电子封装用水环真空泵机组具有以下优势:
结构简单,制造与维护便利:水环真空泵机组结构紧凑,制造精度要求不高,容易加工,一般可与电动机直联,无需减速装置,占地面积小,操作简单且维修方便。这种设计不仅降低了设备成本,还减少了维护时间和成本。
工作平稳,运行可靠:水环真空泵机组的转子和外壳之间通过水环形成密封,减少了转子旋转时的噪音,运行平稳且稳定性强。这种平稳的运行状态延长了设备的使用寿命,降低了故障率,确保了电子封装过程的连续性和稳定性。
适应恶劣工况:水环真空泵机组能够在高温、低温以及恶劣环境条件下稳定运行,对气体的压缩接近等温压缩,压缩时温度变化小,泵内没有相互摩擦的金属接触面,不易发生燃烧爆炸事故。这种特性使得水环真空泵机组特别适用于处理含有微小颗粒或水分的气体,以及易燃、易爆等危险气体。
密封性能好:水环真空泵机组采用水作为密封介质,具有良好的密封性能,可有效防止气体泄漏。在电子封装过程中,这有助于保持封装腔室内的真空度,提高封装质量。
安全性高:水环真空泵机组无需对泵内进行润滑,转动件和固定件之间的密封由水封完成,减少了因润滑油泄漏而引发的安全隐患。同时,其稳定的运行状态和较低的故障率也进一步提高了设备的安全性。