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2020 - 08 - 20
塑料加工是注塑成型中最不可缺少的部分,一般包括塑料配料、成型、加工、连接、装饰和组装。小编打算介绍真空泵在塑料零件加工中的应用。在塑料零件加工的真空产生领域,我们为您提供各种技术选择。  1.真空系统是一种独立的真空技术解决方案,用于挤出过程中的熔体脱气,具有高真空、性能稳定、使用寿命长、结构紧凑、占地面积小等特点。  2.无油真空泵无油真空泵是一种无需任何油润滑就能工作的机械真空泵。它具有结构简单、操作方便、维护方便、不污染环境的优点。耐久性好,是抽真空、压缩和获得真空的两用真空泵,是应用范围广的基础设备。因此,它是气力输送或脱气系统的理想部件。  3.螺杆真空泵螺杆真空泵采用干式压缩技术,实现高泵速和高真空水平。  4.旋片真空泵旋片真空泵可以描述为整体行业标准真空泵。凭借其可靠性和耐用性,真空泵可用于塑料加工的几乎所有领域。  对于注塑成型,最不可缺少的步骤是干燥材料。大多数工程塑料都是吸湿性的,并且由于外部天气的影响,塑料颗粒容易受潮。用这种高水分含量的原料进行注塑成型产品会导致明显的质量问题,如气泡或斑点,严重时甚至会降低产品的性能。因此,塑料原料在生产过程中应采用螺杆真空泵干燥。  变螺距和自由排气大大提高了螺旋杆真空泵处理液体和灰尘的能力。其独特的温度分布起到防腐作用,优化的效率降低了热负荷,从而延长了泵的使用寿命。干式螺杆真空泵的优点。  1,工作腔和螺杆转子表面有...
2020 - 08 - 27
真空泵故障及方法  1.极限真空不高及其消除  (1) 油位太低,有较大排气声,可加入清洁的真空泵油。  (2) 泵油为可凝性蒸汽所污染,可开气镇净化或更换新油。  (3) 泵口外接管道、容器、测试仪表管道、接头等漏气。大漏时,有大排气声,排气口有气排出,应找出漏气部位,进行消除。  (4) 进气咀或气镇阀橡胶密封图装配不当,损坏或老化,应调整或更换。  (5) 进油咀油孔堵塞,可拔出进油咀,疏通油孔。  (6) 真空系统严重污染,包括容器、管道等,应予清洗。  (7) 旋片弹簧折断,应予调换。  (8) 旋片、泵身或盖磨损,间隙过大,应进行检查,修整或调换。  (9) 泵温过高,应改善通风和冷却。如所抽气体温度太高,应予先冷却后再进入泵内。  2.喷油  (1) 油位过高,可入出多余油量。  (2) 减雾器中有泵油或杂物,应清除。  3.漏油  放油螺塞,油箱垫片损坏或装配不当,螺钉拧紧;  油标未拧紧,有机玻璃过热变形;  泵身部件与支座的连接挚垫片未垫好;  油封装配不当或磨损;应予调整或更换。  4.噪声  (1) 旋片弹簧折断,可调换弹簧。  (2) 有毛刺、脏物或变形,运转发生障碍,应检查修磨清洗。  (3) 轴承磨损,零件磨损。应修整或更换。  (4) 真空泵电机出毛病,应进行检查。  5.返油  (1) 止回阀未关好,停泵后,油位很快下降,可再开再停,观察变化或拆开...
