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2019 - 08 - 05
无论是真空泵机组还是其他任何机械设备,它都离不开润滑油,因为润滑油可以有效地帮助设备更好地工作。但是,这种润滑剂不能长期保持其功能。它需要根据装置的使用来改变油。因为长时间工作后,机组的油品质会受到各种外部因素的污染,否则如果及时更换新的润滑油,会对机组造成损坏。因此,下面的小编谈谈一些处理事项,机组进行换油操作,帮助大家更顺利地工作。1.当真空泵装置换油时,首先应注意泵应从真空系统中取出。2.之后,底盘电机的末端应升高。打开排油塞以排油,转动装置,保持排气口,让腔室中的所有脏油从排油口排出,然后从进气口添加新油。油100-500ML连续旋转5-10 rpm或更多进行内部清洁,此操作3-5次。3.取出油后,盖上油塞,将泵平放,分别从进气口和油孔加入新油,换油。    4.当真空泵装置换油时,不建议长时间启动电机。此时,排气阀将过于剧烈和疲劳。5.真空泵机组换油时,还应禁止使用煤油,汽油,酒精等进行泵的非拆卸清洗。6.如果泵停止时间较长,则应注意拆下排气罩,并将排气塞关闭进气口并排水。每个人都需要知道润滑油对真空泵机组的影响是非常好的,不仅可以减少机组内部零件的磨损,还可以使零件运行平稳灵活,但如果润滑油被污染和充满杂质,那么这些好的效果会变坏,增加部件的磨损,使它们无法正常工作等等。因此,在更改设备的操作时,每个人都必须正确和小心。
2019 - 08 - 08
在半导体蚀刻工艺中应用旋片式真空泵的目的是去除曝光和显影的光致抗蚀剂微图案中的下层材料的暴露部分,即,再现与下层材料上的光致抗蚀剂相同的图案。蚀刻是半导体制造工艺,微电子IC制造工艺和微纳制造工艺中非常重要的步骤。这是与光刻相关的图形处理的主要过程。事实上,所谓的蚀刻是狭义理解的是光刻蚀刻。首先通过光刻对光致抗蚀剂进行光刻曝光处理,然后通过其他方法进行蚀刻以去除要去除的部分。随着微制造工艺的发展,从广义上讲,蚀刻已经成为通过溶液,反应离子或其他机械手段剥离和去除材料的通用术语,并且已经成为微加工的通用术语。以下描述Si3N4蚀刻的过程:Si3N4刻蚀半导体刻蚀工艺:在903E蚀刻机中蚀刻,引入蚀刻机的气体是:CF4,NF3,He。氟自由基的作用是使氮化硅被腐蚀,产物是气体,它被旋片式真空泵抽走。为了加速腐蚀速率,可以在CF4中加入少量氧气(5%-8%),因为氧气可以抑制反应室壁中F *的损失,并且:CF4 + O2→F * + O * + COF * + COF2 + CO + ...(电离)。 COF *具有长寿命,当它移动到晶片表面时,发生以下反应以加速腐蚀速率:COF *→F * CO(电离),但加入氧气以腐蚀光致抗蚀剂以减少选择性。蚀刻是微细加工技术的重要组成部分,微电子技术的快速发展推动了微加工技术的发展。通常,蚀刻技术可分为干蚀刻和湿蚀刻。初始蚀刻主要是湿法蚀刻,但是当...
