2020
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真空系统是指通过管道将真空泵、真空计和各种部件以适当的方式连接起来，达到一定真空度的装置。真空系统的基本要求是什么? 1.在泵送装置或工作室中获得所需的极限真空和工作真空 极限真空度是指装置在无泄漏和放气时达到的真空度，工作真空度是指装置在进行真空处理时能够保持的真空度。在真空处理过程中经常会释放出大量的气体，此时的工作真空度将大大低于极限真空度。极端真空度和工作真空度有其自身的重要性，它们从不同方面影响着器件的质量。例如，在使用氧化物阴极装置的排气真空系统中，电10-2电极除气和阴极分解将产生大量除气。如果工作真空度差，电极可能被氧化，阴极可能活化不好。然而，当装置最终被密封时，基本上没有泄漏和放气，并且装置中的真空度取决于排气真空系统的极限真空度。 2.获得一定工作真空度所需的时间 这个时间取决于真空系统机组的抽吸速度。提高泵送速度可以缩短这一时间。大型工作室显然需要大的泵速。有时工作间不大，但由于泄漏和放气严重，真空系统也需要较大的抽气速度，否则大量的泄漏和放气会大大降低真空度，使系统无法工作。 3.泵送装置或工作室中有合适的残留气体成分 实践证明，仅仅提高和保证极限真空度和工作真空度是不够的，还需要对残余气体成分有一定的要求。例如，对于真空摄像装置，为了在一年的使用寿命内保持灵敏度降低不超过巧合，要求装置中残留气体的氧含量不高于10-2Pa。耐高压真空开关管不应...