2020 - 09 - 14
随着干式真空泵的广泛应用,很多人特别关注其组装。 其组装质量与真空泵的使用直接相关,但有些外行人不太了解,请小编大家介绍一下,可以更快理解。  1 .在干式真空泵轴即转子轴设备之前,必须确认是否弯曲或变形。  2 .叶片和转子之间合作的开放空间。  3 .转子平衡状况是否符合标准。  4 .调整轴承和端盖之间的开放空间。  5 .调节密封部分的开放空间。  6 .联轴器的同轴度是否满足要求。  7 .是否需要多次密封缓冲补偿装置的紧固。  8 .干式真空泵转子的同心度和轴承位置是否满足要求。  以上介绍都是关于干式真空泵的。 在组装泵的过程中,为了保证产品的组装质量,提高我们的工作进度,必须按照规定的操作模式,不影响设备的使用。
2020 - 10 - 11
干式真空泵之所以受到很多企业的青睐,主要与它的应用工艺有关,其中喷砂工艺是众多工艺中的一种,但是很多用户并不了解它的工艺,所以厂家会介绍它的工艺模型,以满足用户的需求。  1.干式真空泵最后一次喷砂完成并自然干燥后,继续在蜡模表面涂工业胶(溶硅浆),喷第二层砂,第二层砂的粒径比前一层砂更大更厚。第二层砂用水环真空泵喷涂后,蜡模在设定的恒温下自然干燥。  2.二次砂自然喷干后,类比进行第三次喷砂、第四次喷砂、第五次喷砂。要求:  (1)根据产品的表面要求,相应调整喷砂次数。喷砂次数一般为3-7次。  (2)每次喷砂的砂粒大小不同。通常后道工序的砂子比前道工序粗,风干时间也不一样。一个完整的蜡模上砂的生产周期一般在3~4天左右。  以上是干式真空泵的喷砂工艺。通过了解流程,可以更好地应用设备,从而满足规定的使用要求,满足企业使用效果,同时有效提高设备的使用效率。
2020 - 10 - 21
罗茨真空泵过载的原因很多,如果收紧气体所需的电力与差压成比例,气体差压过高的话,泵会过载,电机绕组可能会烧毁。处理泵过载问题的方法主要有以下几种。  (1)采用机械式自动调压旁通阀。旁通阀装置位于罗茨真空泵出口和入口之间的旁通管路。该阀控制泵出入口之间的差压不要超过额定值。差压达到额定值时,阀在差压作用下自动打开,使泵出口和入口连通,导致出入口间差压急剧下降,此时泵在完全没有差压的负荷下工作。差压低于额定值时,阀自动关闭,气体通过泵内由前段泵吸引。带旁通溢流阀的泵与前段泵同时工作,可简化单元操作。  (2)液力耦合器采用液力耦合器,可避免泵过载现象的发生,使泵在高压差下工作。液力偶合器装置位于泵和马达之间。在通常的动作状态下,液力耦合器从马达侧向泵传递额定转矩。罗茨真空泵的差压由液力耦合器传递的转矩决定,液力耦合器能够传递的转矩根据其中的液量进行调整。泵在高压差下工作,或与前段泵同时启动时,液体联轴器内部产生差旋转即滑动,只传递一定的扭矩,泵减速工作。 随着排气的停止,气体负荷减少,泵逐渐加速到额定转速。  (3)使用真空电气部件控制泵入口压力,在罗茨真空泵的入口管路上安装真空膜盒继电器和电触点真空压力计等压力传感器。 真空系统启动后,泵入口压力低于规定值(泵允许启动压力)时,压力传感器发出信号,通过电气控制系统打开泵(真空系统配备泵旁通管路时,旁通管路阀也关闭)。 如果泵入口压力...