2019 - 08 - 13
水环式真空泵是工业生产的关键产品,使用了许多工艺,并且它们用于许多无尘和无菌环境中。如:真空吸附,真空包装,真空过滤,真空抽提,液体脱气,气体回收,土壤净化,真空排水/喂料等,具体行业如下:电力行业:冷凝器真空,真空吸水,烟气脱硫,粉煤灰输送,真空排气石化:气体回收,气体排放,原油减压蒸馏,聚酯生产,PVC生产。造纸工业:粗浆洗涤,石灰泥过滤,沉淀过滤,真空脱水,真空压榨和辊辊。采矿业:真空过滤,废气回收,气体排放,沼气回收。制药工业:真空干燥,真空蒸馏,物料填充或转移,真空结晶,真空蒸发。木材加工:真空吸附,木材干燥,木材保存,原木浸渍。食品和饮料:纯净水脱气,食用油除臭,真空灭菌,湿滑,真空蒸发,真空包装。医疗设备:蒸汽灭菌,中央真空系统。其他行业:真空吸附,实验室吸尘,臭氧生产,真空挤奶等。可以看出,水环式真空泵是工业生产的核心产品,根据不同的用户分为不同的类型,需要不同应用领域的水环式真空泵应用。因此,在未来,真空泵设备的选择也非常重要。
2019 - 08 - 16
主要模拟装置的实验内容及其对真空度的要求是航空航天工业中非常重要的内容。一般来说,普通人很难达到它,所以它更加神秘。真空泵制造商已经普及和航空。航空航天相关的真空技术应用知识。螺杆真空泵在航空工业中的应用主要用于空间环境模拟。航空航天活动基本上是在自然真空中进行的,不仅受真空环境的影响,而且受各种太阳辐射和带电粒子的影响。因此,有必要模拟类似的宇宙真空环境并进行各种测试。人类太空探索的步伐正在加快,对空间技术提出了更高的要求。空间环境模拟器是确保航天器在发射,运行和返回过程中安全运行的主要设备。真空环境是地面上的空间环境模拟器。模拟的一个重要部分。真空技术和航空航天技术之间的主要联系来自空间的环境模拟,因为诸如运载火箭,卫星,载人航天器,空间站,太空探测器和航天飞机等各种太空飞行器正在进行太空飞行。它是在宇宙的自然真空中进行的。因此,除了受到空间真空环境的直接影响外,它们还受到太阳辐射,各种带电粒子和温度的影响。这些因素会导致材料特性的变化或损坏;仪器灵敏度的失效将破坏这些飞机的工作,甚至造成宇航员的伤亡。为此,有必要建立一个模拟地面空间环境的空间模拟实验装置。因为在各种飞机之前只有通过地面的模拟实验。掌握航天器在太空工作的条件和特点,消除飞行中的各种隐患,可以保证飞机和宇航员的安全。为了满足这些要求,目前在地面上建立了各种模拟装置。螺杆真空泵具有清洁无油,抽速大,振动小,噪音低等...
2019 - 08 - 28
无油真空泵根本不使用油。因此,它们是所有需要干净真空环境的操作的理想选择。实验室,分析和化学工业只是其中的一部分。该真空泵还可用于医疗机械自动线,食品加工机械,中西医药厂,医院手术室等。在需求量很大的地方,无油真空泵不仅可靠地完成工作,而且还能减少振动和噪音。本文旨在介绍一种用于干燥,清洁真空的无油真空泵。真空是全球革命性的定制真空解决方案,代表着德国工艺,权威建议和可靠服务。得益于真空产品,各种前瞻性的高端工艺已成为可能。在需求量很大的地方,无油真空泵不仅可靠地完成工作,而且还能减少振动和噪音。该真空泵是干燥和清洁真空的最佳选择。制造工艺或真空泵技术如太阳能电池,半导体,DVD和中空玻璃以及涂覆的高应力机床或玻璃的情况很多。真空在研发和环境技术以及分析仪器和汽车工业中也发挥着重要作用。无油真空泵产品的优点:1.绝对干燥,无油的真空环境2,隔膜使用寿命长3,振动小,噪音低4,安全系数高5.通过简单的隔膜和阀门更换,易于维护6.全球范围的双电压电机或直流驱动器虽然进口无油真空泵具有各种优点,但仍需要注意购买无油真空泵的注意事项。购买无油真空泵时,首先要确定工作所需的真空度。如果需求很高,选择的真空泵应高于所需的真空度。否则,将无法满足真空要求。要求。第二个是无油真空泵的抽速,比选择时所需的抽速稍大,因此可以更好地满足需要。最后,看看提取的气体是否具有腐蚀性,腐蚀性气体是否会腐蚀泵,必...
