿命耐用的螺杆转子设计:转子采用高强度材料,表面经过特殊处理,耐腐蚀、耐磨损,理论寿命超40万小时(约80年),20年内无需更换机头。无油污染,清洁运行:干式压缩技术避免油污染,适用于对清洁度要求高的行业(如半导体、制药、食品包装),同时减少因油污染导致的设备故障。稳定真空度:通过变频调节,真空泵能维持稳定的真空压力,减少生产波动,提高产品质量。3. 环保性能优越零废水排放:干式运行无需工作液体,彻底解决水环泵废水排放问题,符合环保要求。低噪音与低振动:优化设计的螺杆转子和减震结构使运行噪音显著降低,改善工作环境。无油蒸汽排放:避免传统油封泵的油蒸汽污染,保护操作人员健康。4. 智能控制与便捷操作全变频设计:支持低负荷省电运行,同时通过Elektronikon监控系统实现远程监测和故障诊断,提高管理效率。即插即用安装:集成化设计(如电气室、机壳)简化安装流程,占地面积小,适合空间有限的工厂。自动启停功能:根据生产需求自动启停,减少人工干预,降低能耗。5. 广泛适用性多行业应用:覆盖电子半导体、制药、化工、冶金、食品包装等领域,满...
发布时间: 2025 - 07 - 09
来源: 1732
在电子行业实现集中抽真空,需从设备选型、系统设计、工艺流程优化及维护管理四方面系统规划,以下为具体方案与分析:一、核心设备选型:匹配工艺需求,兼顾效率与成本干式真空泵爪式泵:耐粉尘、高轴扭矩,适合刻蚀工艺等产生颗粒物的场景。螺杆泵:粗低真空段抽气效率高,适合大工艺腔体预抽真空。罗茨泵:多级结构可提升真空度,常与螺杆泵或爪式泵组合使用。适用场景:半导体制造、光伏产业、平板显示等对无油污染要求高的领域。优势:抽速范围宽、无油污染、耐腐蚀、能耗低,适用于腐蚀性气体或粉尘颗粒物的抽取。类型选择:案例:半导体制造中,L/L腔(进出样品腔)多采用多级罗茨泵,工艺处理腔则以罗茨+爪式干泵或多级罗茨干泵为主。分子泵涡轮分子泵:工业领域应用广泛,与机械泵联用可提升抽速。磁悬浮分子泵:半导体领域规模较大,无摩擦、寿命长。适用场景:高真空度需求,如半导体制造、真空镀膜、空间模拟实验。优势:通过高速旋转转子将气体分子排出,可获得极高真空度(达10⁻⁹ Pa),且对大多数气体抽取效果好。类型选择:案例:在半导体工艺处理腔中,分子泵常与干泵组合,实现低压下高抽速。低温泵适用场景:超高真空环境,如超导材料研究、低温物理实验。优势:利用低温冷凝原理,可获得极高真空度(达10⁻¹² Pa),且无油污染。限制:结构复杂、成本高,需定期释放和再生,市场规模较小(约占半导体真空泵的10%)。案例:在电子束设备中,低温泵与扩散泵、罗茨泵配合,实现高真空冷却。二、系统设计:模块化与集成化结合,提升灵活性模块化设计功能分区:将抽真空系统划分为预抽模块(机械泵+罗茨泵)、高真空模块(分子泵/扩散泵)、低温模块(低温泵)等,根据工艺需求灵活组合。快速切换:通过阀门控制气体流向,实现不同工艺腔体的快速切换,减少设备闲置时间。案例:半导体制造中,L/L腔与工艺处理腔独立设计,通过管道连接至中央真空泵组,实现...
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