2020 - 11 - 02
当水环式真空泵用于生产和企业使用时,通常不会停止,或者由于生产过程的要求而关闭设备,有时会导致设备过热,我们必须采取有效的方法来降温。  1.转子冷却油膜。这种冷却方法包括将油管连接到水环真空泵的入口,并使用均匀滴下的冷却油从转子上带走热量。  2.空气冷却。所谓的湿水环式真空泵是指级间或两级泵吸入的空气被压缩并通过具有完全吸收和相位差的组合消音器传输。  3.水冷却。气体传输和压缩产生的热量必须从转子散发到壳体。  4.转子的内部冷却。为了使水环式真空泵在更高的压差下工作,可以采用更有效的冷却方法,即用循环油冷却转子,并用油的油孔和泵头进行冷却。油孔,油径轴头分别插入泵轴的两端。经转子内壁再从另一端排出。  对于水环式真空泵的四种冷却方式,必须根据不同的使用环境和不同的设备条件选择冷却方式。这不仅会迅速冷却,而且整个设备不会造成太大损坏。
2020 - 11 - 12
小型真空泵,也称为微型真空泵,广泛用于各种真空操作,例如制冷设备维护,医疗设备抽吸设备,印刷机械,真空包装,真空安瓿,实验物理和化学需要真空环境和小型设备。它还涉及科学研究,气体采样,仪器仪表,化学分析,医疗保健,医药卫生,生物工程,自动控制,环境保护,水处理以及其他气体/水质分析仪器,PM2.5检测。3D打印机,医疗设备设备,自动化设备,物体吸附,军事自动化设备等许多领域。工程师将为您提供分享小型真空泵的应用知识。  在许多设备制造领域中,对于许多机械设备而言,小型泵是最重要的组件之一,其重要性显而易见。  小型无油真空泵和大型真空泵之间最明显的区别是尺寸上的区别,但真正的重点应该是了解以下优点和缺点:  大型真空泵的特点:大功率,较高的最终真空度(绝对压力非常低)(较低的绝对压力,较高的最终真空度),有些甚至可以达到10减去几平方,非常接近理论真空度。抽速高,通常“ L/S(升/秒)”为单位。  大型真空泵的缺点:尽管真空度很高,但真空度低时会造成很多浪费。像实验室一样,仅需少量气体即可进行气体采样,气体分析,气体循环,真空吸附,气体转移,加压,间接吸水,排水等。没有油,使用大型真空泵将无法满足要求。它不污染,不干扰介质分析要求,价格昂贵,尺寸超大,笨重,嘈杂,能耗高,需要定期维护并且不易移动。一些大型真空泵需要使用真空泵油或润滑油,它们在工作期间会产生油雾并污染工作环境……等...
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发布时间: 2025 - 04 - 29
来源: 238
罗茨水环机组:塑胶厂“全年无休”的硬核生产力引擎在塑胶加工行业,设备宕机是悬在生产线上方的“达摩克利斯之剑”。传统真空泵因故障频发、能耗失控,常让企业陷入“停机抢修—订单积压—利润缩水”的恶性循环。而罗茨水环真空机组的出现,正以“全年无休”的稳定性、“三防一体”的硬核性能,重塑塑胶厂的生产逻辑。工人从“救火队员”变身“巡检员”,老板直呼“省下的钱够换辆特斯拉”——这场由真空系统引发的效率革命,正在...