2019 - 09 - 03
如何选择实验室中使用的真空泵是困扰许多用户的问题。使用真空泵后,很多用户会遇到真空计,观察到真空度不够(吸力不够),抽速太慢,而且用于相对封闭的房间。当使用泵时,存在诸如噪音过大或油雾的各种问题。而这些问题往往与选择有更大的关系。在实验室中常用的是单级旋片式真空泵。其性能稳定,耐用,功能强大,废气无油雾,噪音低,振动小。因此,在实验室中应用单级旋片式真空泵是非常合适的。一般用户可能无法理解进口单级旋片式真空泵的参数与实际使用效果之间的关系。一般来说,用户在购买实验室真空计时主要考虑以下因素:1.使用环境是否需要确保无污染:由于设计原则,有些真空泵需要使用其他介质来辅助泵的运行,如油旋片真空泵和水循环真空泵,需要倒出泵油并分别连接水源。使用泵油时,油雾会排放到空气中,污染环境;并且泵必须连接到水源,因为它需要连接到水源。一些需要在细胞室洁净室中吸出细胞培养上清液的顾客不能使用这些产品。在这种情况下,应选择无油真空泵,并插入此类产品。2.哪些仪器和设备一起使用:不同的设备使用不同,有些需要更高的真空,如真空蒸馏;有些需要较高的抽速,如真空干燥箱,需要考虑罐体的内部容积;而真空吸滤的应用更为复杂。有必要检查过滤的滤液容量,液体中的颗粒物质含量,然后根据不同的条件选择合适的真空或抽速。3.配套设备的体积:设备的体积和真空泵的抽速参数是相关的。例如,当与一般的1000ml真空过滤瓶一起使用时...
2019 - 09 - 10
在使用螺杆真空泵的过程中,由于环境,人工操作等原因,螺杆真空泵会造成一定的损坏。螺杆真空泵厂家小编告诉你在使用中缺少密封的原因是什么:1,微生物泥浆污染少,黄色空隙充满,危害黄变对密封性能的补偿作用,增加静态和动态环摩擦的损伤,影响密封性能。可能要求操作员每季度拆卸螺杆真空泵。2,添加有机化学物质会导致螺杆真空泵密封缓慢侵蚀,从而导致密封无效,因此在应用于操作之前,首先应询问螺杆真空泵商家适用的介质3.工作液中经常含有的有毒细菌,微生物泥,钙离子和相关有机化学物质的共同作用侵蚀了机器密封件本身的金属部件,这可能损害螺杆真空泵密封的密封性能。4.上游和下游催化剂载体根据填充过程中的刷洗过程去除大部分烟灰,但随着操作时间的增加和材料旋转腐蚀,不可避免地产生新的烟尘。螺杆真空泵中的灰尘很容易进入机械密封的密封位置,造成损坏并需要定期维护和清洁。5.螺杆真空泵(含有钙离子)的工作流体和还原材料中的二氧化碳反映了转化的碳酸氢钙损坏机器密封。这是不可避免的,但可以进行定期维护以避免.我们现在已经知道了缺少密封的原因,就要去避免这些方面对于我们的螺杆真空泵的危害.如果你不会处理这些问题可以选择找螺杆真空泵厂家维修.如果需要螺杆真空泵请致电:400-862-5533或13928410990.
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发布时间: 2025 - 08 - 22
来源: 1289
将玻璃精雕机的真空发生器改造成集中抽真空系统,需从系统整合、管路优化、真空源升级、智能控制、密封与维护五个方面进行系统性改造,以实现多工位集中抽真空、压力精准调节及高效运行,具体改造步骤如下:一、系统整合:构建集中真空源核心设备选型:选用大流量真空泵(如水环式或螺杆式)作为集中真空源,其流量需覆盖所有工位需求。例如,若单台精雕机真空流量为50m³/h,改造后需支持4台同时运行,则真空泵流...
