1.极限真空泵不高及其消除
(1)油位太低，有较大排气声，可参加清洁的真空泵油。
(2)真空泵油为可凝性蒸汽所污染，可开气镇净化或替换新油。
(3)泵口外接管道、容器、测试外表管道、接头等漏气。大漏时，有大排气声，排气口有气排出，应找出漏气部位，进行消除。
(4)进气咀或气镇阀橡胶密封图装配不妥，损坏或老化，应调整或替换。
(5)进油咀油孔堵塞，可拔出进油咀，疏通油孔。
(6)真空泵体系严峻污染，包含容器、管道等，应予清洗。
(7)旋片绷簧折断，应予互换。
(8)旋片、真空泵身或盖磨损，间隙过大，应进行查看，修整或互换。
(9)泵温过高，应改进通风和冷却。如所抽气体温度太高，应予先冷却后再进入泵内。
2.喷油
(1)油位过高，可入出剩余油量。
(2)减雾器中有泵油或杂物，应清除。
3.真空泵漏油
放油螺塞，油箱垫片损坏或装配不妥，螺钉拧紧;
油标未拧紧，有机玻璃过热变形;
泵身部件与支座的衔接挚垫片未垫好;
油封装配不妥或磨损;应予调整或替换。
4.真空泵噪声
(1)旋片绷簧折断，可互换绷簧。
(2)有毛刺、脏物或变形，工作发作妨碍，应查看修磨清洗。
(3)轴承磨损，零件磨损。应修整或替换。
(4)电机出毛病，应进行查看。
5.真空泵返油
(1)止回阀未关好，停泵后，油位很快下降，可再开再停，观察变化或拆开查看。
(2)两泵盖内油封装配不妥或磨损，可进行互换。
(3)真空泵盖或泵身平面不平坦，可进行修整。
(4)排气阀片损坏，应进行互换。