发布时间: 2021 - 01 - 08
来源: 80
随着冬季温度的降低,很多场合的水环泵由于气温的原因停止使用,这个时候水环泵的检修和保养变得尤为重要,以下就由小编给大家分享一下冬季水环泵的维修和保养方法。  1.水环泵停用后,要放尽水环泵和管路内的剩水,并把外部泥土清洗干净,以免上冻后积水结冰把泵体和水管胀裂。  2.水环泵的底阀、弯管等铸铁件,应当用钢丝刷把铁锈刷净,然后先涂上防锈漆后再涂上油漆,待干燥后再放入机房或贮存室通风干燥的地方保存。  3.用皮带传动的,皮带卸下来后用温水清洗擦干后挂在干燥、没有阳光直接照射的地方,也不要存放在有油污、腐蚀物及烟雾的地方。无论在何种情况下,都不要使皮带沾上机油、柴油或汽油等油类物质,不要涂松香和其他粘性的物质。  4.检查滚珠轴承,如内外套磨损、旷动、滚珠磨损或表面有斑点都要更换。对不需要更换的可用汽油或煤油将轴承清洗干净,涂上黄油,重新装好。  5.检查水环泵的叶轮是否有裂痕或小孔,叶轮固定螺母是否松动,如有损坏应修理或更换。若叶轮磨损太多或已打坏,一般应更换新叶轮。局部损坏可进行焊补,也可以用环氧树脂砂浆修补叶轮,修复后的叶轮一般应进行静平衡试验。检查叶轮减磨环处间隙,如超过规定值,应修理或更换。  6.对弯曲或磨损严重的泵轴,应当修复或更换,否则会引起转子的不平衡和有关部件的磨损。  7.卸下来的螺丝浸泡在柴油里用钢丝刷刷洗干净,并涂上机油或黄油,重新安装起来或者用塑料布包好后放好(也可浸在柴油中保存),以免锈蚀或丢失。
发布时间: 2021 - 01 - 07
来源: 76
水环真空泵工作液只能使用一次吗?很有可能有刚接触此设备的顾客会问,当然不是;那么工作液是不是可以重复使用?当然可以,只是需要注意下列事项。  1、水环真空泵工作液再循环应用时,要保证工作液中没有杂质污染,循环应用要配备储水箱和制冷一般工作水温度应控制在15-25℃,温度过高会影响水环真空泵特性,例如真空值和抽速等。  2、通常是加工设备冷却,更关键的是现场工艺了,溫度层面的管控,大部分产业链实际上都会将循环水不断应用,节约资源。循环管道要保证装好,一般状况下,水环真空泵工作液首先推荐工业软水。  3、泵在工作情况下对水的温度和水的质量是有一定规定的,关键是为了防止浸蚀內部叶轮等配件,使用循环应用水这样才能节约能源。  4、尽可能采用工业软水,以防导致设备的损坏,做到应用水的重复使用,达到环境保护,节约能源的目的。
发布时间: 2021 - 01 - 07
来源: 59
真空泵是用各种方法在某一封闭空间中产生、改善和维持真空的装置。真空泵可以定义为:利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。随着真空应用的发展,真空泵的种类已发展了很多种,其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。极限压力(极限真空)从粗真空到10-12Pa以上的极高真空范围。  真空泵的分类  按真空泵的工作原理,真空泵基本上可以分为两种类型,即变容真空泵和动量传输泵。  变容真空泵是利用泵腔容积的周期变化来完成吸气和排气以达到抽气目的的真空泵。气体在排出泵腔前被压缩。  动量传输泵(分子真空泵)依靠高速旋转的叶片或高速射流,把动量传输给气体或气体分子,使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。(单独段介绍)  变容真空泵又分为:往复式,旋转式(旋片式、滑阀式、液环式、罗茨式、螺旋式、爪形转子式),其它型式。  真空泵的规格及型号表示法  国产的各种机械真空泵的型号通常是用汉语拼音字母来表示。汉语拼音字母表示泵的类型;字母前的数字表示泵的级数,单级时“1”省略;字母后边横线后的数字表示泵的抽速(L/S) 。
发布时间: 2021 - 01 - 06