发布时间: 2020 - 02 - 18
来源: 112
食品和饮料工业中的许多过程可以通过使用真空系统来优化。在食品和饮料的包装过程中,真空泵可以用来排气,可以延长食品的储存时间,去除异味。真空泵在食品饮料行业的应用:升华、干燥、脱水、真空蒸发、脱气、除臭、杀菌、真空保鲜、真空包装等。  有哪些特征  食品和饮料工业中的许多过程可以通过使用真空系统来优化。  此外,在食品和饮料的包装过程中,可以使用真空泵来排出空气,这可以延长食品的储存时间并去除异味。  真空泵的真空泵包装应用  矿泉水脱气  天然水矿泉水含有碳酸、矿物质和铁。如果铁与空气接触,溶解在水中的铁会氧化,使水的味道变得更糟。有必要在大约50巴的压力下从水中除去铁,但是水中的碳化物必须首先通过真空泵除去,然后引入生产苏打水。  茶和调味品的杀菌  从热带地区进口的茶和调味品被放在容器中,然后装运,通常带有害虫、昆虫、真菌和细菌。如果需要进一步处理,必须先杀死它们。这是通过将容器放置在真空容器中并排空空气来实现的。然后,向容器中注入蒸汽或消毒气体。  香肠生产  为了生产香肠,混合肉被切成小块,并加入调味料和添加剂。在切肉和混合过程中排空空气可以防止混合肉被氧化,这将影响香肠的味道和外观。使用真空装置在大约100巴的压力下抽空空气。所用的真空泵对泵送在一起的肉和颗粒不敏感。  真空蒸发器  液环真空泵可用于帮助混合物中液体物质的蒸发。蒸发器通常是填料塔。根据实际使用环境,真空泵可由标准材料或不锈钢制成。真空蒸发器可用于许多场合,如牛奶加工厂的牛奶蒸发器、纸浆厂的浓缩液体蒸发器、化工厂的结晶装置和糖厂的塔板蒸发器。  火腿生产  在真正的壁炉上,你几乎看不到干熏火腿。相反,火腿是通过浸泡来制作的,这样可以在排空空气后更快更直接地浸泡肉。  烟草产品的加湿  如果没有适当的加湿,装在盒子里的烟草产品太易碎,在进一步加工过程中会被打碎成细粉。真空泵用于抽空盒子中的空气,加入蒸...
发布时间: 2020 - 02 - 17
来源: 69
旋片和泵腔之间的间隙被油密封,因此旋片真空泵通常是油封的机器真空泵。旋片真空泵可靠耐用,可以单独使用,也可以用作真空泵或超高真空泵的前级泵或超高真空泵的前级泵或预吸泵。旋片真空泵广泛用于冶金,机械,电子,化学工业,轻工业,石油和医药的生产和科研部门。然而,在长期使用中,其污染问题令许多用户头痛。鉴于此问题,本文分析了真空泵公司对旋片真空泵的污染和处理。让我们一起看看。  真空泵公司分析旋片真空泵的污染和处理方法,主要有四点:  1、由于旋转板型真空泵机构固有的自补偿间隙调节作用,因此它对小型机构损伤并不特别敏感。在大多数设计中,选择滑动轴承比起球形轴承对灰尘的敏感性低。一旦尘埃颗粒由于重力作用从油中分离出来,就会在油池中产生沉淀物,并且直到将其除去后才将其纳入油循环中。这些灰尘颗粒可以用机油滤清器过滤,但这似乎不值得。如果污染严重且滤清器更换太复杂,则不如更换机油那么容易。最好将灰尘颗粒进入泵之前,将其放置在可以处理的地方。为此,使用干式过滤器和油污收集器,真空泵维修最为有效。选择的保护方法应取决于要处理的体积,灰尘颗粒的大小和允许的压降。如果是研磨性粉尘颗粒,泵部件的表面硬度应为增高,以延长使用寿命。  2、暴露于低蒸气压的物质并不罕见。这些物质在泵中冷凝并与润滑剂混合,或者稀释润滑剂,或者形成油漆状和凝胶状沉积物。 气镇方法对此无能为力。最好的真空泵维修方法是在蒸气进入泵之前将其阻塞。但是,在许多情况下,这是不合适的,因为泵在如此宽的压力范围内工作,很难设计出有效的疏水阀,或者由于某些污染物,很难对疏水阀进行维护。这时,大多数都可以通过定期换油解决。  3、在拧紧过程中,水蒸气会凝结成水滴并与真空泵混合形成悬浮液,这不仅会降低真空度,还会导致真空泵腔体和转子生锈,从而破坏转子密封表面,以及极高的真空度。因此,重要的是防止水蒸气污染真空泵。 真空泵 分享有一些提示:  ①...
