2019
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概述螺杆真空泵设备是一种大批量产品,它是真空工程必不可少的基本组件。近年来,随着真空技术应用的不断扩大,各种螺杆真空泵设备的增长也非常迅速。为了满足真空应用发展的需要,特别是老产品不断更新,新产品不断出现,真空设备的开发进入了一个新时代。其特点是:减少泵的振动和噪音,提高长期运行的可靠性,处理大量的可凝性和挥发性气体,减少能耗和运行成本,消除废液处理和环境污染;需要耐腐蚀,耐灰尘和清洁,无油的真空环境。 根据上述要求,获得真空,以使设备制造商不断改进旧产品的特性。例如,滑阀泵具有抽速大,性能稳定和耐用的特点,但是其运动部件的惯性力和惯性矩引起的振动一直引起人们的关注。 罗茨泵在清洁或腐蚀过程中的应用在半导体,平板显示器,薄膜太阳能电池和其他工作条件非常恶劣的行业中,大多数设备都使用由罗茨真空泵和干式螺杆真空泵组成的真空装置。一方面,可以减小干式螺杆真空泵的尺寸,可以提高中真空范围内装置的抽速,并且可以将极限真空度提高一个数量级。 根据罗茨泵的泵送机构,原则上应无油,但是罗茨泵的转子必须由轴承和精密同步齿轮支撑,这需要润滑系统。当真空系统去除腐蚀性气体或蒸气时,润滑油也可能被腐蚀。 该密封件具有五点机械密封件,也就是说,除了电动真空机输入处的机械密封件外,其他四个机械密封件也用作泵室和燃油箱之间的密封件。完全机械密封的罗茨真空泵特别适合工艺气体具有高腐蚀性的应用。为了防止腐蚀,...