来源: 67
真空理论上是指容积里面不含有任何的物质。(现实中是不存在真正的真空的)通常把容器内气压低于正常大气压(101325 Pa)的都称之为真空状态。  真空度 表示处于真空状态下的气体稀簿程度,通常用压力值来表示。实际应用中,真空度通常有绝对真空和相对真空两种说法。从真空表所读得的数值称真空度。真空度数值是表示出系统压强实际数值低于大气压强的数值,从表上表示出来的数值又称为表压强,业界也称为极限相对压强,即: 真空度=大气压强-绝对压强(大气压强一般取101325Pa,水环式真空泵极限绝对压强3300Pa;旋片式真空泵极限绝对压强约10Pa)  绝对真空&相对真空  极限相对压强 相对压强即所测内部压强比“大气压”低多少压强。表示出系统压强实际数值低于大气压强的数值。由于容器内部空气被抽,因此,内部的压强始终低于容器外部压强。所以当用相对压强或者表压强表示的时候,数值前面必须带负号,表示容器内部压强比外部压强低。  极限绝对压强 绝对压强即所测内部压强比”理论真空(理论真空压强值为0Pa)”高多少压强。它所比较的对象为理论状态的绝对真空压强值。由于工艺所限,我们无论如何都不能将内部压强抽到绝对真空0Pa这个数值,因此,真空泵所抽的真空值比理论真空值要高。所以当用绝对真空表示时,数值前面无负号。  例如,设备的真空度标为0.098MPa,实际上是-0.098MPa  抽气量 抽气量是真空泵抽速的一个衡量因素。一般单位用L/S和m³/h来表示。是弥补漏气率的参数。不难理解,理论下抽一个相同体积的容器,为什么抽气量大的真空泵很容易抽到我们所需的真空度,而抽气量小的真空泵很慢甚至无法抽到我们想要的真空度? 因为管路或者容器始终不可能做到绝对不漏气,而抽气量大的弥补了漏气所带来的真空度下降的因素,所以,大气量的很容易抽到理想真空度值。这里建议,在计算出理论抽气量的情况下,...
发布时间: 2021 - 01 - 06
来源: 94
1、工艺要求达到的真空度  真空泵的工作压力应该满足工艺工作压力要求,选型时真空度要高于真空设备真空度的半个到一个数量级。(如:真空工艺要求100pa(绝对压力)的真空度,选用真空泵的真空度至少要50pa-10pa)。一般如果要求绝对压强高于3300Pa,则优先选择水环式真空泵作为真空装置,如果绝对压强要求低于3300Pa,则不能选择水环式真空泵,选择旋片式真空泵或更高真空级别的真空泵作为真空获得装置。  2、工艺要求的抽气量(抽气速率)  真空泵要求抽气速率(也就是要求真空泵在其工作压力下,排出气体、液体,固体的能力),一般单位:m3/h,L/S,m3/min。具体计算方法可以参考下面公式自行计算选型。当然,真空泵的选型是一个综合过程,涉及到相关经验等因素。  S=(V/t)×ln(P1/P2)  其中:S为真空泵抽气速率(L/s)  V为真空室容积(L)  t为达到要求真空度所需时间(s)  P1为初始压强(Pa)  P2为要求压强(Pa)  3、判定被抽物体的成分  第一、被抽物体是气体、液体还是颗粒,如果被抽气体中含有水汽或少量颗粒性和粉尘等杂质,慎选旋片式真空泵,如果真空度要求较高,则应加过滤装置加以过滤方能使用旋片式真空泵做真空获得设备。  第二、要知道被抽物体是否有腐蚀(酸性还是碱性,PH值是多少?),若含有酸碱腐蚀或有机腐蚀等因素的气体,应过滤或中和处理才能选旋片式真空泵。  第三、被抽物体是否对橡胶或者油品有污染?针对不同的被抽介质要选用相应的真空设备,如果气体中含有大量蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装相应的辅助设备,如冷凝器,过滤器等(具体联系我们相应技术工程人员)。  第四、 真空泵的噪音,振动,美观的对工厂是否有影响。  第五、俗话说,便宜没好货。购买真空泵和真空设备时,还应优先考虑设备的质量、运输及其维修和保养费用...