发布时间: 2020 - 02 - 17
来源: 44
制药业不仅是国民经济的一个部门,还是治疗,预防,保健和计划生育的社会福利事业。由于药物种类繁多,更新迅速,新药开发工作,要求高,难度大,成本高和周期长,因此制剂的生产需要合适的人员,工厂,设备,测试仪器和良好的卫生环境,以及各种必要的配方辅助材料与适用的内部和外部包装材料相匹配。以下编辑人员将分析常见真空设备和真空系统在制药行业中的应用。  真空技术是一种相对先进的技术,已在中国许多领域得到广泛应用。真空技术是中国医药工业发展中的一项重要技术,可以满足医药生产的需要,并可以保证较高的卫生标准。因此,研究真空技术在制药机械行业中的应用具有重要意义。  制药行业常用的真空设备有哪些?  ①真空微波干燥设备。它是一种广泛使用的真空设备。该设备具有药品生产过程中加热速度快,加热效率高的特点,物料的回收率可达到100%。  ②带式真空干燥设备。内径可以达到2400mm,最大长度可以达到19000mm,但也有一些缺点:药物生产的进料不均匀,干燥速度较慢,水含量控制不足等。  ③真空浓缩设备。它是药品生产中常用的机械设备。  在实际使用中,为了达到以下目的:一次提取大量物料,并且提取纯度高,提高了药品的生产质量和生产效果,提高了生产效率,节省了生产成本,促进了生产企业的发展。使用其真空系统产品可延长正常工作时间,并且由于可重复使用,因此可以提高产量并节省成本。它不仅安全,而且即使在相当苛刻的工作环境中也可以毫无故障地工作,并且需要投资收益。  温馨提示,对制药设备的要求:  1.设备的设计,选择,安装,改造和维护必须符合预期用途。应尽量减少污染,交叉污染,混乱和错误,以方便操作,清洁,维护以及必要时进行消毒和灭菌。  2.生产设备对药品不会有任何危害,与药品直接接触的生产设备的表面应光滑,稳定,易于消毒且耐腐蚀。请勿与药品发生化学反应或吸附药品或将物质释放到药品中,以免影响产品质量并造成...
发布时间: 2020 - 02 - 17
来源: 69
制药厂最初使用罗茨-水环真空装置。在生产过程中,系统的最佳真空度约为38Pa,整个装置的功率为62.6kw。现在它正在进行技术改造。即,使用罗茨螺杆真空机组的生产。在生产过程中,系统的最佳真空度为13P,整机功率为33.5kw。接下来,我将比较两者之间的区别以及干式螺杆真空泵在生物医学和化学工业中的优点是什么。  制药业和生物医学工程业是现代制药业的两大支柱。生物医学产业包括生物技术产业和制药产业。生物医学工程是生命科学和工程科学原理和方法的综合应用。从工程角度来看,它可以从分子,细胞,组织,器官和整个人体系统的多个层面了解人体的结构,功能和其他生命现象。用于医疗,人体功能辅助和保健的人造材料,产品,设备和系统技术的总称。生物医学工程行业包括:生物医学材料产品,(生物)人工器官,医学成像和诊断设备,医学电子仪器和监视设备,现代医学治疗设备,医学信息技术,康复工程技术和设备以及组织工程。  在生物医学和化学工业中,罗茨螺杆真空装置与罗茨-水环真空装置之间的比较有四个主要区别:  1、由于罗茨-螺杆真空装置与罗茨-水环真空装置相比降低了29kw,因此可以节省电费。  2、因为原始系统的真空度不够高,所以应该提高加热温度。该系统目前的真空度良好,可以增加投入量,增加月产量,提高产品产量,为公司带来可观的经济效益。  3、最初使用的水环泵,系统抽出的少量物料与水一起排出,这会消耗大量的水,污染水,并消耗大量水。螺杆真空泵无污水排放。排气口装有液气分离装置以回收一些物料。同时,螺杆泵本身耐腐蚀,可以去除酸和碱气体以及大量的水蒸气和粉尘气体。  4、罗茨螺杆真空装置运行非常平稳可靠,维护率极低,维护方便。它是制药,化学和产品蒸馏的理想泵送设备。 干式螺杆真空泵在生物医学和化学工业中的应用推广。  随着中国科学技术的不断发展和进步,我国各行各业不断重视科学技术的研究和探索,并一直侧重于医...
发布时间: 2020 - 02 - 17
来源: 55
目前新型肺炎肆虐,很多人受到影响。大家都希望这场疫情早点结束。恢复我们往日的生活秩序。恒才机电一直关注着疫情的发展,借这次机会向奋斗在一线的医护人员表示深深的敬意。  以诚为本,履行应尽的社会责任。恒才机电与您一起抗疫。公司为了医院和医疗机构的客户专门推出医院中心负压系统。  医用真空负压系统:医用中心吸引系统是由中心吸引站的真空泵机组作为负压源,通过真空泵的抽吸使吸引系统管路到达所需的负压值,在手术室、抢救室、治疗室和各个病房的终端处产生吸力,主要用于吸除病人的污秽物及其他污染物。  系统组成:  负压站,由真空泵机组和真空容器组成的独立操作间,一般包括真空泵、真空罐、分气缸、集污罐、真空仪表、控制柜和连接管道等;  中心吸引站到各病区、各楼层、各病房的管道系统;  吸引管路的末端,插拔式自封快速接头,连接吸引器和吸引瓶等吸引装置;  现有医用负压系统的问题  真空系统前段只配有一道细菌过滤器,且只关注0.2~0.5μm以上粒径的去除比例,对低于这个粒径过滤不佳,对细菌有一定过滤效果,难以过滤病毒。  未配备加热设备,进行病毒及细菌的灭活。  现有的医用真空系统都存在二次污染的情况。  恒才机电推荐医院负压系统方案  医用真空分两路供应,普通管线和ICU、产房及手术室等专用管线。  除菌思路:  灭活为主,灭而非防。  采取叠加灭活,广谱。  化学灭活是主要手段,高温是辅助。  高温灭活,真空泵起主要作用。  不对细菌过滤器过度依赖。  推荐适合肺炎疫情的真空泵:  主推:干爪式真空泵,干爪泵内高温可以有效去除病菌,维保周期长,且保养不接触泵腔,维护人员无病菌感染风险。  水环真空泵,我们可在现有基础上进行改良,将极大降低病菌感染风险。  旋片真空泵,运行温度下灭菌效果不好,需要频繁维保,维护人员存在病菌感染风险。可提供现有系统改造。  油螺杆真空泵,润滑油中有机物质会滋...
发布时间: 2020 - 02 - 17
来源: 64
当真空泵执行能量转换时,始终只有一小部分损耗转换成热量。它必须通过电动机外壳和周围的介质连续散发热量散发。 散发的这种加热过程称为冷却。此外,当真空泵工作时会产生一定量的热量。如果不及时散发热量,将会影响真空泵的内部部件,甚至随着时间的流逝而损坏真空泵。这会影响风扇的正常运行,甚至损坏风扇。以下是真空泵改造厂家对真空泵的散热和冷却技术的分析。  真空泵,每个人都不陌生,但是真空泵是否不能存在大量的油。实际上,真空泵已广泛用于许多行业。通常,将水环泵用作前级泵比其他真空泵更有利。这主要是因为它可以泵送大量的冷凝蒸汽,尤其是当气镇油封机械没有足够的能力去除冷凝蒸汽,或者,使用的溶剂会使泵油变差并影响性能,或者当真空系统不允许油污染。因此,不得给真空泵上油。  专业的真空泵改装厂家想告诉您,真空泵有多种类型的散热和冷却解决方案,并且根据身体不同部位的发热来确定适当的散热解决方案。例如,当真空泵的工作压力高时,温度迅速升高并且温度高。普通真空泵需要循环水进行冷却和冷却,以保护风扇不受损坏。  真空泵厂家在分析真空泵的冷却和冷却技术时有四个重要点:  一、空气冷却:  即,由级间泵或双级泵吸入的空气被压缩,然后通过组合吸收和相差组合消音器传输。  二、 转子内部冷却:  为了使真空泵在更高的压差下工作,可以采用更有效的冷却方法。即,转子通过循环油冷却。真空单元轴的两端有油孔和油径轴头。从另一端放电。  三、 转子油膜冷却:  这种冷却方法是在真空泵的入口处连接一个油管,并使用均匀滴下的冷却油除去转子的热量。  四、冷却:  真空泵由于气体的输送和压缩而产生热量,该热量必须从转子传递到外壳和散发。
发布时间: 2020 - 01 - 15
来源: 125