发布时间: 2021 - 01 - 05
来源: 357
当真空泵工作时,常常会呈现冒烟、喷油等毛病;那么为什么真空泵会呈现冒烟、喷油的景象?很多人不清楚原因。今天告诉大家最常见的真空泵冒烟、喷油几种毛病及解决办法。  1、做完保养后开机就一直冒烟  当刚做完保养,真空泵过滤器刚刚安装上去开机的那一时刻,排气口出现少量的烟雾,那是正常现象,那只是在保养前油箱内未排完的气体而已,一分钟就可以消失了。如果在真空泵在做完保养后开机就一直冒烟,则就要考虑是否是过滤器没有安装到位,或是过滤器密封圈与泵体接触位置是否有异物存在影响密封度,导致气体未经过滤而排出 。如果安装检查无问题,则就考虑是否真空泵本身的密封组件是否有问题或新安装的过滤器质量有无异常了。  2、保养完毕两个月内出现冒烟  保养完毕后使用了几天到两个月内开始出现冒烟现象,则考虑是过滤器出问题了,正常情况下过滤器使用寿命应该是2000小时或三个月以上。如果不到这个时间就出现冒烟现象,要么是过滤器质量有问题,要么是真空泵油有问题,到底是哪个有问题呢?辨别方法是:将过滤器拿出来看看,如果外表面的棉已呈黑色,或已经很脏了,则是真空泵油的问题了,如果棉表面还很净,而滤芯堵死了无法排气则是过滤器的问题。  3、使用2000小时或三个月后出现冒烟 使用2000小时或三个月后出现冒烟现象,基本是正常现象了,该做保养了。同时也表明使用环境不是很好,或是泵的保养不够好,一般情况下,滤芯应该可以使用半年以上,但不建议一直使用到冒烟才去更换。机器如人一样,平时不体检不保养,等到病痛来了才去就医,往往会对寿命造成影响的。
发布时间: 2021 - 01 - 05
来源: 56
循环冷却水的水质和运行温度超过一定指标是造成真空泵结垢的主要原因。水质指标中,尤以水的硬度影响最大。为此,必须尽可能降低水的硬度,控制循环冷却水的工作温度,才能解决真空泵结垢的问题。  1、循环冷却水的硬度  循环冷却水在真空泵中的运行过程,与低压热水锅炉中锅水运行过程极其相似。因此,按照热水锅炉水质标准来管理真空泵水质,既可防止真空泵结垢又可防止真空泵腐蚀。  真空泵循环冷却水系统大都是敞开式循环系统,回水率比较高。在因资金等原因不采用离子交换设备进行水处理的情况下,一般利用一个软化水池加一个高位水池对真空泵进行供水。  2、循环冷却水的温度控制  从上述分析可以看出,真空泵内水环温度与软化水池水温之差是导致结垢的重要因素。因此,增大循环供水量提高冷却效果是最大限度减小结垢速度的重要保证。  因此在循环冷却水运行过程中,还有必要对各台泵的回水温度和回水量进行监测,以保证各台泵的正常供水量以及回水温度不超过40℃的规定。供水量可以用阀门来控制,如果回水温度超过规定,要采取补充低温冷水或用其他散热降温的办法来降低软化水池内软化水的温度。  3、定期冲洗泵体  水环式真空泵的泵体排水闸阀,除了用于正常排出泵内积水外,还可在运行过程中利用泵体运转的水压定期冲洗泵内污垢和水渣,一方面可以防止污垢积存,另一方而还可以防止水渣转化为水垢。  真空泵的结垢问题有其较为复杂的生成机理,正确分析水质指标和运行参数是找出正确防范措施的关键。除了水温控制和定期冲洗泵体外,水处理是防止泵体结垢的最重要环节。
发布时间: 2021 - 01 - 04
来源: 107