1、首先了解泵的类型、特点、现状。了解使用要求并确定维修目标。维护前准备测试方法。  2.判断故障并确认故障。准确的判断可以省去麻烦。诊断必须得到验证。  3、故障排除,先简单后复杂,先简单后困难。不拆除就不要拆除。为了减少新损坏造成的专用工具的缺乏和操作不当,减少位置和运行时间的变化。一般来说,拼接转子是不可拆卸的,否则形状和位置公差将得不到保证,转子将报废。  4.对于有毒、有害和腐蚀性泵,应要求用户首先清洁它们,并告知它们必要的保护措施,以确保维护人员的健康。  5.故障分类。建议将故障分为运行故障和性能故障。操作故障可能包括泵不旋转;性能故障可能包括未能满足或未能满足要求,如极限压力、极限满压、提取效率、噪音、喷油、气体镇流器性能等。  6.故障判断和诊断示例  1)泵不旋转。如果情况不清楚,不能先启动泵,以免加重故障。能用手移动,不能用手移动。  (1)泵可以不转动地移动。原因可能是联轴器故障;皮带打滑;电机接线不正确;电机损坏;电源中断等。  (2)不能上盘或上盘很重,原因可能是启动泵温度过低,泵油粘度过高;由于设计和制造原因,泵关闭后返回的机油过多。由于油位过高,泵返回的油过多(添加的油过多,或泵中冷凝的水蒸气,或排气管中冷凝的水返回泵);泵内有异物(进气管内有焊渣和氧化物;螺旋弹簧等泵部件的碎片;旋转件变形卡住;发生堵塞(铜套管、转子、中间壁、泵盖、定子、轴承)。  2)双级旋片真空泵温度过高。在低位排气阀附近测得的最高油温超过了操作说明中规定的值。随着泵的温度升高,泵油的粘度将大大降低,泵油的饱和蒸汽压将增加,这将增加泵的极限压力并降低泵送效率。橡胶零件容易老化。热膨胀减小了工作间隙,特别是一些非金属旋转板的厚度方向和铜套内孔的间隙,影响了泵运行的可靠性。泵温度高的原因可能是泵的环境温度太高、进气温度太高、进气冷却装置失效以及泵长期连续运行的进气压力太高。...
发布时间: 2020 - 01 - 15
来源: 73
旋片真空泵的噪声通常是指当泵的温度稳定时,在极限真空下测得的噪声水平。  它包括泵本身的噪音和电机的噪音。对于用户而言,它还关注泵温度不稳定时的启动阶段噪声、不同入口压力下的运行噪声以及气体开启镇流器的运行噪声。因此。应该考虑许多因素。  旋片真空泵的噪声源如下  (1)转子对缸体的影响,泵的剩余容积和排气死区内压力油的发声。  (2)排气阀片对阀座和支架的影响。  (3)盒子里的回声和气泡破裂。  (4)轴承噪声。  (5)大量油气撞击挡油板产生的噪音。  (6)其他。如传动引起的噪音、风冷式泵的风扇噪音等。  (7)电机噪声,这是一个关键因素。  旋片真空泵的设计和处理建议如下:  1.旋片对气缸壁的影响  如果使用不当的设计、制造或材料导致旋片滑动不顺畅,或者因为存在死气隙,不可压缩的油会导致旋片头部不总是靠近气缸壁运行,这将导致旋片撞击气缸壁。因此,宜采用圆弧面分隔进出口的结构。用排气导槽消除死区。采用线分离结构时,排气端点到切点的距离应尽可能缩短。对于70l/s以下的旋片泵,考虑到旋片的实际厚度,建议取7 ~ Lomm,大泵取大值。当太近时,由于转弯  如果转子旋转到切点位置时密封效果不好,那么副转子槽的存在以及转子头仅与一个窄条的接触将影响泵的泵速,甚至泵的极限压力。可以看出,这种结构不能完全消除排气死区,限制了降噪水平。  应该指出,转子和槽之间的间隙过大会降低性能。因此,必须保证合理的公差配合和形位公差值,注意旋片的热膨胀,避免旋片和槽的磨损,注意冷油的粘度,设计足够的旋片弹簧力,当圆弧面用于分离时,转子中心的附加偏心值不应过大。否则,当转子通过两个圆弧时,它将倾向于在交点处脱离气缸壁,而不是产生冲击噪声。一般来说,小型泵只有0.20 ~ 0.25毫米,而大型泵可以适当增加。  排气死区压力油和剩余容积压力油的发声。当泵达到极限压力时,两处的压力油在与真空室...
发布时间: 2020 - 01 - 15
来源: 78
半导体工艺真空主要用于蒸发、溅射、PECVD、真空干法刻蚀、真空吸附、测试设备、真空清洗等键合工艺。半导体生产制造过程中容易产生易燃、易爆、有毒物质和气体,对生产和人员安全构成威胁。因此,半导体真空泵应用中的几个安全注意事项如下:  1.定期清洁真空泵及其他附件、过滤器和管道,以避免过压  在半导体真空泵的应用中,当介质在介质提取过程中通过反应室和真空泵时,介质的组成可能极其复杂。例如,SiH4和O2在泵口形成二氧化硅,而四氯化钛水解形成氯化氢。假设使用油封机械泵,这些气态物质也可能与泵油发生反应。这些变化假设颗粒、可冷凝物或腐蚀性介质的形成,可能会堵塞真空泵或管道系统,影响真空泵的性能,导致压力升高或过压,并带来更大的风险。因此,有必要及时清理,必要时设置过滤设备。  2.有效稀释有害气体的浓度  半导体容易产生上述易燃、易爆和有毒有害气体。因此,在半导体真空泵的应用中,当抽取这些介质时,有必要防止真空泵或排气过程中发生一些不可控的反应。例如,当与空气或氧气接触时,SiH4、PH3、AsH3、B2H6和其他物质会引起燃烧甚至爆炸。当空气中氢气的混合比例达到一定程度和温度时,也会发生燃烧。这些都取决于物质的数量及其与环境压力和温度的关系。因此,当半导体真空泵提取这些介质时,在压缩前的当前条件下,需要惰性气体如氮气将这些气体稀释到安全范围。  3.注意氧气的浓度  如果空气中的氧气浓度过高,燃烧和爆炸风险也会发生。因此,在某些情况下,应注意氧气的浓度,并应使用惰性气体稀释它,以防止浓度过高。假设油封机械泵可能需要使用一些惰性氧兼容真空泵油,并及时更换滤油器和油品。  4.防止温度过高  这一点更容易理解。在半导体在真空泵中的应用中,有许多有害气体。然而,无论是干式真空泵还是油封机械泵,如果泵腔内的温度过高,易燃、易爆和有毒气体在高温下很容易造成危险。  当我们使用真空泵时,需...
发布时间: 2020 - 01 - 15
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旋片真空泵运行中的注意事项  旋片真空泵的转子以一定的偏心距离安装在泵壳内,并靠近泵壳内表面的固定表面。两个(或多个)旋片安装在转子槽中。当转子旋转时,旋片可以沿着其径向凹槽来回滑动,并且总是与泵壳的内壁接触。旋片与转子一起旋转,将真空泵室分成几个可变容积。操作旋片真空泵时注意以下事项:  1、检查油位,以停止泵油至油标中心为宜。过低不能密封排气阀油,影响真空度。如果过高,在大气中启动时会导致燃油喷射。运行过程中,油位有所上升,这是正常现象。油应为指定品牌的清洁真空泵油,从注油孔添加。加注后,应拧紧螺塞。油应该过滤,以防止异物进入堵塞油孔。  2.泵可以在大气压或任何真空度下一次启动。如果电磁阀安装在泵端口,则应与泵同时操作。  3.当环境温度过高时,油温会升高,粘度会降低,饱和蒸汽压会升高,这将导致极限真空降低,特别是热电偶测得的全压力。如果通风和散热得到加强或泵油性能得到改善,极限真空可以得到改善。  4.真空泵的极限真空应根据压缩水银真空计进行检查。如果压力表经过全面的预测试,泵的温度会达到稳定水平,泵的端口会直接连接到压力表上,并且在运行30分钟内会达到极限真空。总压力表测量的值与泵油、真空计和调节误差有关。有时误差甚至可能非常大,仅供参考。  5.如果相对湿度高,或者泵送的气体含有更多的可冷凝蒸汽,在连接泵送容器后,宜在移动20~40分钟后打开气压阀,关闭气压阀。停泵前,气动阀可开启空载运行30分钟,以延长泵油的使用寿命。  旋片真空泵的故障处理  如果旋片真空泵运行不正常,经常会出现故障,如旋片真空泵真空度下降、喷油、冒烟、油封漏油、噪音等。真空泵油在泵中乳化的现象等。在这种情况下,首先不要惊慌,然后关机后逐一消除。以下是一些故障排除方法。  一、旋片真空泵的烟油喷射:指运行过程中旋片真空泵排气口的烟油喷射。  故障1、抽烟。如果泵刚开始运转时有烟,这是正常的。...
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