一些螺杆真空泵在使用一段时间后温度会升高,温度过高会对设备产生什么样的危害么?这是什么原因造成的呢?应该怎样检查设备的故障呢?我们一起来看看吧。  1、排气口背压,排气口的压力对螺杆真空泵腔温度影响很大。当泵腔温度突然升高时这时需要坚持排气口是否堵塞。  2、冷却水压力和温度变化,由于压力和温度对冷却水也会产生影响,所以也要注意这个问题。  3、冷却水的流量是否受到影响,由于各地水质存在差异,有的地方水质结垢厉害导致夹套水流通过量减小,进而导致螺杆真空泵泵体降温受到影响。  4、螺杆真空泵进气口过滤器是否顺畅,由于有的工况粉尘较多,粉尘容易对过滤器堵塞,所以这个地方也要十分注意。过滤器进气不畅也会影响进气温度。  如果发现局部发热,应当立即停止泵等运行并检查。螺杆真空泵在使用的时候要注意进行定期的检查,及时发现设备存在的问题,以免造成不必要的损失。需要维修请致电厂家售后解决。
发布时间: 2021 - 01 - 04
来源: 64
罗茨真空泵在使用中可以达到要求使用程度,但在生产过程中,必须严格按照操作规定进行操作,才能达到好的效果,下面咱们一起了解下罗茨真空泵的使用特性有哪些吧。  罗茨真空泵主要有两个旋转方向相反的转子在泵体中,由一对同步齿轮传动,转子在泵体中咬合而不接触,转子间隙小,使用时应特别注意需要经常检查油位,满足正常工作要求,换油期限根据实际使用条件和能否满足性能要求等考虑。一般新设备建议在清洁干燥的气体抽出时,工作300小时左右换一次油,然后每两个月换一次。经常检查油质状况,发现油质变质应立即更换新油,确保其工作正常。  清洗整个罗茨真空泵腔内部件,可用蒸汽或酒精等对应溶剂清洗泵腔。在轴承体内加入轴承润滑油/润滑脂,观察油位应在油标中心线处,润滑油应及时更换或补充。重新组装后进行试运转,一般空运转2小时,更换油2次,清洗时罗茨泵中残留一定量的挥发物,运转正常后投入正常运转。使用一段时间后,马达的电流可能会变高,请检查泵腔,清扫马达风扇的灰尘,灰尘多,散热受阻。  关于罗茨真空泵的使用特性就这些,操作过程中必须严格按照规定进行操作才可以,详情咨询真空泵厂家售后人员。
发布时间: 2020 - 12 - 31
来源: 176
超高真空应用领域是当压力超过10^-5Pa之后就进入到了。这个时候,多数真空泵的抽气作用已经停止或者抽速很低。那这个时候用来实现超高真空的真空泵都有哪些呢?  第一种,扩散泵。扩散泵对惰性气体有着很好的抽气作用,比如即使在10^-13Pa压力下,其对氦仍能保持稳定抽速,因此在很多的超高真空系统中得到运用。但扩散泵的返流引起的油污染限制了它的应用,同时对氢的压缩比也是限制其极限压力的一个因素。  第二种,涡轮分子泵。涡轮分子泵是一种比较理想的清洁泵,其对分子量大的气体压缩比大,对轻的气体压缩比就小,在一些应用领域开始替代油扩散泵。超高真空应用中,影响涡轮分子泵极限压力的主要因素是入口段泵体内表面和转子零件表面的材料放气。  第三种,溅射离子泵。溅射离子泵也是一种无油清洁真空泵,对惰性气体的抽速大。其在10^-8Pa压力以下时,由于自由电子密度减少潘宁区无法产生放电,会出现抽速降低,甚至“灭火”。  第四种,冷冻升华钛泵。冷冻升华钛泵是将钛膜蒸发在77K以下的冷面上,拥有较大的抽速与较低的极限压力,不仅可以实现抽气的作用,同时可以减少放气与防止返流的作用,在空间模拟以及极高真空获得中不可或缺。缺点是对惰性气体抽速很小,必须与其他泵配合。  第五种,弹道钛泵。弹道钛泵的极限压力在10^-9Pa,对惰性气体有一定抽速,但抽速不易做大,因此经常被升华泵与溅射离子泵代替。  第六种,低温冷冻泵。低温泵也是超高真空获得的主要方法之一,可以通过加大冷冻吸附面获得很大的抽速,不含工作液体,属于清洁真空泵。
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